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二次电子成分衬度成像方法在异质结半导体材料和器件的微结构研究中的应用

刘安生 , 邵贝羚 , 安生 , 王敬 , 刘峥 , 徐军 , 王瑞忠 , 钱佩信

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.001

阐述了高分辨二次电子成分衬度像的成像原理、成像条件和实验方法, 介绍了一种新的试样制备方法, 讨论了各种制样方法的特点. 以多层P+-Si1-xGex/p-Si异质结内光发射红外探测器为例, 介绍了二次电子成分衬度像观察技术在异质结半导体材料和器件微结构研究中的应用. 将这种技术与通常的透射电子衍射衬度方法进行了比较, 讨论了它在异质结半导体材料和器件中的应用前景.

关键词: 二次电子成分衬度像 , 异质结半导体材料和器件 , 电子显微术 , 微结构

大面积YBCO超导薄膜沉积工艺

王小平 , 刘援 , 李文祥 , 袁冠森 , 古宏伟 , 王晓华 , 刘安生

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.015

用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置, 在Φ51 mm LaAlO3衬底上制备了YBCO薄膜. 利用X射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析. 在51 mm直径范围内薄膜的零电阻温度Tc为88~90 K.

关键词: 磁控溅射 , 大面积YBCO薄膜 , 沉积

铋系银包套高温超导多芯带材的微观结构观察

李远松 , 孙丽虹 , 刘安生 , 邵贝羚 , 李永洪 , 周贻茹 , 邓华

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.017

采用粉末装管法制备了M27 (27芯), M19 (19芯) 两种铋系银包套高温超导多芯带材. 将样品制成平面及断面试样. 利用配有能谱的JEM-2000FX型透射电子显微镜对其进行了形貌观察和成分分析, 确定了相组成. 利用JSM-840型扫描电子显微镜对多芯带材进行了低倍观察以确定其多芯带材的均匀性和生长结合的完整性.

关键词: BSCCO超导多芯带材 , 显微结构

铋系银包套高温超导多芯带材的显微组织结构

孙丽虹 , 刘安生 , 邵贝羚 , 李永洪 , 王敬 , 张希顺 , 李远松

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.01.014

采用粉末装管法制备了M27(27芯),M19(19芯)六种铋系银包套高温超导多芯带材,利用标准四引线法测量其电学性能临界温度(Tc)和临界电流密度(Jc),利用高分辨电子显微镜,配有能谱仪的透射电子显微镜和扫描电子显微镜研究其显微组织结构.超导多芯带材的相组成以2223相为主,可以观察到少量的2212相,且与2223相共生.在超导相晶粒之间和三叉晶界存在非晶层.超导相界面、超导相和银包套界面较为平直,超导相和银包套界面夹角为5°.超导相的晶粒具有一定的织构,晶粒的ab面大致平行于带材的带长方向,c轴大致垂直于轧面.扫描电子显微镜观察表明国外超导带材的晶粒较国内大而明显.在样品中存在CuO、SrO和CaO杂相.一些杂相在超导相的周围沿晶界分布,一些杂相独立存在.

关键词: BSCCO超导多芯带材 , 组织结构 , 超导相 , 杂相

流动和污染海水诱发并加速铜合金脱成分腐蚀的研究

王晓华 , 林乐耘 , 赵月红 , 徐杰 , 陈朝庆 , 刘安生

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.01.003

分析研究了 4种铜合金在舟山、青岛、榆林各海水腐蚀试验站暴露4年以上的腐蚀数据,得到流动海水和污染海水对铜合金脱成分腐蚀的基本规律和机理。双相黄铜及硅青铜对流动海水的腐蚀最为敏感,从前者的脱成分腐蚀机理出发,提出了流动诱发和加速铜合金脱成分腐蚀的新概念。其关键在于,随着原始表面膜的腐蚀消耗,不能形成新的致密的耐冲击的腐蚀产物膜,使合金元素向表面的扩散过程得不到抑制,从而使双相黄铜的脱成分腐蚀不断被诱发、被加速,其中尤以 β相连续的双相黄铜被加速的趋势最为明显。表面腐蚀产物膜分析表明,这两类铜合金的腐蚀产物膜具备致密和耐冲击腐蚀的特征。在污染海水的情况下,由于硫离子等的作用,同样不能形成致密的腐蚀产物膜,同样使双相黄铜的腐蚀被逐年加速。由于这种污染元素的作用在试样露出水面时依然存在,致使潮差暴露也出现类似情况。

