闫会芳
,
赵庆勋
,
付跃举
,
刘卓佳
,
张婷
,
郭建新
,
任国强
,
刘保亭
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.015
应用磁控溅射法制备Ni-Al和Pt薄膜,溶胶-凝胶法制备P(VDF-TrFE)铁电共聚物薄膜,在SiO2/Si(001)衬底上首次构架了Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al异质结电容器.X射线衍射(XRD)结果表明:Ni-Al薄膜为非晶结构,P(VDF-TrFE)薄膜具有较好的结晶质量.研究...
关键词:
P(VDF-TrFE)
,
铁电薄膜
,
非晶Ni-Al
,
溶胶-凝胶
任国强
,
邢金柱
,
李晓红
,
郭建新
,
代秀红
,
杨保柱
,
赵庆勋
功能材料
应用射频磁控溅射法在(001)Si衬底上制备了Cu(120nm)/Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)/Si异质结,借助原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪(FPP)等方法研究了Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜用作Cu和Si之间阻挡层的结构和性能。研究发现,Cu/T...
关键词:
Cu互连
,
阻挡层
,
Ta/Ti-Al
,
射频磁控溅射
任国强
,
唐章宏
,
郭红霞
,
汤云晖
,
王群
功能材料
纯铁粉在氨和氢的气氛中进行固气反应合成Fe3N和Fe4N粉状化合物.研究了氨气和氢气比例、温度以及时间对固气反应产物的影响,进而分别获得纯相粉状Fe3N和Fe4N化合物.利用矢量网络分析仪测试了Fe3N和Fe4N的磁导率和介电常数,并与市售铁氧体进行了比较.发现在1MHz~1GHz频段内,Fe3N和...
关键词:
Fe3N
,
Fe4N
,
工艺参数
,
磁导率
,
介电常数
材料保护
为尽快推广科技成果,及时介绍作者的经验,使文章可读性更强,被读者全面而完整地接受,本刊对稿件提出了一些要求(参见本刊2011年任意一期杂志中的“投稿须知”)。
关键词:
材料保护
,
投稿
,
科技成果
,
可读性
无
材料保护
各位作者:
感谢您多年来对《材料保护》的信任和支持!
为尽快推广科技成果,及时介绍作者的经验,使文章可读性更强,被读者全面而完整地接受,本刊对稿件提出了一些要求(参见本刊2011年任意一期杂志中的“投稿须知”)。
关键词:
材料保护
,
投稿
,
科技成果
,
可读性
,
作者
材料保护
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,
投稿
,
科技成果
,
可读性
,
作者
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材料保护
,
投稿
,
科技成果
,
可读性
,
作者