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溅射功率对直流磁控溅射法沉积TGZO薄膜性能的影响

, 郭美霞 , 刘汉法 , 王新峰

人工晶体学报

利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜.研究了溅射功率对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明:溅射功率对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响.X射线衍射分析表明,TGZO 薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.在溅射功率为120 W时,实验获得的TGZO薄膜的方块电阻为2.71 Ω/□,此时电阻率具有最小值2.18×10-4 Ω·cm.实验制备的TGZO 薄膜在可见光区范围内平均透过率达到了90%以上.

关键词: TGZO薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射功率 , 磁控溅射

溅射压强对钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响

, 郭美霞 , 刘汉法 , 高金霞

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112601.0054

利用直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出了透过率高、电阻率较低的钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜(TGZO).研究了溅射压强对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明,溅射压强对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响.X射线衍射(XRD)表明,TGZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄膜.薄膜的电阻率具有随着溅射压强的增大先减小,后增大的规律,在溅射压强虽为11 Pa时,实验获得的TGZO薄膜晶格畸变最小,电阻率具有最小值1.48×10-4Ω·cm,透过率具有最大值94.3%.实验制备的TGZO薄膜附着性能良好,在400~760 nm波长范围内的平均透过率都高于90%.

关键词: TGZO薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射压强 , 磁控溅射

科学评价,务实求真——熊英等作者的论文编后记

材料科学与工程学报

本刊2012年第五期第801页刊登了熊英等作者的论文,这是本刊编辑部自创刊以来收到的第一篇这样的论文,该文对本刊在材料科学期刊中所处的地位及面临问题、发展方向作出如此客观、中肯的评价与指引,均使编辑部成员十分感动。今年恰是本刊创刊30周年纪念,谨以此《编后记》供奉广大读者,

关键词: 科学评价 , 论文 , 作者 , 务实 , 科学期刊 , 编辑部 , 创刊

物理冶金与材料科学发展(英文)

R.W.Cahn

金属学报

本文第一部分评述了目前有关何谓科学史学家的某些概念以及科学家撰写科学是否被认可的情况.第二部分重点放在物理冶金及其衍生的材料科学历史的撰写问题,并概括介绍此领域已发表的工作.

关键词: 物理冶金 , history of materials science. historian of science (technology) , null

电控位相型液晶涅耳波带片的特性

王维强 , 任洪文 , 凌志华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.04.004

利用电场中液晶分子的可控双折射效应可制成电场可调的位相型衍射式涅耳波带片.对涅耳波带片的原理做了理论分析, 测试了其最大衍射效率, 给出不同电压下的不同衍射图像, 并对衍射图像的周期性变化做了理论分析.

关键词: 位相型涅耳波带片 , 衍射效率 , 周期性

矩孔涅耳衍射的光强分布

王永祥

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.002

根据涅耳-基尔霍夫衍射积分得出矩孔涅耳衍射的光强分布表达式,对该表达式作了数值计算,分析了矩孔尺寸对衍射光强分布的重要影响.当光源的孔面投影位于矩孔中心且矩孔尺寸很小时,光强分布具有夫朗和费衍射的特征;随着矩孔尺寸增大,在离几何照明区边界距离相等的几何阴影区域内相邻光强峰值与谷值的比值越小,几何照明区出现的光强峰值越多.当光源的孔面投影不在矩孔中心时光强分布的对称性不复存在.最后计算分析了多矩孔涅耳衍射的光强分布.

关键词: 傅里叶光学 , 光强分布 , 矩孔涅耳衍射 , 数值积分

阵列涅耳波带片波前探测性能研究

王薇 , 谢宇 , 伍波

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.004

在高功率激光系统中,激光束小尺度畸变波前探测是实现激光束中频段波前补偿与控制的重要前提.采用阵列涅耳波带片作为激光束波前传感的子孔径分割器,研究其聚焦性能,讨论了波带片的结构如阵列数目和阵列尺寸对波前探测精度的影响.仿真结果表明,选取合适的波带片结构参数可以使小尺度畸变波前的重构误差小于十分之一个波长.为了检测阵列涅耳波带片作为波前传感器检测波前畸变的性能,实现小尺度波前畸变检测的目的,构建了激光波前畸变检测光路系统.实验结果表明了阵列涅耳波带片检测波前畸变的可行性和准确性.

关键词: 激光技术 , 波前探测性能 , 阵列涅耳波带片 , 波前传感器 , 小尺度相位畸变

基于涅尔透镜的新型立体显示系统

闵森林 , 王元庆

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.03.014

利用涅尔透镜的光学成像原理来形成立体显示的观看视域.涅尔透镜前光源位置的不同,在成像区域所形成的像的位置也是不同和分离的,因而人眼可以分别观看到不同光源的光线.对应于不同光源成像的时候,LCD屏上也是对应着显示左右眼图像对,进而人眼将感受到图像的立体信息,实现图像的立体显示.再利用透镜分别对视域的X、Y、Z向进行扩展,分别形成两个对应于人的左右眼的视域,从而人眼可以在更大的空间自由观看立体图像.采用Samsung 170EU液晶屏,焦距为700 mm的涅尔透镜和两组3×4的LED光源作为一个光源组进行实验,在光源距离涅尔透镜1925 mm处取得了视窗大小约为X向±20(.),Y向深度为20 mm,Z向深度为930~1 260 mm的视窗.

关键词: 液晶显示器 , 涅尔透镜 , 自由立体显示 , 视域

涅耳直边衍射的边界波处理

谢建平 , 吴卫民 , , 明海

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2000.01.001

本文运用边界波理论对涅耳直边衍射问题进行了研究。 分别对E偏振和H 偏振情况下相应的场分布用边界波理论进行了理论分析和计算,并将它们与严格的电磁理论作了比较。结果表明,边界波处理方法中的基尔霍夫和 瑞利-索末理论,分别与直边衍射的严格电磁理论解中的电场分布和磁 场分布符合较好。前两者在远场时一致, 而在近场衍射存在差别。同时也 表明,边界波处理方法具有物理图像 清晰,计算简洁的特点。

关键词: 涅耳直边 , 衍射 , 边界波

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