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不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响研究

熊伟 , 储向峰 , 董永平 , 毕磊 , 叶明富 , 孙文

人工晶体学报

本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原子力显微镜观察磨料的粒径大小.研究了不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光(CMP)的影响,利用原子力显微镜检测抛光前后蓝宝石晶片表面粗糙度.实验结果表明,在相同的条件下,采用SiC、Al2O3作为磨料时,材料去除速率与表面粗糙度均不理想;而采用含1%粒径为110 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率最高为41.6 nm/min,表面粗糙度Ra=2.3 nm;采用含1%粒径为80 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率为36.5 nm/min,表面粗糙度最低Ra=1.2 nm.

关键词: 蓝宝石 , 化学机械抛光 , 去除速率 , 表面粗糙度 , 磨料

水杨酸体系抛光液中钌的化学机械抛光研究

王婕 , 储向峰 , 董永平 , 白林山 , 叶明富 , 孙文

稀有金属材料与工程

研究了抛光液中H2O2和水杨酸浓度对钌的抛光速率的影响.采用电化学方法和X射线光电子能谱分析了H2O2和水杨酸对金属钌腐蚀效果的影响;采用原子力显微镜观察钌表面的微观形貌.结果表明:水杨酸浓度的增加有利于金属钌表面钝化膜的形成,抛光速率值随之增加;随着H2O2浓度的不断增加,抛光速率不断增加,当H2O2质量分数大于3%时,抛光速率值随浓度的增加而降低.抛光后的金属钉表面平均粗糙度Ra为7.2 nm.

关键词: , 化学机械抛光 , 水杨酸

管线钢皮原因探讨

巨建涛 , 折媛 , 张朝晖 , 鲁思渊 , 吕振林

钢铁

通过金相观察、扫描电镜和EDS分析,对国内某钢厂生产的L245MB(B)管线钢出现的皮缺陷进行了研究,发现连铸坯出现表面微裂纹且裂纹附近存在O、Si、Al、Ca和Cu元素的富集,确定铸坯中存在的氧化物夹杂及铜含量的超标引起的铸坯表面微裂纹是导致热轧卷板表面皮的主要原因,钢的清洁度和连铸工艺是皮的重要原因.分析了非金属氧化物、铜等低熔点金属及连铸工艺对铸坯表面微裂纹的影响机理,并由此提出了相应的防止措施.

关键词: , 表面裂纹 , 氧化物夹杂 , 管线钢

管线钢皮原因探讨

巨建涛

钢铁

通过金相观察、扫描电镜和EDS分析,对国内某钢厂生产的L245MB(B)管线钢出现的皮缺陷进行研究。发现连铸坯出现表面微裂纹且裂纹附近存在O,Si ,Al,Ca和Cu元素的富集,确定铸坯中存在的氧化物夹杂以及铜含量的超标所引铸坯的表面微裂纹是导致热轧卷板表面皮的主要原因。分析了非金属氧化物以及铜等低熔点金属对铸坯表面微裂纹的影响机理。并由此提出了相应的防止措施。

关键词: 皮;表面裂纹;氧化物夹杂;管线钢

带钢皮成因分析及改进

李萌 , 柴斯羽 , 肖鹏程 , 朱立光 , 刘增勋

钢铁钒钛 doi:10.7513/j.issn.1004-7638.2017.02.028

针对某厂Q195冷轧镀锌带钢皮缺陷,应用金相显微镜、大样电解、扫描电镜及能谱分析对冶炼过程中各工序钢水内的大型夹杂物及显微夹杂物进行分析.结果表明,冷轧缺陷主要是由于钢包卷渣和钢包耐火材料剥落所致.通过优化生产工艺及调整钢包浇注料材质等措施,基本消除了冷轧带钢表面皮和镀锌挂渣缺陷,提高了镀锌板表面光洁度.

关键词: 冷轧带钢 , , 夹杂物 , 卷渣 , 镀锌挂渣

螺栓外围涂层"皮"脱落分析

曾敏生

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2005.05.003

对螺栓外围涂层容易"皮"脱落的现象进行了分析.讨论了各变形因素、磷化膜层、涂层硬度与厚度及环境温度件对涂层脱落的影响,得出磷化膜层质量、厚度和工件变形是引起涂层脱落的主要原因.对工艺改进后,涂层脱落现象完全消除.总结了一般涂层体系内存在的附着力、内聚力和内应力三者的大小关系及其对涂层体系的不良影响.

关键词: 螺栓外围 , 涂层 , 脱落 , 变形

60 kg/m级钢轨表面皮缺陷分析

任安超 , 吉玉 , 张友登

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2007.06.013

60kg/m钢轨在运行一段时间后表面出现皮缺陷.采用金相检验和低倍检验等方法对表面皮钢轨的显微组织和低倍特征等方面进行了分析和研究.结果表明,皮缺陷的形成是由铸坯角部裂纹和中间裂纹缺陷所引起的.提出了改进措施.

关键词: 60kg/m钢轨 , 表面 , 金相组织

60 kg/m级钢轨表面皮缺陷分析

任安超 , 吉玉 , 张友登

物理测试

60kg/m钢轨在运行一段时间后表面出现皮缺陷。采用金相检验和低倍检验等方法对表面皮钢轨的显微组织和低倍特征等方面进行了分析和研究。结果表明,皮缺陷的形成是由铸坯角部裂纹和中间裂纹缺陷所引起的。提出了改进措施。

关键词: 60kg/m钢轨 , scale , microstructure

提高覆铜板耐漏电痕指数的研究

朱学文

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.05.003

通过降低印制电路板的基板表层的溴含量并加入氢氧化铝,显著提高了基板的相比漏电痕指数(CTI),并同时提高了基板的尺寸稳定性、耐热性、玻璃化温度.

关键词: 印制电路 , 基板 , 耐漏电痕指数 , 氢氧化铝 , 无卤环氧树脂

阻燃镁合金燃温度的研究

黄晓锋 , 周宏 , 何镇明

稀有金属材料与工程

以Ce为主研究了元素对起燃温度的影响并与国外研究较多的钙元素的作用进行了对比,认为Ce与Ca同样对镁合金的阻燃具有显著作用,添加1%的Ce,燃温度提高约180℃,而添加1%的Ca,燃温度提高约280℃.可直接暴露在大气中熔炼镁合金.研究表明:添加稀土Ce的镁合金的表面膜基体金属由原来的MgO疏松结构转变为由MgO,Ce2O3,Al2O3及Mg17Al2组成的复合致密结构,具有很好的阻燃效果.

关键词: 镁合金 , 稀土Ce , 阻燃 , 燃温度

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