任玲
,
王林军
,
苏青峰
,
刘健敏
,
徐闰
,
彭鸿雁
,
史伟民
,
夏义本
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.04.011
采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)方法生长得到25μm厚的[100]取向金刚石膜,用以制备辐射探测器.在100 V偏压下,测得暗电流为16.1 nA,55Fe X射线(5.9 keV)和241Am α粒子(5.5 MeV)辐照下的净光电流分别为15.9nA和7.0nA.光电流随时间的变化先快速增...
关键词:
金刚石膜
,
辐射探测器
,
光电流
,
电荷收集效率
阮建锋
,
夏义本
,
王林军
,
刘健敏
,
蒋丽雯
,
崔江涛
,
苏青峰
,
史伟民
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.003
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频...
关键词:
纳米金刚石
,
HFCVD
,
表面粗糙度
,
声表面波
刘健敏
,
夏义本
,
王林军
,
阮建锋
,
苏青峰
,
蒋丽雯
,
史伟民
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.04.019
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的...
关键词:
自支撑金刚石膜
,
表面粗糙度
,
氧化锌薄膜
,
声表面波器件
祝雪丰
,
王林军
,
胡广
,
刘健敏
,
黄健
,
徐金勇
,
夏义本
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.007
采用电子辅助-热丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)在硅片上沉积出晶粒尺寸为30 nm的均匀金刚石膜.生长过程中,预先加6 A偏流生长1 h,然后在0.8 kPa条件下,无偏流生长3 h.光致发光谱中存在4个发光中心分别位于1.682 eV, 1,564 eV, 1,518 eV和1.512 eV的...
关键词:
光致发光
,
纳米金刚石膜
,
电子辅助-热丝化学气相沉积
李聪
,
江伟辉
,
冯果
,
刘健敏
,
吴倩
,
苗立锋
,
张权
人工晶体学报
以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜.借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水(H2O2)对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题...
关键词:
硅酸锆
,
溶胶-凝胶法
,
双氧水
,
抗腐蚀性
江伟辉
,
冯果
,
刘健敏
,
谭训彦
,
于云
人工晶体学报
以钛酸四丁酯和硝酸铝为原料,乙醇为溶剂,通过溶胶-凝胶法在碳化硅基片上制备钛酸铝薄膜.借助DSC-TG、XRD、FE-SEM和SEM研究了钛酸铝干凝胶在热处理过程中的热重效应与相变化、薄膜的晶相组成、显微结构及其抗硝酸钠熔体腐蚀性能.结果表明:制备的钛酸铝薄膜表面均匀、致密,晶粒尺寸在100 nm左...
关键词:
溶胶-凝胶法
,
钛酸铝薄膜
,
碳化硅
,
抗熔盐腐蚀性能
江伟辉
,
胡紫
,
刘健敏
,
朱庆霞
,
冯果
人工晶体学报
本文以无水二氯化铝和四氯化钛为前驱体,以无水乙醇为氧供体,以铁粉、三氯化铁和乙醇铁为稳定剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备铁稳定钛酸铝粉体.运用XRD、FT-IR和热膨胀仪等测试手段研究和探讨了铁稳定剂对低温合成钛酸铝的效果、稳定作用及其机理.结果表明:引入铁粉既不能提高钛酸铝低温合成效果也不能改善其热...
关键词:
非水解溶胶.凝胶法
,
钛酸铝
,
热分解
,
铁稳定剂
江伟辉
,
虞澎澎
,
刘健敏
,
谭训彦
,
彭永烽
人工晶体学报
本文分别以钛酸丁酯的冰醋酸溶液和四氯化钛的乙醇溶液为钛源,硝酸铝的乙醇溶液为铝源,采用溶胶-凝胶法制备钛酸铝溶胶,通过分析溶胶的流变学特征和显微结构,研究了两种钛源对钛酸铝溶胶可纺性的影响.结果表明:以钛酸丁酯的冰醋酸溶液为钛源,制备的钛酸铝溶胶,由球形胶粒团聚体组成,呈非牛顿型流体的特性,溶胶不具...
关键词:
溶胶-凝胶法
,
钛酸铝
,
可纺性
,
钛源
王三海
,
江伟辉
,
冯果
,
刘健敏
,
苗立锋
,
王洪达
人工晶体学报
以无水四氯化锆为锆源,正硅酸乙酯(TEOS)为硅源,氟化锂为矿化剂,乙醇为溶剂,炭黑为还原剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备硅酸锆晶须,研究了炭黑种类与坩埚密封程度对硅酸锆晶须生长的影响.结果表明:相对于比表面积过小的炭黑8001或比表面积过大的超级活性炭,竹炭更利于硅酸锆晶须的生长;采用敞开坩埚方式热...
关键词:
硅酸锆
,
非水解溶胶-凝胶法
,
晶须
,
炭黑
