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目的了解Au/Ni/Cu多层金属薄膜在热带海洋气候下的失效机制,为研究电子元器件表面腐蚀失效的早期预警提供参考。方法采用磁控溅射法在p型单晶Si (100)基片上沉积Au/Ni/Cu薄膜,在热带海洋气候环境下进行时效实验,采用原子力显微镜及俄歇电子能谱对薄膜失效表面与界面结构微观变化进行研究。结果时...

关键词: 金属薄膜 , 热带海洋气候 , 腐蚀失效 , 表面缺陷 , 界面结构

金刚石表面Cr金属化的界面扩散反应研究

朱永法 , 王莉 , 姚文清 , 曹立礼

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2000.01.006

利用直流磁控溅射法在金刚石颗粒表面沉积了厚度为150nm的金属Cr薄膜.SEM研究表明在金刚石表面形成的Cr膜基本均匀,但有小的金属聚集体存在.俄歇深度剖析研究发现,在镀膜过程中Cr膜和金刚石基底间发生了显著的界面扩散作用.相应的俄歇线形分析表明,沉积过程中在界面上发生化学反应形成了部分Cr2C3物...

关键词: 磁控溅射 , 金刚石 , Cr , 界面扩散反应 , AES

Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究

朱永法 , 殷木省 , 王莉 , 姚文清 , 嵇世山 , 曹立礼

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2001.07.010

利用直流磁控反应溅射法在Al基底上制备了ZrN2及Ti多层薄膜。利用扫描俄歇微探针的深度剖析和线形分析技术研究了真空热处理对Ti/ZrN2/Al样品膜层之间的界面化学状态和相互作用的影响。研究结果表明，真空热处理使Ti/ZrN2/Al薄膜界面上发生了明显的界面扩散和化学反应，生成了TiNx物种，并且...

关键词: 界面扩散 , ZrN2 , 俄歇电子能谱 , 线形分析

溶胶-凝胶法制备薄膜型TiO2光催化剂

朱永法 , 张利 , 姚文清 , 曹立礼

催化学报

用TiCl4作原料,通过溶胶-凝胶法在单晶硅基片上制备了TiO2纳米薄膜,并用XRD,AES,XPS以及紫外反射光谱等手段,对TiO2薄膜的结构进行了研究.结果发现,TiO2薄膜以锐钛矿型晶相存在.TiO2薄膜层与硅衬底间无明显的界面扩散反应.掺杂的Pd在还原前的薄膜中以氧化态存在,还原后则以高分散...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 二氧化钛 , 薄膜 , 光催化剂 , 贵金属掺杂

二氧化钛表面亲疏水性的调控

莫丽玢 , 姚文清 , 曹江利 , 向青云 , 李云双

稀有金属 doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2016.02.007

TiO2表面亲疏水性对其催化、分离等应用至关重要.研究了600℃氢气氛退火处理对TiO2单晶表面亲疏水性的影响,并从表面结构和表面能两个方面探讨了其作用机制.润湿角随着氢分压的增加而增大.Raman光谱分析发现,氢化处理对TiO2体内晶体结构和成键结构的影响并不明显.而原子力显微镜(AFM)测试结果...

关键词: 二氧化钛 , 亲疏水性 , 氢 , 表面改性 , 润湿角