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新型碱性阻挡层抛光液在300mm铜布线平坦化中的应用

魏文浩 , 刘玉岭 , 王辰伟 , 牛新环 , 郑伟艳 ,

功能材料

研发了一种新型碱性阻挡层抛光液,其不含通用的腐蚀抑制剂和不稳定的氧化剂(通常为H2O2)。Cu/Ta/TEOS去除速率和选择性实验结果表明,此阻挡层抛光液对Cu具有较低的去除速率,能够保护凹陷处的Cu不被去除,而对阻挡层(Ta)和保护层(TEOS)具有较高的去除速率,利于碟形坑和蚀坑的修正。在300mm铜布线CMP中应用表明,此碱性阻挡层抛光液为高选择性抛光液,能够实现Ta/TEOS/Cu的选择性抛光,对碟形坑(dishing)和蚀坑(erosion)具有较强的修正作用,有效地消除了表面的不平整性,与去除速率及选择性实验结果一致,能够用于多层铜布线阻挡层的抛光。

关键词: 碱性阻挡层抛光液 , 去除速率 , 选择性 , 碟形坑 , 蚀坑

涅利力斯为中国建造的热风炉

钢铁

涅利力斯内燃室式热风炉是一种成熟可靠的无故障运行设备,可为防止外燃室式热风炉存在的典型问题提供最佳解决方案.所采用的优化设计,比如陶瓷燃烧器、蘑菇形炉顶和分隔墙等,都为设备平稳运行奠定了坚实的基础;事实证明,这种热风炉的炉龄可长达30年以上.

关键词: 内燃 , 热风炉 , 高风温 , 耐火材料 , 长寿 , 陶瓷燃烧器

涅利力斯氧气顶吹转炉工艺过程控制系统

G.J.Apeldoorn , R.Klinge , J.S.deVries , W.E.Heijne

钢铁

概括描述了涅利力斯公司氧气顶吹转炉副枪系统、动静态过程模型、废气分析系统、智能喷枪系统和底部搅拌系统等技术,以及二级系统/动静态过程模型的配置。提供了一些IJmuiden厂和一家中国用户厂过程控制系统近几年的有关运行数据。

关键词: 氧气顶吹转炉;工艺过程;自动化系统

涅利力斯氧气顶吹转炉工艺过程控制系统

钢铁

概括描述了涅利力斯公司氧气顶吹转炉副枪系统、动静态过程模型、废气分析系统、智能喷枪系统和底部搅拌系统等技术,以及二级系统/动静态过程模型的配置.提供了一些IJmuiden厂和一家中国用户厂过程控制系统近几年的有关运行数据.

关键词: 氧气顶吹转炉 , 工艺过程 , 自动化系统

涅利力斯副枪系统的应用

钢铁

副枪系统包括由涅利力斯开发的静态和动态控制模型,可利用最先进的手段进行生产过程控制,并给用户带来诸多好处.显著缩短的出钢周期时间可提高生产能力,既可使现有转炉增加产量,又可为新建转炉炼钢厂节省投资费用.此外还可以通过降低铁水和添加剂消耗,减少转炉耐火材料侵蚀来降低生产运行成本.

关键词: 副枪 , 测温 , 取样 , 转炉 , 自动化炼钢 , 炼钢模型

山东大格庄金矿NWW向断裂控矿作用浅析

潘红伟 , 张瑞忠 , 樊明玉

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2008.01.005

运用地质观测和统计分析研究,讨论了山东大格庄金矿床NWW向大格庄断裂的控矿作用.研究表明,大格庄断裂对矿化类型、强度和矿体产状都有明显的控制作用.NWW向大格庄断裂以北的Ⅱ号矿体群以金矿化为主,断裂南部Ⅰ号矿体群以银矿化叠加早期金矿化为特征.此外,研究还发现,大格庄断裂本身也存在金矿化,这对深化对该区矿床成因的认识和指导找矿预测都有一定的意义.

关键词: 格庄断裂 , NWW向断裂 , 控矿构造 , 格庄金矿

胶东大格庄金矿床控矿显微构造特征

高帮飞 , 杨立强 , 王庆飞

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2007.01.003

格庄金矿床为招平断裂带中部的大型蚀变岩型金矿床,矿体的产出严格受招平断裂带控制.文中利用显微构造特征、显微运动学标志观测以及显微裂隙统计计算,来探讨大格庄金矿床控矿构造的变形、演化及与金成矿的关系.研究表明:大格庄金矿床控矿构造以脆-韧性变形为特征;显微运动学标志揭示控矿断裂发生过左行剪切向右行剪切的转变;显微裂隙统计计算表明,成矿前后主应力方位发生NWW→NE→NW的转变,伴随着构造差应力大→小→大的变化.金成矿作用发生在剪压变形向剪张变形转换阶段.

关键词: 显微构造 , 脆-韧性变形 , 应力场转换 , 格庄金矿床 , 胶东

格庄金矿尾矿库扩容工程实践

郭俊利 , 肖刚 , 吴锋

黄金 doi:10.11792/hj20140818

基于大格庄金矿尾矿库加高扩容的工程实践,介绍了尾矿库基本系统的主要构成,分析了尾矿库排洪系统的可靠性,并通过浸润线指标的控制对尾矿库稳定性进行了评价。

关键词: 尾矿库扩容 , 排洪系统 , 浸润线 , 稳定性分析

含左手材料的托多层结构

朱世忠

硅酸盐通报

采用转移矩阵的方法研究了由左手材料和右手材料交替组成的托结构的透射谱,发现相比于全部由右手材料组成的托多层结构的透射谱,其透射峰的个数减少,但是随着托结构代数的增加,这种现象逐渐消失.在托多层结构中,场强的分布呈现出与结构相似的现象.本文同时研究分析了托结构中的零有效折射率带隙.

关键词: 左手材料 , 托结构 , 有效折射率带隙

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