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磁控溅射铜薄膜微观结构对其电爆性能的影响?

胡云钦 , 邱林俊 , , 魏贤华 , 任勇 , 葛妮娜 , 龙震

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.025

采用直流磁控溅射法在不同溅射功率和工作气压条件下沉积 Cu 薄膜,对其进行 X射线衍射、原子力显微镜、电阻率测试,分析了工艺参数对 Cu 薄膜的沉积速率、微观结构和电阻率的影响。通过紫外光刻技术将Cu薄膜制成桥箔,采用电爆测试平台获得Cu桥箔的电爆参数,研究了Cu薄膜的晶粒尺寸、择优取向对其电爆性能的影响。结果表明:随溅射功率的增大,Cu薄膜的沉积速率增加、晶粒尺寸增大、Cu(111)晶面择优取向特性变差,且电阻率降低;随溅射工作气压增大,Cu薄膜的沉积速率降低、晶粒尺寸减小、Cu(111)晶面择优取向越明显,且电阻率增加。对于相同桥区参数的 Cu 桥箔,晶粒尺寸越小,其爆发时刻就越早;Cu (111)晶面择优取向越明显,其爆发电流和峰值功率就会越大。

关键词: Cu薄膜 , 磁控溅射 , 桥箔 , 电爆性能

金属间化合物Ni3Al薄膜的制备及性能研究

王明 , 邢永燕 , 马拥军 ,

功能材料

采用直流磁控共溅射法,在衬底温度为450℃的SiO2基体上制备了厚度为500nm的Ni3Al薄膜,X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)等测试表明,薄膜为(111)取向的L12型晶体结构金属间化合物。采用纳米压痕方法测试了薄膜的力学性能,其硬度为8.00GPa,弹性模量为200GPa。为克服亚微米级薄膜氧化增重难以测量的困难,采用四探针测试金属薄膜电阻的方法,间接给出了薄膜的腐蚀性能和高温氧化程度。结果表明Ni3Al金属间化合物薄膜的氧化速率为2.28×10-13g2/(cm4.s),薄膜具有良好的高温抗氧化性能。

关键词: Ni3Al薄膜 , 磁控溅射 , 微观结构 , 高温氧化性能 , 力学性能

种子层厚度对以NiFeNb为新种子层的坡莫合金薄膜的零场电阻率和AMR的影响

刘俊 , 郑瑞伦 , 段昌奎 ,

功能材料

制备了(Ni82Fe18)72.9Nb27.1(dnm)/Ni82Fe18(3nm)/Ta(3nm)坡莫合金系列膜.测量了样品零场电阻率(ρ),各向异性磁电阻(AMR)和微结构.研究了ρ和AMR随种子层厚度(d)的变化.探讨了d 影响ρ和AMR的微观机理.

关键词: 新种子层 , 零场电阻率 , AMR

碳化细菌纤维素的电磁屏蔽效能

朱佩 , , 任勇 , 王改花

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.16.017

细菌纤维素在不同的温度下进行碳化处理,将得到一系列网状结构的碳纤维.利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪和透射电子显微镜(TEM)对制备的碳纤维晶体结构和微观形貌进行了表征;通过矢量网络分析仪在频率600MHz~14GHz范围内对其进行了电磁参数测试;应用电磁屏蔽理论计算获得碳纤维的电磁屏蔽效能.结果表明,1200℃碳化得到的碳纤维在频率为6~14GHz之间的屏蔽效能都大于30dB,在14GHz时最高可以达到41dB,该碳纤维密度低、屏蔽效果好,在电磁屏蔽领域有较好的应用前景.

关键词: 细菌纤维素 , 碳纤维 , 网状结构 , 电磁屏蔽理论

新型碳材料——石墨烯的研究进展

, 邵晓萍 , 马拥军 , 裴重华

材料导报

发现石墨烯至今仅5年,但其已迅速成为目前材料科学和凝聚态物理研究的一个热点,这归因于它是严格的二维结构,蕴涵着许多新的物理以及潜在应用。简要介绍了石墨烯的概念,重点评述了其制备方法以及电子结构、力学特征等基本物理特性,讨论了石墨烯器件的研发现状,并展望了其未来发展前景以及其它的潜在应用.

