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目的：研究硅片经雾化施液抛光技术加工后存在的位错缺陷。方法应用化学腐蚀法、光学方法分析硅片不同部位的位错腐蚀形貌、位错密度及其分布,通过单因素实验研究雾化参数对位错形貌和位错密度的影响规律。在相同的工艺参数下,和传统抛光进行对比实验。结果雾化抛光硅片的平均位错密度为1.2×104/cm2,边沿处的位错密度小于其他区域。在相同的工艺参数下,雾化施液CMP的抛光液消耗量约为传统CMP的1/10,但硅片的位错腐蚀形貌和位错密度明显好于传统抛光,且蚀坑分布均匀分散,没有出现位错排等严重缺陷。通过增大雾化器的出雾量能有效改善硅片表层的位错缺陷。结论相对于传统抛光,雾化施液抛光技术能更加高效地去除硅片的位错缺陷。

关键词: 雾化施液 , 硅片 , 位错腐蚀坑 , 传统抛光 , 雾化参数

雾化施液CMP抛光硅片的亚表层损伤研究

壮筱凯 , 李庆忠

硅酸盐通报

雾化施液CMP抛光后的硅片依然存在亚表层损伤,会严重影响硅片的使用性能.首先利用化学腐蚀法和光学显微镜分别观测了亚表层的微裂纹以及不同部位的位错蚀坑形貌和位错密度.然后利用显微共聚焦拉曼光谱仪分析了抛光前后硅片表面残余应力的变化行为以及应力的分布情况.最后利用差动蚀刻速率法测取了亚表层的损伤深度并分析了抛光参数对损伤深度的影响规律.研究表明:随着表层到亚表层深度的增加,微裂纹损伤愈加严重,硅片边沿处的位错密度和形貌要明显好于中心区,位错平均密度为1.2×104/cm2;雾化抛光后的硅片表面被引入残余拉应力,应力沿硅片对角线方向呈对称分布;亚表层的损伤深度大约为0.99 μm,随着雾化器电压的增大呈递减趋势,而抛光垫转速和抛光压力都存在一个最佳的参数使损伤深度达到最小.

关键词: 雾化施液 , 位错 , 微裂纹 , 残余应力 , 亚表层损伤深度

流动相离子色谱法同时测定植物中残留的矮壮素和缩节胺

周旭 , 许锦钢 , 陈智栋 , 朱岩

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2011.00244

以离子对试剂作流动相,采用离子对抑制电导检测法同时测定植物中残留的矮壮素和缩节胺.简单处理后的样品经过Dionex IonPac NG1保护柱和NS1分离柱,在流速为1.00 mL/min、淋洗液为1.00 mmol/L九氟戊酸(作为离子对试剂)-7%(体积分数,下同)乙腈时等度洗脱分离,能够快速稳定出峰,且被测物与其他干扰离子充分分离.矮壮素和缩节胺的检出限分别为0.154 6和0.171 4 mg/L,在1～100 mg/L范围内具有良好的线性关系和重现性.对实际样品进行测定,矮壮素和缩节胺的回收率范围分别为96.06%～104.6%和98.53%～103.7%,相对标准偏差小于3%.该方法分析结果令人满意,可以满足矮壮素和缩节胺常规的定性、定量分析需求.

关键词: 流动相离子色谱 , 抑制电导检测 , 矮壮素 , 缩节胺 , 植物

西班牙比斯凯亚公司用于处理高附加值超薄热轧带钢的新酸洗线

钢铁

薄规格热轧带钢的生产需要专门的酸洗线以确保高附加值的热轧产品能够与各种冷轧材料相竞争.介绍奥钢联为西班牙比斯凯亚公司提供的超薄热带酸洗线的先进特点.

关键词: 超薄热带 , 高附加值 , 酸洗线

壮根扎江南

涂料工业

关键词:

高效液相色谱法测定"龙牡壮骨冲剂"中β-环糊精包合的维生素D2

张俐娜 , 黄进 , 杨光 , 张平义 , 彭湘红 , 王业文

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2000.01.015

用反相高效液相色谱法(HPLC)和紫外分光光度法 (UV)测定了β-环糊精(β-CD)与维生素D2(VD2)包合物中VD2的质量分数,两种方法测得的结果十分吻合.研究了HPLC测定的精密度和回收率,其相对标准偏差分别为0.63%和1.54%,表明该法准确可靠.含有β-CD-VD2包合物的"龙牡壮骨冲剂"经KOH、维生素C和乙醇-水(体积比为1∶2 )于70 ℃下皂化处理,再由HPLC检测用乙醚萃取的VD2产物,得到准确的结果.

关键词: 高效液相色谱法 , 维生素D2 , β-环糊精 , 包合物 , 紫外光谱

凯斯西储大学钛矿提取技术研发获能源部资金支持

何蕾

钛工业进展

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箱-方、椭圆-圆孔型系统计算及轧机辊缝调整

杭乃勤 , 王申林 , 沈巧珍 , 黄宁 , 杨大可 , 董素梅 , 段家田

钢铁

针对常用的箱-方、椭圆-圆孔型系统,讨论了根据斯米尔诺夫和筱仓恒树宽展公式建立非线性方程组的方法,并导出孔型参数计算模型;还提出为修正孔型设计误差所需的辊缝调整量的计算方法,以及不同情况下的调整范围.

关键词: 孔型设计 , 箱—方孔型系统 , 椭圆—圆孔型系统

材料科学进展1993年第7卷分类索引

材料研究学报

金属材抖zr对DZ38LC合金凝固行为和持久性能的影响~................……、............……~.·..·..········……~…李英敖唐亚俊张静华张济山朱耀霄胡壮麒(l)金属材料低温疲劳性能的预测方法·······‘···‘····,···1·····,,·············……,’···················..-……吕宝桐郑修麟(8)N嘛BZ,5111三维金属玻璃的热稳定性···············?...

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