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薄膜晶体管液晶显示器阵列工艺最终关键尺寸测试方法研究

刘耀 , 陈曦 , 张小祥 , 刘晓伟 , 李梁梁 , 丁向前 , 郭总杰 , 袁剑峰

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153005.0784

最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析，并配合扫描电子显微镜(SEM)图片，确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析，选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参照值，选取此时样品测试图片作为标准图片。测试结果与 SEM 结果进行对比，得到不同膜层测量值和真实值之间的补偿值。并通过不同尺寸产品的数据收集和分析来验证补偿值的可靠性。通过上述方法，可以极大地缩短最终关键尺寸测量的校正周期，并为今后新产品开发提供可靠的测试标准。

关键词: 最终关键尺寸 , 测试方法 , 扫描电子显微镜 , 补偿值

TFT-LCD过孔接触电阻研究

白金超 , 王玉堂 , 郭总杰 , 丁向前 , 袁剑峰 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153003.0432

研究了过孔接触电阻变化规律，并进行机理分析，为优化薄膜晶体管的过孔设计提供依据。首先，运用开尔文四线检测法对不同大小、形状、数量的钼/铝/钼结构的栅极和源/漏层金属与氧化铟锡连接过孔的接触电阻进行测试。然后，通过扫描电子显徽镜、能量色散 X射线光谱仪和聚焦离子束显徽镜对过孔内部形貌进行表征。最后，对过孔接触电阻变化规律进行机理分析。实验结果表明：过孔面积越大，接触电阻越小；过孔面积相同时，长方形过孔的接触电阻小于正方形过孔的接触电阻，多小孔的接触电阻小于单大孔的接触电阻，栅极金属与氧化铟锡的过孔接触电阻小于源/漏层金属与氧化铟锡的过孔接触电阻。为了降低钼/铝/钼与氧化铟锡连接过孔的接触电阻，过孔面积尽可能最大化，采用长方形过孔优于正方形过孔，多小过孔优于单大孔设计，同时优化过孔刻蚀工艺，减少过孔内顶层钼的损失。

关键词: 薄膜晶体管阵列工艺 , 接触电阻 , 过孔设计优化

氨酯级乙酸丁酯

张卓杰 , 吴锡深 , 林雪南

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2004.06.018

介绍了乙酸丁酯的用途,阐述了用于溶剂型聚氨酯材料的乙酸丁酯的特殊性要求,通过采用新型的酯化合成方法和分离提纯后处理工艺,得到具有实用价值的高于美国ASTM标准的氨酯级乙酸丁酯.

关键词: 乙酸丁酯 , 异氰酸酯当量 , 氨酯级 , 标准 , 甲苯二异氰酸酯

1,4-丁二醇常压气相脱氢制γ-丁内酯

郑洪岩 , 杨骏 , 朱玉雷

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.04.004

采用固定床反应器,研究了常压下铜铬系催化剂对1,4-丁二醇气相脱氢制γ-丁内酯的催化性能,考察了反应条件对催化性能的影响. 结果表明,添加Ca、Ba助剂的Cu-Cr催化剂在180～200 ℃,液时空速0.3～0.7 h-1,氢醇摩尔比15～30的条件下,1,4-丁二醇转化率≥99.9%,γ-丁内酯产率≥96%. 通过XRD和TG/DTG表征发现,Cu0为催化剂的活性中心,Cr的存在促进了Cu的高度分散,提高了催化剂的活性及选择性. 助剂Ca和Ba的加入,降低了催化剂的还原温度,提高了γ-丁内酯的产率.

