景俊海
,
孙青
,
付俊兴
,
孙建成
材料研究学报
用光-CVD 技术,在100—200℃的温度下,在Si 片上淀积出了Si_3N_4薄膜。本文研究了薄膜淀积速率与淀积参数的关系,讨论了淀积的Si_3N_4薄膜的物理性质、化学性质和力学性质。
关键词:
低温
,
Hg sensitizing
,
photo-CVD
,
Si_3N_4
,
films
钢铁
近日,太钢冶金除尘灰资源化工程A炉成功出铁,标志着太钢投资兴建的国内首套可同时处理不锈钢除尘灰和碳钢除尘灰的全功能冶金除尘灰资源化装置建成投产,也标志着太钢循环经济取得重大突破,不仅实现了废弃物全部回收再利用,而且实现了废水、废气和废弃物全部循环再利用。随着一批循环经济项目的投产,使太钢转型之路越走越宽阔。
关键词:
资源化工程
,
除尘灰
,
全功能
,
太钢
,
投产
,
冶金
,
装置
,
首套