易万兵
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张文杰
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吴瑾
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邹世昌
材料研究学报
用金属有机物化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)
制备了TiN薄膜, 通过不同循环制备的、
厚度相同的平面薄膜电阻率的比较研究了TiN薄膜的电学性质. 结果表明,
多次循环会引入界面而增大电阻率, 与薄膜成分和微结构分析的结果一致.
得到了单循环的最优厚度以使样品电阻率最低. 通过相同循环、
不同厚度样品在真实器件中电学性能的比较, 发现介窗(Via)直径越小,
TiN薄膜对介窗电阻的影响越大.
关键词:
金属材料
,
null
,
null
,
null
吴瑾
,
吴文操
腐蚀学报(英文)
对混凝土结构中钢筋腐蚀监测技术的研究成果进行了综述,同时指出传统监测手段的不足之处,并提出了智能监测技术的要求;着重分析了钢筋腐蚀监测光纤传感器和无线传感器的研究进展,并展望了混凝土结构中钢筋腐蚀智能监测技术的发展方向.
关键词:
腐蚀监测
,
null
,
null
易万兵
,
张文杰
,
吴瑾
,
邹世昌
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.02.020
用金属有机物化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)制备了TiN薄膜,通过不同循环制备的、厚度相同的平面薄膜电阻率的比较研究了TiN薄膜的电学性质.结果表明,多次循环会引入界面而增大电阻率,与薄膜成分和微结构分析的结果一致.得到了单循环的最优厚度以使样品电阻率最低.通过相同循环、不同厚度样品在真实器件中电学性能的比较,发现介窗(Via)直径越小,TiN薄膜对介窗电阻的影响越大.
关键词:
金属材料
,
TiN
,
MOCVD
,
等离子体处理
,
薄膜电阻
工程热物理学报
根据《吴仲华奖励基金章程》(吴奖[2008]01号),经各高等院校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所认真评选和推荐,吴仲华奖励基金理事会评审并确定授予青年学者戴巍、罗坤、唐桂华“吴仲华优秀青年学者奖”,授予程雪涛等10位同学“吴仲华优秀学生奖”。
关键词:
基金
,
奖励
,
评选
,
获奖者
,
中国科学院
,
青年学者
,
物理研究所
,
高等院校
工程热物理学报
根据《吴仲华奖励基金章程》(吴奖[2010]01号),经各高校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所遴选和推荐,以及吴仲华奖励基金理事会评审,决定授子钟文琪、张鹏、张明明、徐纲4位青年学者“吴仲华优秀青年学者奖”,授予顾超等13位同学“吴仲华优秀学生奖”。
关键词:
基金
,
奖励
,
获奖者
,
中国科学院
,
评选
,
青年学者
,
物理研究所
,
物理学会