椭圆光谱法研究TiO2薄膜的光学性能

稀有金属材料与工程, 2015, 44(1): 97-102.

椭圆光谱法研究TiO2薄膜的光学性能

王晓 ^1, , 史新伟 ^2, , 崔立斌 ^3, , 王新昌 ^4, , 姚宁 ^5,

1.郑州大学,河南郑州450052

2.郑州大学,河南郑州450052

3.郑州大学,河南郑州450052

4.郑州大学,河南郑州450052

5.郑州大学,河南郑州450052

基金项目: 国家自然科学基金(61076041,50702051)

关键词： TiO2薄膜 , 椭圆光谱法 , 磁控溅射 , 压强

Study on TiO2 Thin Films and Their Optical Properties by Spectroscopic Ellipsometry

Keywords： TiO2 thin films , spectroscopic ellipsometry , DC magnetron sputtering , pressure

使用直流磁控溅射法,通过改变沉积压强在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.通过椭圆光谱法研究了TiO2薄膜的光学性能;利用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射对薄膜的表面形貌和结构进行了表征.结果表明:压强的大小在磁控溅射法制备TiO2薄膜过程中能有效控制其晶粒尺寸、膜厚及薄膜的折射率.压强越大,晶粒尺寸越小,吸收边“蓝移”越明显;薄膜厚度随压强的增大先增加后减小;平均折射率随压强的增大呈下降趋势,消光系数在可见光波段的平均值趋于零.

参考文献

[1]	Alexandrov P.;Todorov D.;Koprinarova J. .DIELECTRIC PROPERTIES OF TIO2-FILMS REACTIVELY SPUTTERED FROM TI IN AN RF MAGNETRON[J].Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology,1996(11):1333-1336.
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[3]	张维,朱蕾,顾君嗣,崔晓莉.可见光下TiO2薄膜电极的光电性能研究[J].稀有金属材料与工程,2010(06):1013-1017.
[4]	Biswas, A;Bhattacharyya, D;Barshilia, HC;Selvakumar, N;Rajam, KS .Spectroscopic ellipsometric characterization of TiAlN/TiAlON/Si3N4 tandem absorber for solar selective applications[J].Applied Surface Science,2008(6):1694-1699.
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[6]	郭金玲,沈岳年,SHE Yue-nian.用Scherrer公式计算晶粒度应注意的几个问题[J].内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版）,2009(03):357-358.
[7]	肖循.纳米TiO2薄膜紫外-可见透射光谱研究[J].湖北民族学院学报（自然科学版）,2005(03):246-248.

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