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离子束沉积技术室温生长Si/Ge薄膜的晶化研究

杨宇 , 陈刚 , 邓书康 , 高立刚 , 刘焕林 , 吴国元 , , 陈长青 , 陈亮 , 郝瑞亭

功能材料

研究Si的室温晶化生长对微电子应用技术是十分重要的.本文采用离子束外延技术制备了一系列的Si/Ge多层膜结构,对样品进行X射线和拉曼散射实验表征.研究表明:Ge可诱导膜中Si薄层的室温晶化,当Ge厚度略小于Si薄层厚时,获得最佳的Si室温晶化效果.

关键词: Si/Ge多层膜 , 离子束外延 , XRD , Raman散射

离子束溅射生长非晶Si薄膜的研究

邓书康 , 陈刚 , 高立刚 , 陈亮 , , 方静华 , 杨宇

功能材料

用离子束溅射法制备了不同衬底温度的非晶硅(a-Si)薄膜,用双四探针法测量了不同温度下的电阻率,用喇曼散射及原子力显微镜表征了薄膜显微结构.结果发现随着衬底温度的升高,薄膜的电阻率逐渐增大,衬底温度为室温的a-Si薄膜质量较好且从其表面形貌可观察到少量Si晶粒的存在.

关键词: 离子束溅射 , 非晶硅 , 喇曼散射 , 电阳率

磁控溅射Ge薄膜的结晶特性研究

高立刚 , 陈刚 , 邓书康 , 陈亮 , 阚家德 , , 杨宇

功能材料

采用直流磁控溅射技术制备了不同衬底温度下的Ge单层膜,XRD分析结果表明,当衬底温度低于350℃时Ge膜为非晶结构,高于400℃时开始结晶.并研究了不同尺寸Ge颗粒的Ramah散射谱特征,与晶体Ge的散射谱相比,观察到纳米Ge颗粒Raman散射谱的峰位红移与峰形宽化现象;并根据Raman谱的红移量计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸,采用声子限域理论较好地解释了实验结果.

关键词: Ge薄膜 , XRD , Raman散射光谱 , 晶粒尺寸 , 声子限域理论

离子束溅射制备Si/Ge多层膜的结晶研究

邓书康 , 陈刚 , 高立刚 , 陈亮 , , 刘焕林 , 杨宇

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.020

采用离子束溅射制备Si/Ge多层膜,通过X射线小角衍射计算其周期厚度及各子层的厚度,用Raman光谱对Si/Ge多层膜的微观结构及Si子层的结构进行表征.结果表明,所制备的Si/Ge多层膜中,当Ge子层的厚度为6.2nm时,Si子层的结晶质量较好,表明适量的Ge含量有诱导Si结晶的作用.

关键词: Si/Ge多层膜 , 离子束溅射 , 拉曼光谱

太阳材料研究进展

刘彪 , 冀棉 , 杨士勇

宇航材料工艺

太阳飞船由于无需动力等优势近年来引起了各国科学家的研究兴趣,并在深空探测领域具有重要的应用前景.太阳的结构设计和材料选择是影响其性能的重要因素,本文结合太阳飞行环境的特点,介绍了太阳的基本结构和飞行原理,重点针对目前几种比较典型的太阳设计,对其支撑材料以及面薄膜材料进行了综述,并分析了各种材料和设计的性能特点.

关键词: 飞行器 , 太阳 , 结构 , 材料

淡水三角蚌贝壳珍珠质的同步辐射XRD研究

鄢晓晖 , 王胜男 , 杜博 , 王小祥

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00524

利用同步辐射XRD研究淡水三角蚌贝壳珍珠质的内应力和珍珠质中单个文石板片的微结构, 发现淡水三角蚌贝壳珍珠质中单个文石板片内存在晶内有机物, 且该晶内有机物导致珍珠质层中产生拉应力. 这一拉应力沿不同晶向呈现强烈的各向异性, 表明晶内有机物在文石板片内很可能以某一特定的方式排列. 同步辐射XRD图谱的线形分析进一步证实淡水三角蚌贝壳珍珠质中的晶内有机物吸附于文石板片的(002)晶面. 这些研究结果将促进珍珠质矿化及强韧化机制的研究, 为设计高性能无机-有机复合材料及培育珍珠提供科学的根据.

