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采用大功率CO2激光辐照制备高介电常数Ta2O5陶瓷,讨论了激光制备工艺参数如激光光束模式、功率密度、扫描速率、辐照时间、辐照方式等对制备材料介电性能和组织形貌的影响,分析了其作用机理.

参考文献

[1] Cava R F;Peck Jr W F et al.Enhancement of the dielectric constant of Ta2O5 through substitution with TiO2[J].Nature,1995,377:215-217.
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[3] E. Atanassova;D. Spasov .Thermal Ta_2O_5--alternative to SiO_2 for storage capacitor application[J].Microelectronics and reliability,2002(8):1171-1177.
[4] Toshihiro Kasai;Yoshiharu Ozaki;Hideki Noda .Laser-Sintered Barium Titanate[J].Journal of the American Ceramic Society,1989,72(09):1716-18.
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