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多孔硅外延层转移制备SOI材料的研究

刘卫丽 , , 张苗 , 沈勤我 , 王连卫 , 林成鲁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.006

用多孔硅外延层转移的方法成功地制备出了 SOI材料 , 卢瑟福背散射 /沟道谱 (RBS/C)和扩展电阻 (SPR)的结果表明获得的 SOI材料上层硅具有很好的单晶质量 , 电阻率分布均匀 , 上层硅与氧化硅埋层界面陡直 . 对制备多孔硅的衬底材料也作了研究 , 结果表明 P型重掺杂的硅衬底在暗场下阳极氧化后仍保持很好的单晶性能 , 用超高真空电子束蒸发方法能外延出质量很好的单晶硅 , 并且 , 在一定浓度的 HF/H2O2溶液具有较高的腐蚀选择率 , 保证了上层硅厚度的均匀性 .

关键词: 绝缘体上的硅 , 多孔硅 , 外延

超高真空电子束蒸发在多孔硅上外延单晶硅

刘卫丽 , , 张苗 , 沈勤我 , 王连卫 , 林成鲁 , 朱剑豪

功能材料

采用超高真空电子束蒸发的方法在用阳极氧化制备的多孔硅衬底上外延单晶硅,研究了不同多孔硅衬底对外延质量的影响.采用高能电子衍射表征外延层的晶体结构,截面透射电镜表征材料的微结构,原子力显微镜表征外延层表面的粗糙度,卢瑟福背散射/沟道表征外延层晶体质量,扩展电阻表征材料的电学性能.一系列的测试结果表明对于在5mA/cm2电流密度下阳极氧化10min形成的多孔硅衬底,可用超高真空电子束蒸发的方法外延出质量良好的单晶硅.

关键词: 多孔硅 , 超高真空电子束蒸发 , 外延 , 单晶硅

十二位SOI/CMOS数模转换器的研制

范秀强 , 张正番 , 刘永光 , , 张苗 , 王连卫 , 林成鲁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.012

介绍一种SOI/CMOS数模转换器的设计和工艺.电路采用了SOI(SiliconOnInsulator)材料代替常规的体硅,使电路具有高速、抗辐照的特点;同时,电路采用独特分段结构和3-7温度编码电路,降低了对R-2R电阻网络的精度要求,提高了转换精度.

关键词: 数模转换器 , SOI/CMOS , 高速度 , 模拟开关

新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

符晓荣 , 宋志棠 , , 林成鲁 , 武光明

无机材料学报

以硝酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜,结果表明,胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份;薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关.同时,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.

关键词: 薄膜 , thin films

新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

符晓荣 , 武光明 , 宋志棠 , , 林成鲁

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.021

以硝酸镁为起始原料, 胶棉液为添加剂, 在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜, 结果表明, 胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份; 薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关. 同时, 用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.

关键词: 薄膜 , 溶胶-凝胶法

热学物理量

过增元

工程热物理学报

通过与力学、电学的比拟,在热学引入了热量的势、势能、速度、动能等的物理量,从而可建立热量运动的守恒方程组.热量传递是不可逆过程,耗散的是热量的"能量".以耗散最小(热阻最小)为目标函数,就能对传热过程进行优化.傅立叶导热定律是热量运动方程在不计动量变化条件下的简化.在极端(低温、超高速、纳米尺度)条件下不再适用,引入物理量后,能阐明热波、导热系数尺度效应等"超常"物理现象.

关键词: 热量势 , 热量势能 , 热量运动速度 , 热量动能 , 热量能量的耗散

直拉硅单晶施主

林兰英 , 王占国 , 钱家骏 , 葛惟锟 , 万寿科 , 林汝淦

材料研究学报

直拉硅单晶中新施主(ND)的形成不仅依赖于其氧含量,而且为碳的存在所促进;此外,原生晶体的微缺陷也起非常重要的作用。我们求出的施主能级分别为E_(ND)(Ⅰ)=50±5meV,E_(ND)(Ⅱ)=100±10meV(对于P 型单晶)以及E_(ND)(Ⅲ)=25meV(对于N 型单晶)。

关键词:

一种的磷酸根取代联吡啶的合成及光谱性质

吴嗣林 , 邓瑞红 , 曹迁永 , 刘静华

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2008.04.015

以对溴苯乙酮为原料,分别经Mannich成盐反应、Krohnke合环反应、Hirao磷酸酯芳基c-P偶联反应和McKenna磷酸酯水解等4步反应,得到一种的磷酸根取代联吡啶化合物6-(4-磷酸基苯基)-2,2'-二联吡啶.采用IR、MS及1H NMR测试技术鉴定了中间产物和目标产物的分子结构.通过电位滴定法,得到目标化合物在水溶液的pKa1和pKa2值分别为2.0和6.2,并与紫外可见吸收及荧光发射光谱研究结果相符.同时紫外可见吸收及荧光发射光谱研究表明,化合物在溶液的uV-Vis光谱和荧光发射方式对pH值敏感.在酸性介质,化合物吸收峰分别位于322、270和24l nm,而随pH值升高,吸收峰分别蓝移至292、262和234nm,并在3lO、280和262 nm处出现3个等吸收点.酸性介质中产物在428 nm处出现发射峰,并随pH值升高发射峰蓝移至353 nm,在380 nm处出现1个等发射点,同时讨论了化合物对pH值敏感反应的机理.

关键词: (磷酸基苯基)二联吡啶 , 合成 , 电位滴定 , 吸收光谱 , 发射光谱

炼钢厂连浇投料成本分摊算法

张俊良 , 王志强

连铸 doi:10.13228/j.boyuan.issn1005-4006.20130085

自太钢开展信息化建设以来,公司要求对财务成本的控制日益精细化.钢厂连浇投料成本分摊作为生产管理的重要环节,计算结果的准确程度直接影响下游厂的成本结算.钢厂使用的计算逻辑是针对单炉订单来分摊,而炉连浇投料成本的分摊是个空白.如果连浇原料成本不正确,会导致不锈热轧厂使用钢厂卷板后物料成本产生不应该有的差异,不符合企业成本精细化控制的要求.因此,针对连浇这种普遍发生的问题进行了彻底的系统改造,首次建立了按浇次分摊订单原料成本的模式,并且给出了精确的分摊成本计算公式以使订单原料成本准确化.

关键词: 钢厂 , 炉连浇 , 浇次 , 投料成本 , 成本分摊 , 生产订单

一种的手性齿配体的合成

姜艳 , 张春仙 , 孙小强 , 席海涛 , 孟启 , 汪信

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2008.09.029

以反-1,2-二苯乙烯、叔丁基二甲基氯硅烷和溴代二甘醇单甲醚为原料,经保护、醚化、去保护、取代等反应合成了一种的手性齿配体(1R,2R)-1,2-二苯基-2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基乙基-2-吡啶甲酸酯,并通过NMR、LCMS和元素分析测试技术对目标化合物的结构进行了表征.

关键词: 反-二苯乙烯 , 叔丁基二甲基氯硅烷 , (1R,2R)-二苯基乙二醇 , 手性齿配体

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