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利用CF4等离子体制作高开口率TFT-LCD

金奉柱 , 崔瑩石 , , 張炳鉉 , 柳在一 , 李禹奉 , 李貞 , Jung-yeal LEE

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.001

为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差.通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行.为了克服上述问题,在本研究中用CF4气体代替 SF6气体进行刻蚀,结果在FFS 5.16(2.03 in)像素结构中,开口率提高了60 %.

关键词: TFT-LCD , 开口率 , 刻蚀 , CF4等离子体

用Al或Mo/Al/Mo低阻材料改善4-Mask工艺中Al腐蚀的方法

, 崔螢石 , 金奉柱 , 柳在一 , 李禹奉 , 李貞

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.020

为了减少制造工艺的过程,改进的4-Mask工艺中采用Al基的数据线已得到进一步的完善.但这个工艺仍存在很多问题,主要是为减少工艺过程,而引入干法刻蚀对Al有腐蚀作用.本文应用CF4/O2等离子体处理,很好地阻止了对Al的腐蚀,得到很好的效果,对改进后4-Mask工艺的进一步应用具有非常重要的意义.

关键词: 液晶显示器 , 腐蚀 , Al,Mo/Al/Mo , 等离子体处理

获得精细通孔图形的光刻技术改进

宋泳锡 , , 柳在一 , 張炳鉉 , 李禹奉 , 李貞

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.009

为了获得更高性能的TFT-LCD面板,在光刻时保证精细的图形成像十分重要,其中,如何制作出尺寸更小的通孔图形是主要的问题之一.本文提供的研究中,我们只简单地改变了一下烘烤工艺,而不需要改变Eop和显影时间,就可以将通孔图形的尺寸减小20 %~25 %.在后续的刻蚀工艺中,通孔的尺寸能显著减小.

关键词: TFT-LCD , 光刻 , 通孔图形 , 尺寸

氧气转炉中高磷熔渣对白云石炉衬的侵蚀

郁国城

金属学报

运用相关系研究了氧气转炉中高磷熔渣对白云石炉衬侵蚀甚的原因。 与低磷熔渣比较,高磷熔渣侵蚀白云石中MgO数量相似,对CaO则较强烈。其原因有三: 一、高磷熔渣于1600℃为均质熔液和对CaO反应力很大的非均质熔液,而低磷熔渣则为对CaO反应力很小的非均质熔液; 二、于1600℃下,高磷熔渣有时为二相熔液,低磷熔渣为单相熔液。二相熔液侵夺CaO甚; 三、在高磷渣中,SiO_2含量愈大,则CaO饱和量愈大,熔渣侵蚀CaO愈多。在低磷熔渣内无此现象。 对上列缺点,建议在熔渣内提高CaO含量,以资补救。

关键词:

Mg-9Al合金铸造凝固模型

王业双 , 张咏波 , 王渠东 , 马春江 , 丁文江 , 朱燕萍

金属学报

在热力学基础上建立了Mg-9Al合金的铸造凝固模型.考察了Mg-9Al合金在铸造凝固条件下的固相分数、体积收缩和微观偏析行为.模拟结果表明,在本凝固条件下,合金实际凝固结束温度在共晶温度附近而不是固相线温度.凝固过程中的体积变化也是非线性的,在凝固初始阶段收缩较大:当剩余液相到达共晶成分时收缩较小.在凝固后期由于发生共晶转变.产生副的凝固收缩模拟结果与实验测试相符合.

关键词: Mg-Al合金 , null , null , null

Mg-9Al合金铸造凝固模型

王业双 , 张咏波 , 王渠东 , 马春江 , 丁文江 , 朱燕萍

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.05.019

在热力学基础上建立了Mg-9Al合金的铸造凝固模型.考察了Mg-9Al合金在铸造凝固条件下的固相分数、体积收缩和微观偏析行为.模拟结果表明,在本凝固条件下,合金实际凝固结束温度在共晶温度附近而不是固相线温度.凝固过程中的体积变化也是非线性的,在凝固初始阶段收缩较大:当剩余液相到达共晶成分时收缩较小.在凝固后期由于发生共晶转变.产生副的凝固收缩模拟结果与实验测试相符合.

关键词: Mg-Al合金 , 数学模型 , 凝固 , 凝固收缩

Na2SiO3-KOH-(NaPO3)6溶液中Ti6Al4V微弧氧化陶瓷膜研究

王亚明 , 雷廷权 , 蒋百灵 , 周玉

稀有金属材料与工程

用非平衡交流微弧氧化法于Na2SiO3-KOH-(NaPO3)6溶液中在Ti6A14V表面形成氧化物陶瓷膜.分别用扫描电镜、电子探针及X射线衍射研究了陶瓷膜的组织形貌、元素分布和相组成.相对致密均匀的膜层主要由TiO2(钙钛矿相及金红石相)及非晶相组成.厚约20μm的膜可分为3层:过渡层、致密层与疏松层.电解液所含元素Si,P进入到膜层中,表明电解液组元急参与微弧氧化反应,这为通过选择电解液来设计膜层的相组成进而对膜层进一步改性提供途径.

关键词: 钛合金 , 微弧氧化 , 陶瓷膜层

高温铝钎料的选择及其与母材的相互作用

张启运 , 刘淑祺

金属学报

考察了28种有代表性的微量元素对Al-Si共晶钎料的熔点,流动性,抗腐蚀性以及钎缝折弯能力的影响。其中以Al-Si(13.0)-Be(0.4—0.8)-Sr(0.03—0.06)-La(0.03—0.06)钎料体系最为理想。本文还探讨了钎料对母材熔蚀的机理,分析了钎焊温度和钎料组成的影响,此外,还认为与母材熔入钎料的速度以及液态钎料沿钎缝的流布速度有关,此二速度的比值愈大,熔蚀愈。最后,在钎焊温度下对钎缝进行了不同时间的保温处理,发现钎缝的强度和抗弯能力仅有不大程度的改善。

关键词:

海南乐东抱伦金矿床控矿构造特征及主成矿期年代学研究

陈颖民 , 傅杨荣 , 周迎春 , 周慧文 , 薛开文

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.03.004

抱伦金矿床的赋矿层位为志留系下统陀组含碳千枚岩.豪岗岭"斜列式复背斜"控制矿床的空间展布.金矿体明显受北北西向相互平行的压扭性断裂形成的破碎带控制,金矿化与含矿石英脉中的不同期次形成的石英有关,其中以第二期为最主要的矿化期.矿区外围尖峰岭岩体至少由三期岩浆作用形成,与金矿床的形成有密切关系.金矿床成矿结束时期为217-221.2 Ma,属于印支晚期.抱伦金矿床属典型的受构造控制的含铋中温热液大-超大型金矿床.

关键词: 抱伦金矿床 , 构造控矿 , 含碳千枚岩 , 含金石英脉 , 印支晚期

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