张丽伟
,
余泽通
,
杨根
,
卢景霄
人工晶体学报
用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了不同沉积时间微晶硅薄膜.用拉曼散射光谱仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段对薄膜的微观结构进行了研究.研究结果表明:随着沉积时间的延长,薄膜呈岛状生长,薄膜晶粒度在微晶核形成后迅速升高并逐渐饱和;其微观结构经历了"非晶相→非晶/微晶混合相→微晶相"的演变过程.本实验制备的微薄膜仍以(111)为优化取向.
关键词:
微晶硅薄膜
,
微观结构
,
微观形貌
李利城
,
官伯然
低温物理学报
为了便于对DCSQUID及其应用电路进行分析，在Wrspice中建立了DcSQUID的电路仿真模型，并与经典文献进行了比对验证．与通过数值方法求解系统微分方程的计算过程相比，本模型更为方便、直观．文章首先简述了IX；SQUID磁通检测系统的检测原理，然后在Wrspice中建立了DCSQUID磁通检测系统的磁通锁定环电路模型，进而仿真得到了磁通锁定环积分器输出电压随外加磁通量的响应．本文结果有助于实现DCSQUID电路的系统级仿真，为参数优化提供依据，具有一定的参考价值．
关键词:
磁通检测
,
DC
,
SQUID
,
仿真
,
Wrspice
王克俭
钢铁研究
由于宝钢悬浮窑内部结构的问题,经常会发生堵料现象,且存在通堵时间长、通堵不彻底、安全风险大等问题.在通堵口设计安装了1种防喷溅装置,通堵时间由原来的平均5h缩短到目前的平均2h,喷溅范围由直径为6 m左右的半圆周控制到了直径为0.5m左右的半圆周,较大地提高了作业的安全系数.
关键词:
悬浮窑
,
通窑排堵
,
焙烧
,
防喷溅
陈震
,
魏珂
,
王润梅
,
刘新宇
,
刘训春
,
吴德馨
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.024
比较研究了GaAs背面通孔腐蚀中的湿法腐蚀和ICP干法刻蚀技术,并利用感应离子耦合(ICP)干法刻蚀技术,采用CCl2F2/Ar混合气体,对GaAs衬底上的通孔工艺进行了研究.通过优化气压、射频功率、CCl2F2/Ar混合气体组分配比,在CCl2F2流量为200sccm,Ar流量为10sccm,源功率Ps=400W,偏压功率Pb=14W,自偏压Vb=120V,真空度P=43Pa时,得到了表面平滑的通孔形貌和最大的通孔刻蚀速率(4.3μm/min).
关键词:
通孔
,
感应离子耦合(ICP)
,
干法刻蚀
蔡振武
,
张振
,
何大海
,
蒋凯雁
,
胡正飞
上海金属
通孔泡沫铝具有特殊的力学和物理性能,兼具结构材料和功能材料的特性,是一种具有多用途的新型多孔材料.详细介绍了目前通孔泡沫铝的主要制备方法,比较了各制备方法的优缺点,简单论述了孔隙率及孔径对泡沫铝压缩性能的影响,分析了材料性能和制备方法的相关性.
关键词:
通孔泡沫铝
,
制备
,
压缩性能
吴益文
,
华沂
,
胥成民
,
初敏
,
冯健
物理测试
doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2006.02.015
空调四通换向阀是空调温控的主要器件之一,在水压试验过程中,发现一定比例的空调四通换向阀产品漏水失效,给企业的正常生产带来干扰和重大的经济损失.对失效产品进行检查、分析发现空调四通换向阀中的不锈钢封头有开裂,封头采用进口铁素体不锈钢棒材.本文通过金相、SEM、EDAX等先进显微分析技术,发现铁素体不锈钢棒材内部有大量的沿轴向分布的硫化锰夹杂物.空调四通换向阀失效是封头的开裂引起的,而封头的开裂与封头材料内部有大量轴向分布的硫化锰夹杂物有关.
关键词:
空调四通换向阀
,
不锈钢棒材
,
失效分析
,
夹杂物