关键词: 石墨烯 , 电子性质 , 制备方法

锌掺杂钴铁氧体:硬磁→软磁

李诗瑢 , 任勇 , 王改花 , 吕世雅 ,

功能材料

采用共沉淀法制备了不同Zn2+掺杂量的CO1-xZnxFe2O4,研究了Zn2+掺杂量对其结构和磁性的影响.X射线衍射测试表明CO1-xZnxFe2O4成相良好,结晶随烧结温度增加而愈加完善.经400C热处理2h的Co0.7Zn0.3Fe2O4晶粒尺寸由谢乐公式计算为8.57nm.利用振动样品磁强计研究其静态磁性,结果表明,Zn2-掺杂量对CO1-xZnxFe2O4磁性有显著影响,Zn2+含量越高矫顽力越低,同时饱和磁化强度越大,当x=0.3时,矫顽力仅为1352.82A/m,磁化强度为42A·m2/kg,实现了CoFe2O4从硬磁性到软磁性的转变,可作为潜在的高频软磁材料.

关键词: 钴锌铁氧体 , 磁晶各向异性 , 矫顽力 , 饱和磁化强度

沉积温度对磁控溅射Ni3Al-Cr薄膜微观结构及性能的影响

邢永燕 , 魏贤华 , 马拥军 ,

功能材料

通过磁控溅射分别在300、400、500和600℃下沉积了Ni3Al-Cr薄膜.采用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的晶体结构和表面形貌,通过方阻法检测了薄膜的抗腐蚀性能,采用纳米压痕表征了薄膜的硬度.结果表明,沉积温度对薄膜的微观结构、抗腐蚀及力学性能有重要影响.随着沉积温度的升高,薄膜晶粒及颗粒尺寸增大,300C时形成尺寸均匀的立方体小颗粒,400和500℃时颗粒长大且致密堆积,600℃时部分颗粒过度长大.在400℃沉积的薄膜兼具最优的抗腐蚀性和力学性能.证明了方阻法表征薄膜抗腐蚀性能的可靠性.

关键词: 薄膜 , 磁控溅射 , 微观结构 , 抗腐蚀性能 , 力学性能

Mn成分对CoFe/Pt_(50)(Cr_(100-x)Mn_x)_50体系交换偏置的影响

, 雷勇 , 邵晓萍 , 倪经

功能材料

采用直流磁控溅射的方法制备了CoFe/Pt-CrMn交换偏置体系,反铁磁的Pt-CrMn是利用[Pt/CrMn]_n多层膜并经过300℃、2h的退火获得.通过调整Mn的成分,系统地研究了体系交换偏置场的变化.获得了钉扎性能良好的L10相反铁磁钉扎材料Pt-CrMn,即CoFe/Pt_(50)(Cr_(88)Mn_(12))_(50)钉扎体系,其界面交换耦合能为0.22×10~(-7)J/cm~2,截止温度(blocking temperature)为480℃.

关键词: 交换偏置 , 钉扎场 , 反铁磁

硬磁/反铁磁交换耦合对反铁磁FeMn稳定性影响研究

蒋庆林 , 张小伟 , 倪经 ,

功能材料

采用磁控溅射方法在SiO2基体上制备了FePt/FeMn/NiFe/Ta多层膜样品,通过FeMn/NiFe双层膜交换偏置的变化研究了硬磁FePt不同磁化状态对反铁磁层FeMn的影响。实验表明,磁化了的L10相FePt能使FeMn在较薄的情况下(4.5nm)对NiFe产生比较强的交换偏置;而未被磁化的FePt对FeMn/NiFe交换偏置影响并不明显。认为更薄的反铁磁层对另外的铁磁层产生交换偏置是由于硬磁与反铁磁的界面交换耦合作用能增强反铁磁的稳定性。

关键词: 交换偏置 , FePt , 稳定性

一种新型碳纳米纤维的电磁性能研究

王改花 , , 马拥军 , 任勇

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12261

细菌纤维素在一定温度下碳化,得到一种三维网状结构的纳米碳化纤维(CBC),利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪和透射电子显微镜对这种新型碳纤维进行了分析表征.将CBC与石蜡按一定比例复合,采用矢量网络分析仪在0.1~18 GHz范围处测试了其电磁参数,发现此复合材料具有较大的介电常数实部和虚部,特别是在频率较低时,具有很大的介电损耗.将少量CBC与Fe3O4纳米颗粒复合,可极大地改善磁性颗粒的微波吸收性能,当样品厚度为1.2 mm时,反射损耗(RL)最小值从-2 dB降至-21 dB.

关键词: 细菌纤维素 , 纳米碳纤维 , 三维网状结构 , 电磁性能

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