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光刻胶用底部抗反射涂层研究进展

王宽 , 刘敬成 , 刘仁 , 穆启道 , 郑祥飞 , 纪昌炜 , 刘晓亚

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123

随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望.

关键词: 光刻胶 , 光刻技术 , 底部抗反射涂层

PEDOT∶PSVMA/AuNPs导电墨水的合成及应用

张煜霖 , 彭博 , 袁妍 , 刘仁 , 刘敬成 , 李治全 , 刘晓亚

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.05.452

本文以苯乙烯磺酸钠(SS)、7-(4-乙烯基苄氧基)-4-甲基香豆素(VM)和丙烯酸(AA)作为反应单体,合成了一种光敏性双亲共聚物PSVMA,利用1 HNMR与UV-Vis光谱对其结构和组成进行了表征.以PSVMA作为软模板和掺杂剂,氯金酸作为氧化剂,通过化学氧化法聚合得到水分散的PEDOT∶ PSVMA/AuNPs导电复合物,平均粒径是66.7±0.5 nm.将其作为基础墨水,调节配方制得了PEDOT∶ PSVMA/AuNPs喷墨打印墨水,分别以相纸和PET膜为基材制得了图案化的柔性导电膜,该柔性导电膜具有较好的导电性,经紫外光引发导电膜中的香豆素基团二聚后,其耐水性大大提高.

关键词: 导电复合物 , PEDOT , 金纳米粒子 , 双亲性聚合物

光触发自修复聚合物研究进展

高菲 , 曹建诚 , 刘敬成 , 刘仁 , 袁妍 , 李治全 , 刘晓亚

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2017.01.034

近几年,由于光触发自修复聚合物具有可控快速等优势,其在自修复聚合物领域中占据了重要的地位.光触发自修复聚合物实现自修复的方法主要分为3类,分别是基于光交联反应的自修复、基于光触发交换反应的自修复和基于光热效应的自修复.本文主要从光触发自修复聚合物的修复机制以及修复过程中涉及的化学本质两个方面,重点阐述了上述3类光触发自修复方法的最新研究进展,强调3种光触发自修复之间的联系和共同点.同时,对光触发自修复聚合物未来的发展前景进行了展望.

关键词: 光触发 , 自修复 , 聚合物

新型生物基光固化树脂的合成及性能研究

唐洪涛 , 曾雪标 , 郑俊超 , 刘仁 , 朱家佳 , 刘晓亚

涂料工业

以可再生资源甘油和腰果酚为主要原料合成出一种可UV固化的新型生物基光固化树脂(CGHA).通过FT-IR和1H-NMR对所得光敏树脂结构进行了表征,讨论了反应温度和催化剂用量对树脂制备过程中-NCO反应速率的影响,并确定了反应温度和催化剂用量.同时对CGHA的涂膜性能进行了测试,并与市售光固化树脂CN2032和AESO进行了对比.结果表明:CGHA生物基含量达到65%时,可较好地兼顾附着力、硬度、耐酸性及拉伸强度等性能要求.

关键词: 腰果酚 , 甘油 , 紫外光固化

UV电泳光成像抗蚀剂的制备及性能

刘仁 , 顾辉旗 , 安丰磊 , 王春林 , 张胜文 , 刘晓亚

高分子材料科学与工程

合成了水可分散阳离子型丙烯酸酯光敏聚合物(UPDHES),以其为主体树脂制得了阴极光敏电泳涂料乳液,并以铜箔为阴极进行电泳成膜、闪蒸、曝光、显影成像.研究了电泳过程中电流密度的变化对涂膜的影响,并对电泳涂膜进行了扫描电镜表征;考察了光敏树脂双键含量对其光固化动力学及性能的影响;最后对光成像抗蚀荆的分辨率进行了测试.结果表明,以电泳技术制得的抗蚀膜层均匀致密,固化后对基材具有较强的附着力,固化膜的耐磨性及拉伸强度都随双键含量的增加而得到了提高,该抗蚀成像膜分辨率高,最小线宽达到15μm.

