李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大, 其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大。 从热丝阵列的最低温度出发, 优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数。
关键词:
热丝化学气相沉积
,
coupled model
,
spacial field
李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
耦合模型
,
空间场
,
模拟计算
王兵
,
梅军
,
李力
,
季锡林
,
冉均国
,
苟立
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.01.007
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100 mm以上,生长速率达到约10 μm/h的水平,并制备出100 mm×1.5 mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.
关键词:
热灯丝
,
CVD金刚石
,
大尺寸
,
高速生长
胡东平
,
季锡林
,
姜蜀宁
,
薛屺
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.02.008
TiC涂层由于具备良好的性能而广泛地应用于机械加工行业.以高温CVD方法制备TiC涂层技术为基础,研究了在反应腔中设置温度达到1600℃的高温处理装置,使原料气经过高温处理装置后在基体上沉积出TiC涂层.经金相显微镜测量厚度约为10μm,经XRD检测成分为:界面出现脱碳相Co 6W 6C,膜层除含有少量氧化物杂质外,为纯净的TiC涂层,颗粒尺寸平均为84.8nm.探索了制备纳米TiC涂层工艺的机制,其中高温处理、大温度梯度、惰性气体及冷却腔体避免引入杂质是形成纳米TiC涂层的关键因素.制备纳米级TiC涂层,可使涂层硬度、断裂韧性、表面光洁度、耐高温性能等性能指标得到提高,提高了TiC涂层产品的综合性能.
关键词:
TiC
,
纳米
,
涂层
,
化学气相沉积
王兵
,
冉均国
,
梅军
,
李力
,
季锡林
无机材料学报
采用电子辅助化学气相沉积法（ＥＡＣＶＤ）制备了直径１２０ｍｍ、厚度１ｍｍ以上的大尺寸金刚石厚膜，这是国内已见报道的最大成膜尺寸．ＳＥＭ和Ｒａｍａｎ光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料；其硬度接近天然金刚石，远高于聚晶金刚石．将这种材料加工成拉丝模具，现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当，优于国产聚晶．用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝．
关键词:
CVD金刚石厚膜
,
electron assistant
,
wire die
王兵
,
冉均国
,
梅军
,
李力
,
季锡林
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.034
采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸. SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.
关键词:
CVD金刚石厚膜
,
电子辅助
,
拉丝模具
杜继旭
,
潘成林
,
邱金柱
,
杨云鹏
黄金
doi:10.11792/hj20160807
内蒙古锡林郭勒盟东部金属成矿带是中国重要的黑色金属、有色金属、贵金属成矿带,成矿带岩浆活动频繁,构造活动强烈,具备有利的成矿条件.通过对2个成矿带(东乌旗成矿带、西乌旗成矿带)的地质背景及成矿条件的研究,将东乌旗成矿带分为4个成矿亚带,西鸟旗成矿带分为2个成矿亚带,为下一步的地质找矿工作提供依据.
关键词:
成矿带
,
成矿亚带
,
地质特征
,
划分
,
锡林郭勒盟东部
,
内蒙古
颜春
,
张守海
,
杨大令
,
杨法杰
,
蹇锡高
功能材料
以氯甲基化聚醚砜酮(CMPPESK)为膜材料,通过相转换法制备了CMPPESK膜,然后将其浸泡在三甲胺溶液中进行季铵化反应,即可得到荷正电的季铵化聚醚砜酮(QAPPESK)纳滤膜.考察了三甲胺浓度,季铵化时间,季铵化温度等季铵化条件对QAPPESK纳滤膜性能的影响,发现三甲胺浓度为5.0mol/L,季铵的化时间5h左右,季铵化温度为30℃时,得到的荷正电QAPPESK纳滤膜对MgCl2、Vitamin B12(VB12)具有较高的纯水通量和截留率.
关键词:
季铵化聚醚砜酮
,
纳滤
,
性能
吴乐
,
陶乃旺
,
江水旺
涂料工业
根据欧盟颁布的涂料中禁止添加季铵盐的草案,控制季铵盐类化合物的使用势在必行.文中介绍了季铵盐的物理化学性质、主要应用以及危害,并综述了化学分析法、气相色谱法、液相色谱法等季铵盐检测分析方法.针对涂料有机无机成分复杂等特点,涂料中季铵盐的提取、净化等前处理是该检测方法的重点研究内容.提出使用超声萃取、液相-液相萃取、固相萃取、固相微萃取等分离提纯季铵盐的方法,并对比这几种检测方法的优劣.
关键词:
涂料
,
季铵盐
,
检测技术