关键词: 丁二醇 , 气相脱氢 , γ-丁内酯 , Cu-Cr催化剂

丁胞型强化换热管的数值模拟

李瑞 , 何雅玲 , 楚攀 , 雷勇刚

工程热物理学报

在换热器管道的内壁面上布置丁胞可以有效地增强管道内的传热.通过三维数值模拟,对含丁胞的圆形截面管道内的定常不可压缩湍流流动进行了数值模拟.本文采用RNG k-ε方程模型作为湍流计算模型和SIMPLE算法求解管道的流动传热情况.数值模拟结果表明,丁胞的大小、深度、排列密度等几何结构均对管道的换热效果有一定影响.在较低雷诺数下,含较小丁胞的管道换热效果好于含较大丁胞的管道;在较高雷诺数下,含较大丁胞的管道换热效果好干含较小丁胞的管道.

关键词: 丁胞 , 强化换热 , 湍流计算 , 数值模拟

溶聚丁苯链化学结构的NMR研究

黄毅萍 , 陈广美 , 王嵩 , 李宏武 , 马德柱

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2005.04.018

用核磁共振(NMR)技术研究了国产的和拜耳公司生产的2种溶聚丁苯的组成及其链化学结构. 结果表明,这2种溶聚丁苯具有十分相近的共聚物组成(其中苯乙烯单元的摩尔分数均约为14.0%). 国产溶聚丁苯中反式1,4-丁二烯含量较高(trans-1,4摩尔分数为49.7%),而拜耳公司的溶聚丁苯具有很高的顺式1,4结构含量(摩尔分数为49.4%),形成了顺式1,4-丁二烯嵌段,并且乙烯基含量也明显少于国产丁苯胶. 这种结构导致拜耳丁苯胶具有低的玻璃化转变温度,并与天然橡胶有很好的相容性.

关键词: 溶聚丁苯 , 链化学结构 , 相容性

三氧化二钕催化制备乙酸异丁酯

李晓莉 , 王晓菊 , 陈瑞战

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2001.03.020

研究了以三氧化二钕为固体催化剂，由冰乙酸和异丁醇合成乙酸异丁酯，讨论了影响酯化反应的因素，找出了合成乙酸异丁酯的最佳工艺条件。本工艺特点是：催化剂用量少，是异丁醇的5%，反应时间短(3h)，温度为110℃，酯收率可达80%。

关键词: 二氧化二钕 , 催化剂 , 乙酸异丁酯

丁二酰亚胺无氰镀银工艺

周永璋 , 丁毅 , 陈步荣

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.04.017

研究了丁二酰亚胺无氰镀银工艺中各组分含量的变化,对银镀层在附着力、光亮度等方面性能的影响,找出各自的最佳配比;通过改变阴极电流密度、pH值考察对银镀层质量的影响,找出最佳工艺条件,得到适宜的丁二酰亚胺无氰镀银工艺.

关键词: 丁二酰亚胺 , 无氰镀银 , 外观 , 结合力 , 电沉积速度 , 阴极电流效率

制罐用白可丁的研制

贺国强

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2005.05.014

使用聚酯树脂和甲醚化氨基树脂配合制备制罐用白可丁,讨论了不同聚酯树脂、氨基树脂及催化剂的选择,及其对漆膜性能的影响.

关键词: 聚酯树脂 , 氨基树脂 , 催化剂 , 白可丁 , 罐头涂料

酸化蒙脱土/氯化锌催化叔丁醚和叔丁酯的合成

吴剑虹 , 陈冬寅 , 李飞

应用化学 doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2016.05.150318

以酸化蒙脱土/氯化锌作为催化剂,二碳酸二叔丁酯与一系列酚、醇和羧酸类化合物在120℃封管条件下反应,合成了叔丁醚和叔丁酯类衍生物,方法简单,经济可靠,环境友好,后处理方便,收率为61％～75％,产物结构经1H NMR,ESI-MS确证.探讨了溶剂、温度、金属离子等因素对反应收率的影响,并提出了可能的反应机理.为今后该类化合物的合成提供了一种新的方法.

关键词: 酸化蒙脱土 , 氯化锌 , 叔丁酯 , 叔丁醚 , 有机合成

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