张会霞
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陈劲松
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杨建明
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卢龙
材料科学与工程学报
采用多弧离子镀技术交互沉积工艺,使用合金靶与纯Ti靶在齿轮材料40Cr基体表面实现梯度Ti1-xAlxN膜层的制备,通过研究不同x值时梯度Ti1-xAlxN膜层的表面形貌、组织结构及膜层显微硬度、结合力等性能,探求较优的工艺参数配比.结果表明,在工艺参数相同的条件下,不同x值,梯度Ti1-xAlxN膜层厚度相差不大；显微硬度先随x值的增大而先增大后降低；结合力随x值的增大而降低,x值为0.67时梯度Ti1-xAlxN膜层综合性能最优.
关键词:
梯度膜层
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工艺性能
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Ti1-xAlxN
