对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究

金属学报, 1999, 35(7): 762-766.

对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究

白海力 , 姜恩永 , 吴萍 , 王怡 , 王存达

天津 300072

关键词： Raman散射 , null , null , null

null , null , null , null , null

Keywords： null , CN薄膜 , 对向靶反应溅射 , 热稳定性

用Ｒａｍａｎ散射研究了对向靶反应溅射制备的ＣＮ薄膜的键结构, 研究表明, 在Ｃ膜中掺杂Ｎ可以抑制ＣＮ膜中ｓｐ＾３键的形成, 提高ｓｐ＾２键的相对含量, 改善Ｃ膜的结构热稳定性.

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