于映
,
张彤
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.009
采用化学气相沉积法(PECVD)在石英基片上制备氮化硅薄膜,应用MEMS工艺将氮化硅薄膜制作成双端固定的微结构梁,纳米压痕仪测量氮化硅薄膜的杨氏模量表明其值在136～172 Gpa之间,用曲率半径法测试薄膜的残余应力,并对微结构梁的弹性系数进行计算,结果表明弹性系数值在11.4 ～ 57 N/m.之间,根据实验所得弹性系数对微结构梁的驱动电压进行计算,其驱动电压在32.8 ～ 73V之间,微结构梁的实际驱动电压测得为34 ～ 60V.
关键词:
氮化硅薄膜
,
微结构梁
,
弹性系数
,
杨氏模量
,
残余应力
吴清鑫
,
陈光红
,
于映
,
罗仲梓
功能材料
采用了等离子体增强化学气相沉积法(plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)在聚酰亚胺(polyimide,PI)牺牲层上生长氮化硅薄膜,讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的生长速率、氮硅比、残余应力等性能的影响,得到适合制作接触式射频MEMS开关中悬梁的氮化硅薄膜的最佳工艺条件.
关键词:
PECVD
,
氮化硅
,
聚酰亚胺
,
残余应力
,
射频MEMS开关
卢琳
,
任玉苓
,
温乃盟
,
李晓刚
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.02.005
为提高有机涂层钢板的表观装饰性和工艺优化,对涂层表面鲜映性进行了测量评价,并探讨了影响涂层鲜映性的主要因素及其作用规律.研究表明:降低钢板表面粗糙度、减小涂料的粒度和黏度、增加面漆或底漆的厚度和准确控制面漆烘干温度,均可有效提高钢板鲜映性,改善涂层平滑性.
关键词:
有机涂层
,
鲜映性
,
光泽
,
粗糙度
,
涂料
,
钢板
刘莹
,
陈大融
,
秦力
钢铁
对平整轧制中轧辊表面微凸体形貌的复映率影响因素进行了理论分析和实验研究.结果表明:平整变形区的摩擦系数、微凸体形貌分布的间距和截面直径等因素对形貌复映率有显著影响.摩擦系数减小,引起形貌复映率的降低,形貌间距与形貌复映率之间在一定范围内呈单调递增的关系.平整轧制实验得到与理论分析相一致的结果.
关键词:
平整
,
表面形貌
,
复映
沈小炜
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2008.04.002
中国和印度同为亚洲国家,在社会、经济等诸多方面具有相似性.印度是世界上最大的黄金消费国,将它作为研究对象,分析其国内居民储藏黄金的来源与动力,对如何提高中国的黄金需求,从而实现"藏金于民",具有现实意义.经过比较研究,笔者认为增加国内的投资需求是提高中国民间储藏黄金比例的有效途径之一.
关键词:
储藏黄金
,
来源与动力
,
黄金需求结构
,
消费需求
,
投资需求
毕勤成
,
赵天寿
,
郭亚军
,
陈听宽
工程热物理学报
本文对浸泡于FC-72液池中的两个微小圆管进行了沸腾实验研究,得到了沸腾曲线和传热系数,并用Dv摄像机拍摄到了圆管出口处的沸腾状况,研究了管道尺寸对沸腾传热特性的影响.实验结果显示,管道尺寸对沸腾传热特性有显著的影响,传热系数和CHF随着管道尺寸的缩小而减小.直径为1.10 mm的圆管出口处在低热负荷加热时发生了汽泡阻塞,并导致了剧烈的沸腾滞后现象.
关键词:
沸腾传热
,
池沸腾
,
FC-72
,
微小圆管
李常丽
,
张庆红
,
王野
,
万惠霖
催化学报
针对Pd/SBA-15和MoO3/SBA-15两类催化剂样品,使用N2物理吸附手段对比研究了限域于介孔SBA-15分子筛孔道内活性相Pd与MoO3的聚集形态. 结果表明,金属Pd以颗粒状形态分布在SBA-15分子筛孔道内,氧化物MoO3则以层状形态存在. 并用高分辨透射电镜验证了此分析结果.
关键词:
钯
,
三氧化钼
,
活性相
,
聚集形态
,
SBA-15分子筛
,
吸附-脱附等温线
,
苯甲醇
,
氧化