关键词: 电泳 , 涂料 , 紫外光 , 成像 , 抗蚀剂

辐照法制备光敏性微凝胶的研究

刘仁 , 安丰磊 , 张胜文 , 沙漠 , 刘晓亚

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2012.10.004

采用简单高效的紫外辐照法,以阳离子型光敏性无规共聚物自组装胶体粒子为前驱体制得了光敏性微凝胶PANM.对微凝胶所含光敏基团进行了结构表征,并考察了溶液浓度、分散方法及紫外辐照时间对微凝胶制备的影响.研究结果表明:在3%的溶液浓度下采用超声分散法在不同紫外辐照时间下均可制得形态较为规整的微凝胶粒子,激光光散射及透射电镜表征显示其呈平均粒径为35 ~ 40 nm的似球形结构.红外和核磁表征结果则表明不同辐照时间制得的微凝胶均含有一定的光敏性双键.

关键词: 无规共聚物 , 微凝胶 , 紫外辐照 , 自组装

阳离子型丙烯酸树脂的合成及其水溶性研究

刘仁 , 熊万斌 , 刘晓亚 , 陈明清 , 杨成

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2005.08.003

以自由基聚合法合成了阳离子型丙烯酸树脂,通过稳定性比较考察了甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)用量及树脂中和度对树脂水溶性的影响.用Zeta电位研究了中和度对胶体稳定性的影响,采用激光光散射仪(LLS)测定了胶体颗粒在水分散液中的流体动力学半径及分布.研究表明:当CMA用量为15%(质量分数),中和度为80%时,体系中胶体颗粒具有足够的亲水性和良好的稳定性.

关键词: 阳离子型丙烯酸树脂 , 甲基丙烯酸缩水甘油酯 , 水溶性 , 胶体稳定性 , 自由基聚合法 , 中和

聚碳酸酯二元醇型紫外光固化聚氨酯丙烯酸酯的合成与性能研究

王宝清 , 卢杨斌 , 刘敬成 , 张胜文 , 刘仁 , 刘晓亚

涂料工业

以不同相对分子质量的聚碳酸酯二元醇(PCDL)为主要原料与异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)反应所得预聚体PCDL PUA,再分别用甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和季戊四醇三丙烯酸酯(PET3A)为封端剂,合成了一系列光固化聚氨酯丙烯酸酯(PCDLH PUA和PCDLP PUA).用FT IR、GPC、UV光谱仪、拉伸测试表征所得产物结构和性能,分别考察PCDL相对分子质量和封端剂对产物结构和性能的影响.结果表明:随PCDL相对分子质量增大,PCDL PUA相对分子质量和黏度增大,其固化膜杨氏模量逐渐减小,断裂伸长率增大;PET3A封端的PCDLP PUA相对分子质量、黏度和杨氏模量均大于HEMA封端的PCDL-HPUA.所有PCDL-PUA系列光固化漆膜性能均有优异的耐化学性.

关键词: 聚氨酯丙烯酸酯 , 聚碳酸酯二元醇 , 光固化

细乳液法制备有机硅氧烷改性苯丙乳液

张胜文 , 刘仁 , 张永兴 , 白绘宇 , 江金强

高分子材料科学与工程

采用细乳液法制备γ-甲基丙烯酰氧基正丙基三甲氧基硅烷(MPS)改性苯丙乳液.研究了引发剂、pH值、MPS的用量等对乳胶膜凝胶含量、溶胀比及动态力学性能的影响.溶胀实验表明,乳胶粒子和乳胶膜凝胶含量及溶胀比主要受体系的pH值影响比较大.动态力学分析表明,在中性条件下使用过硫酸钾(KPS)引发剂得到的乳胶膜的储存模量要高于偶氮二异丁腈(AIBN)乳胶膜的储存模量;增加MPS的用量以及对乳胶膜进行酸化处理或热处理可以提高乳胶膜的储存模量.

关键词: 细乳液 , 有机硅氧烷

可用于印刷电子的水性CNTs导电材料及其在印刷电子器件上的应用

袁妍 , 刘敬成 , 吴海强 , 费小马 , 刘仁 , 刘晓亚

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2014.04.329

印刷电子技术较传统硅基微电子技术具有大面积、柔性化与低成本的优势,具有广阔的应用前景.而印刷电子材料的制备是印刷电子技术得以蓬勃发展的关键所在.碳纳米管(CNTs)是近年来发展迅速的新型碳材料之一,可应用在透明导电薄膜、晶体管、电容器、传感器、催化剂、高强度材料等各个材料领域.本文主要介绍了采用双亲共聚物改性CNTs,制备适用于印刷电子的导电墨水及其在印刷电子器件上的应用.

关键词: 印刷电子 , 碳纳米管 , 双亲嵌段共聚物 , 气敏传感器

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