关键词: 铜合金 , 流动海水 , 污染海水 , 脱成分腐蚀

低压等离子喷涂涂层膜基界面结合能的研究

朱其芳 , 邵贝羚 , 刘安生 , 安生 , 王福生 , 李东飞

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2002.05.012

用努氏界面印痕法, 对铁基Ni/Fe、镍基Cu/Ni低压等离子喷涂涂层的膜基界面进行界面结合能的研究, 分析得到涂层界面的断裂表面能. 分析得出铁基纯镍Ni/Fe涂层界面的断裂表面能比镍基铜Cu/Ni涂层的断裂表面能高. 界面微观分析表明, 镍基铜Cu/Ni涂层材料疏松, 膜基界面存在较多裂纹, 另外涂层和基体观察不到元素扩散层. Ni/Fe涂层界面结合致密, 约有2~3 μm的元素扩散层.

关键词: 涂层 , 断裂表面能 , 努氏界面印痕

SOI键合材料的TEM研究

王敬 , 屠海令 , 刘安生 , 周旗钢 , 朱悟新 , 张椿

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.04.008

用横断面透射电子显微术 (TEM) 研究了用键合方法获得的SOI材料的界面结构.绝缘层二氧化硅和硅膜的厚度非常均匀, Si膜/SiO2以及SiO2/Si基体的界面平直且结合紧密,在界面上没有观察到缺陷和孔洞.

关键词: 硅片键合 , SOI , 界面 , 微结构

硅片的直接键合

王敬 , 屠海令 , 刘安生 , 张椿 , 周旗钢 , 朱悟新

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.05.013

介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.

关键词: 硅片 , 硅片键合 , 直接键合

金属基体上YSZ过渡层及YBCO薄膜结构与沉积条件的关系

王敬 , 刘安生 , 石东奇 , 王晓华 , 邵贝羚 , 袁冠森

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.009

研究了两种在金属基体 (Hastelloy-C) 上沉积的、以钇稳定的ZrO2 (YSZ) 为过渡层的YBa2Cu3O7-y薄膜结构, 并讨论了结构与沉积条件的关系. 当沉积速率低时, YSZ层致密、均匀, 存在织构取向, 且与基体连接良好; 而高速率沉积的YSZ层疏松, 与基体结合差. YBCO薄膜的结构和性能与沉积时的基体温度相关.

关键词: YBCO薄膜 , YSZ过渡层 , 微结构 , 金属基体

金属基低压等离子喷涂界面的结合性能及微结构研究

李东飞 , 邵贝羚 , 刘安生 , 安生 , 朱其芳

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.04.001

采用奴氏印痕法、X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线能量散射谱(EDS) 等方法研究了 Ni/Fe,Cu/Ni 低压等离子喷涂材料的喷涂界面结合性能及微结构特征.喷涂界面的结合性能与其微结构、微成分特征密切相关.Ni/Fe 试样具有结合良好的界面,界面层为在晶态(Fe,Ni)氧化物上弥散分布着纳米级(Fe,Ni) 金属间化合物细晶的结构,界面区有明显的元素扩散;Cu/Ni 试样喷涂界面层为典型的非晶相,界面区未见明显的元素扩散.不同微观特征的喷涂界面对应的宏观界面结合性能有明显差异,Ni/Fe 喷涂界面结合强度明显优于 Cu/Ni 喷涂界面.对 Ni/Fe、Cu/Ni 喷涂界面断裂的微观机理进行了探讨.

关键词: 微结构 , 结合强度 , 低压等离子喷涂 , 非晶相

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