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工作气压对磁控溅射ZAO薄膜性能的影响

, 庄大明 , 张弓 , 杨伟方 , 赵明

功能材料

工作气压在ZnO∶Al(ZAO)薄膜制备过程中是一个重要的工艺参数,直接决定着薄膜的性能.本文利用中频交流磁控溅射方法, 采用氧化锌铝(ZnO与Al2O3的质量比为98∶2)陶瓷靶材, 在基体温度为250℃,工作气压范围为0.2~8.0Pa条件下,制备了ZAO薄膜.利用X射线衍射仪和原子力显微镜对薄膜的结构和形貌进行了分析和观察,利用分光光度计和霍尔测试仪测量了薄膜的光学和电学性能,研究了制备薄膜时不同的工作气压(氩气压力PAr)对薄膜的结构、形貌、光学性能和电学性能的影响.结果表明:随着工作气压的增加,薄膜的电阻率先略有下降然后上升,相应地,载流子浓度和迁移率先略有上升然后下降,而可见光谱平均透过率保持在80%以上. 当基体温度为250℃,氩气压力为0.8Pa时,薄膜的电阻率最低,为4.6×10-4Ω*cm,方块电阻为32Ω时,在范围为490~600nm的可见光谱内的平均透过率可达90.0%.

关键词: 磁控溅射 , ZAO薄膜 , 工作气压 , 电阻率 , 透过率

交流磁控溅射制备ZAO薄膜工艺参数的研究

李士元 , , 庄大明 , 张弓

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2005.06.025

对于交流磁控溅射氧化锌铝陶瓷靶材制备ZAO薄膜,研究了氧流量、基体温度、靶电流密度、铝的掺杂量、本底真空压力和工作气体压力对ZAO薄膜电学性能的影响规律,优化了工艺参数,为工业化生产提供了实验依据.

关键词: 磁控溅射 , ZAO薄膜 , 工艺参数 , 电阻率

掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制

, 庄大明 , 张弓

金属学报

采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2%Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO∶Al)薄膜. 利用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能, 研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律, 确定了制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.

关键词: 磁控溅射 , ZAO thin film , infrared reflection

掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制

, 庄大明 , 张弓

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.03.022

采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2%Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.

关键词: 磁控溅射 , ZAO薄膜 , 红外反射

空间充气展开结构用化材料和化技术的研究现状

刘宇艳 , 孟秋影 , 谭惠丰 , 杜星文

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.02.018

化技术和化材料是空间充气展开结构的一项合材料;热塑性(和轻度交联热固性)复合材料;铝/聚合物层合板.本文介绍了这几种材料的典型化技术,分别介绍了化体系的特点、研究现状以及该化技术相应的优势与局限性.

关键词: 空间充气展开结构 , 化材料 , 化技术

炼焦公司热回收焦炉选址优化

徐杨 , 王禄平

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2008.06.016

本文结合萨炼焦公司多年的热回收焦炉建设实践经验,对焦炉选址中应注意和考虑的一些问题进行了总结,以期对炼钢厂在建立长期可靠的焦炭供给方面提供一些有益的建议.

关键词: 焦炉 , 热回收 , 选址 , 标准

达表面形状对环量控制涡轮叶型性能影响

宋彦萍 , 陈焕龙 , 李亚超 , 陈浮

工程热物理学报

采用商业软件ANSYSCFX研究了具有圆形和椭圆形柯达表面的环量控制叶型在不同射流速度下的流场和性能。结果表明:小的射流速度和大的柯达表面型线曲率是导致射流分离的主要因素,采用高速射流绕流大曲率柯达表面能够获得较大气流角和膨胀比,但同时带来较大的能量损失,叶栅气动性能与柯达表面形状和射流条件密切相关。

关键词: 燃机涡轮 , 环量控制叶型 , 达表面形状 , 射流速度

环量控制翼型中柯达效应的数值模拟

宋彦萍 , 杨晓光 , 李亚超 , 陈浮

工程热物理学报

采用商业软件Fluent针对网格疏密程度和湍流模型对利用柯达效应的环量控制翼型二维流场的影响进行了研究,并以实验结果为参照,进行了对比分析.结果表明:网格的疏密和湍流模型的选取对流场细节的捕捉和性能参数的预测有显著影响.在此基础上研究了具有圆、椭圆和对数螺线形式柯达表面的环量控制翼型性能的变化,初步探讨了射流层附壁与高曲率表面特征参数的关联.

关键词: 环量控制翼型 , 达效应 , 湍流模型 , 达表面形状

诺沙星与牛血清白蛋白的相互作用

贾丽华 , 曾晓丹 , 郭祥峰 , 王清滨

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.09.004

用荧光光谱法、紫外分光光度法研究了甲醇与水的体积比为1∶9溶液中诺沙星(EFLX)与牛血清白蛋白(BSA)的相互结合作用. 研究表明,二者的结合常数为4.16×105 L/mol,以其摩尔比为1∶1结合,给体(BSA)与受体(EFLX)间的距离r=4.40 nm. EFLX与BSA的相互结合作用为荧光静态猝灭过程.

关键词: 诺沙星 , 牛血清白蛋白 , 荧光猝灭

分子印迹固相萃取-高效毛细管电泳法检测鸡肉中的诺沙星残留

汪雪雁 , 檀华蓉 , 祁克宗 , 邵黎 , 李慧 , 薛秀恒 , 谢英

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2010.01107

诺沙星为模板分子,α-甲基丙烯酸为功能单体,二甲基丙烯酸乙二醇酯为交联剂,制备了诺沙星分子印迹聚合物.以该分子印迹聚合物为固相萃取材料,采用高效毛细管电泳分离方式,建立了分子印迹固相萃取-高效毛细管电泳检测鸡肉中诺沙星的方法.结果表明,该方法能有效地萃取和检测鸡肉中的诺沙星.在优化条件下,诺沙星的检出限为92.02 μg/kg,定量限为336.04 μg/kg;不同诺沙星添加水平下的回收率为77.84%~86.52%,相对标准偏差为2.18%~3.76%.该方法适用于鸡肉中诺沙星残留的测定.

关键词: 分子印迹聚合物 , 固相萃取 , 高效毛细管电泳 , 诺沙星 , 鸡肉

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