关键词: 珍珠质; 同步辐射XRD; 微结构; 内应力

淡水三角蚌贝壳珍珠质的同步辐射XRD研究

鄢晓晖 , 王胜男 , 杜博 , 王小祥

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00524

利用同步辐射XRD研究淡水三角蚌贝壳珍珠质的内应力和珍珠质中单个文石板片的微结构,发现淡水三角蚌贝壳珍珠质中单个文石板片内存在晶内有机物,且该晶内有机物导致珍珠质层中产生拉应力.这一拉应力沿不同晶向呈现强烈的各向异性,表明晶内有机物在文石板片内很可能以某一特定的方式排列.同步辐射XRD图谱的线形分析进一步证实淡水三角蚌贝壳珍珠质中的晶内有机物吸附于文石板片的(002)晶面.这些研究结果将促进珍珠质矿化及强韧化机制的研究,为设计高性能无机-有机复合材料及培育珍珠提供科学的根据.

关键词: 珍珠质 , 同步辐射XRD , 微结构 , 内应力

三角蚌珍珠质层结构和珍珠质涂层的研究

谢雷,王小祥,郦剑

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00617

利用扫描电镜和光学显微镜对三角蚌贝壳和珍珠的珍珠质层微观结构进行了分析研究, 发现贝壳的珍珠质层中存在异常的结构带, 主要有柱状珍珠质带, 针状晶体带以及棱柱状晶体带. 其中柱状珍珠质带中, 单片文石板片的厚度超过1μm, 是正常珍珠质中文石板片厚度的两倍. 而对正常珍珠的珍珠质层的大量观察却未发现类似的异常结构. 分析认为这可能是因为贝壳珍珠质的矿化微环境与珍珠的珍珠质矿化微环境不同导致的. 并利用圆柱形珍珠囊在钛金属牙种植体表面制备的珍珠质涂层具有沿整个圆周面均匀生长的特点.

关键词: 珍珠质 , microstructure , columnar nacre , nacreous coating

三角蚌珍珠质层结构和珍珠质涂层的研究

谢雷 , 王小祥 , 郦剑

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.03.040

利用扫描电镜和光学显微镜对三角蚌贝壳和珍珠的珍珠质层微观结构进行了分析研究,发现贝壳的珍珠质层中存在异常的结构带,主要有柱状珍珠质带,针状晶体带以及棱柱状晶体带.其中柱状珍珠质带中,单片文石板片的厚度超过1μm,是正常珍珠质中文石板片厚度的两倍.而对正常珍珠的珍珠质层的大量观察却未发现类似的异常结构.分析认为这可能是因为贝壳珍珠质的矿化微环境与珍珠的珍珠质矿化微环境不同导致的.并利用圆柱形珍珠囊在钛金属牙种植体表面制备的珍珠质涂层具有沿整个圆周面均匀生长的特点.

关键词: 珍珠质 , 微观结构 , 柱状珍珠质层 , 珍珠质涂层

双壳纲三角蚌贝壳的三维微结构及其化学组成研究

严俊 , 方飚 , 张姗姗 , 胡仙超 , 张刚生

材料导报

通过场发射扫描电镜(FE-SEM)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱、X射线粉晶衍射(XRD)对淡水三角蚌贝壳各壳层的微结构特征及化学组成进行较系统的对比研究.结果表明:在贝壳的垂直生长层方向,最外层的角质层可细化为外角质层与矿化区,其中在贝壳的不同区域中该角质层的厚度存在明显差异;棱柱层中的棱柱与外层的角质层及内层的珍珠层文石板片呈近垂直交接,棱柱层的厚度在贝壳的不同位置同样存在差异;首次发现珍珠层中文石板片的厚度从接近棱柱层一端至珍珠层内侧面逐渐变厚,该结论与前人的文献报道恰好相反.基于本研究的结论,推测贝壳中复合的微纳米结构与化学组成共同决定了软体动物贝壳优异的力学性能.

关键词: 复合材料 , 淡水贝壳 , 三角 , 微结构 , 角质层

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