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沉积能量与沉积速率对薄膜生长形貌的影响

, 唐吉玉 , 崔婧 , 刘洋 , 朱永安

功能材料与器件学报

本文利用各向同性的周期性四方形基底,模拟了沉积能量与沉积速率对薄膜三维形貌的影响.模型主要分析了原子沉积、吸附原子扩散和原子脱附三个过程,同时详细地考虑了四方形基底的最近邻和次近邻的影响.结果表明:沉积能量对薄膜粗糙度、衬底填充比、岛的个数都有明显的影响.沉积速率对薄膜粗糙度的影响较小,在低沉积能量下对填充比和岛的个数影响较小,在高沉积能量下对填充比和岛的个数影响较大.在高沉积能量高沉积速率下,为了提高成膜质量,同时保证成膜效率,适当降低沉积速率比适当降低沉积能量更有效.

关键词: 沉积能量 , 沉积速率 , 粗糙度 , 填充比

相互作用能的非均一性对三维薄膜初期生长的影响

张正超 , 唐吉玉 , 崔婧 , , 董贵仁

功能材料与器件学报

考虑到基底原子位置高低不等和位置无序等现象引起的基底与吸附原子之间相互作用能的非均一性对三维薄膜初期生长二层以上原子的影响,本文建立了一个非均匀基底上的三维薄膜初期生长模型,研究了FCC(100)衬底上沉积速率、沉积能量、非均一性离散程度和分布形态等因素对三维薄膜初期生长的影响.由于基底非均匀分布的无规则性,文中将其拟合为一定范围内的随机分布.模拟结果显示:中等温度(T=450K)下相互作用能的非均一性对三维薄膜的初期生长有显著的影响;适当的增加基底不均一性离散程度和分布形态的凹凸程度对薄膜初期生长机制和岛数目都有重要影响.

关键词: 薄膜 , 相互作用能的非均一性 , 离散程度 , 分布形态

电磁发射装置电枢轨道配性研究

张晖辉 , 刘磊 , 黄立阳

兵器材料科学与工程

为对电磁轨道发射过程中电枢轨道配性进行研究,建立电枢轨道有限元配模型,刨削现象等效为斜冲击动力学问题,分析材料特性、几何形状等因素对刨削行为的影响规律.计算结果表明:增加轨道材料的屈服强度、降低电枢材料的屈服强度和平面电枢轨道配合形状能够减小导轨塑性应变以及塑性区面积,抑制刨削现象的产生.

关键词: 电磁轨道 , 斜冲击 , 动力学 , 刨削 ,

德合金相变过程中固、液相熔点导热系数的测定

周孑民 , 杨怀 , 李长庚

工程热物理学报

M.Lamvik 教授提出的利用相界面移动速率测定热物性方法应用于共晶德合金相变过程中固、液相导温系数、导热系数的测定。通过测量金属试样电阻的变化可确定相界面的位置,由相变前沿的移动速率可算出通过试样的热流量,进而求得试样的导温系数和导热系数。对德合金的测定结果与文献值吻合较好,证实了这一方法是行之有效的。

关键词: 德合金 , 相变 , 导热系数 , 测定

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