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AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长

王磊 , 冷杉 , 王波 , 黄安平 , 李小换 , 朱满康 , 严辉

功能材料

当ZnO薄膜直接沉积在Si衬底上时,由于ZnO与Si的晶格失配度大,不易于获得高质量的ZnO薄膜.因此,选择合适的衬底材料沉积ZnO薄膜,对提高其质量非常重要.本文采用射频磁控溅射法,通过在Si(100)衬底上预沉积AlN作为ZnO薄膜生长的缓冲层,获得了择优取向的ZnO薄膜.我们还讨论了ZnO薄膜在AlN/Si衬底上的取向生长机理.

关键词: ZnO薄膜 , 磁控溅射 , 择优取向

碳化工艺对木陶瓷性能影响的研究

陶毓博 , 刘一星 , 李鹏 , 李淑君

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.06.002

利用冷杉砂光木粉浸渍酚醛树脂制造木陶瓷预制件,在真空条件下碳化处理制备了多孔木陶瓷.采用差示扫描量热法(DSC)研究了木粉和酚醛树脂的热解特性,根据原料的热解特性制定了木陶瓷的碳化工艺,并讨论了碳化过程中升温速率和最高碳化温度对木陶瓷尺寸收缩、碳得率、尺寸稳定性、力学性能、耐磨性、电磁屏蔽性能和微观结构的影响.结果表明,木陶瓷碳化初始阶段(室温~120℃)快速升温至120℃,120℃以上升温速率为2~5 ℃/min时,木陶瓷的碳得率较高,尺寸稳定性较好;碳化温度在800℃时可以制得尺寸稳定的木陶瓷,但随着碳化温度的升高,木陶瓷的尺寸收缩增加不大,碳得率降低,抗压和抗弯强度增大,耐磨性和电磁屏蔽效能增大;烧结温度达到1400℃时,木陶瓷出现了石墨化倾向.

关键词: 砂光木粉 , 酚醛树脂 , 木陶瓷 , 碳化工艺

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