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不同衬底温度下ZnO外延薄膜的结构及光学特性分析

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.043

采用螺旋波等离子体辅助射频溅射沉积技术在Al2O3(0001)衬底上沉积ZnO外延薄膜,通过对其结构及光学性质的分析,探讨了衬底温度对薄膜生长特性的影响.实验结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在较低的衬底温度下实现较高质量的ZnO薄膜外延生长,然而,较高的衬底温度所引起的表面反应不利于薄膜中的氧空位及锌填隙等缺陷的减少,这将限制薄膜的外延质量及光学特性的进一步提高.

关键词: ZnO薄膜 , 衬底温度 , 螺旋波等离子体 , 外延

全国生物材料研讨会

徐思盛

材料研究学报

<正> 由国家高技术新材料专家委员会、中国金属学会材料科学学会、中国生物医学工程学会生物材料分科学会及球海市香洲区政府联合举办的“全国生物材料研讨会”于1991年1月8日至12日在珠海市召开。参加会议的代表有来自全国各地从事材料科学、医学、生

关键词:

辐照腐蚀专题讨论会

中国腐蚀与防护学报

<正> 全国“辐照腐蚀学术讨论会”于1988年10月18至20日在泰安市召开,出席单位18个32人、会上交流了学术报告18篇。内容丰富,讨论热烈,大会还介绍了我国核电站发展的情况。会议期间,能源工程专业委员会拟定了核电学科组今后的一些打算以及1989年的活动计划。

关键词:

1964年北京科学讨论会

金属学报

<正> 有亚洲、非洲、拉丁美洲、大洋洲44个国家和地区的科学家367人参加的1964年北京科学讨论会,从1964年8月21日起,到8月31日止,共进行了11天。44个国家和地区是:阿富汗、东非科学院(肯尼亚、坦噶尼喀和桑给巴尔联合共和国、乌干达)、阿尔及利亚、安哥拉、澳大利哑、玻利维亚、缅甸、布隆迪、柬埔秦、锡兰、智利、中国、哥伦比亚、刚果(布)、古巴、达荷美、加纳、几内亚、印度尼西亚、伊拉克、日本、约旦、朝鲜民主主义人民共和国、黎巴嫩、马尔加什、马里、墨西哥、摩洛哥、尼泊尔、新

关键词:

邯钢生产调度会的进步与发展

任凤清

钢铁

通过叙述邯钢集团公司生产调度会的几个发展阶段，显示出调度会在应用自动化方面的技术进步，提出了建设多媒体会议系统的方法、技术与实现目标。

关键词: 调度 , 多媒体 , 会议 , 系统

石墨烯性质会随基材的不同而改变

材料保护

将石墨烯片放在不同基材上时，其基本性质，如导电性能、与其他物质问的化学作用等，会随着基材性质的不同而发生显著变化。

关键词: 基材 , 性质 , 石墨 , 导电性能 , 化学作用

ICASI’2012、CCATM’2012国际冶金及材料分析测试学术报告会及展览会征文通知

物理测试

为促进全球范围内冶金及材料分析测试技术、优化冶金制造流程与产品的过程检测,国际钢铁工业分析委员会、中国金属学会（CSM）及中国机械工程学会（CMES）将于2012年10月31日-11月3日在＂国家会议中心（北京）＂联合举办ICASI’2012、CCATM’2012国际冶金及材料分析测试学术报告会及展览会。

关键词: 分析测试技术 , 学术报告会 , 材料分析 , 展览会 , 冶金 , 征文通知 , 国际 , 中国机械工程学会

ICASI’2012、CCATM’2012国际冶金及材料分析测试学术报告会及展览会征文通知

物理测试

为促进全球范围内冶金及材料分析测试技术、优化冶金制造流程与产品的过程检测，国际钢铁工业分析委员会、中国金属学会（CSM）及中国机械工程学会（CMES）将于2012年10月31日-11月3日在“国家会议中心（北京）”联合举办IcASI’2012、CCATM’2012国际冶金及材料分析测试学术报告会及展览会。热忱欢迎冶金、材料、矿山、化工、机械、地质、环保、外贸、国防、商检等单位、部门或院校从事冶金分析、无损检测、物理及力学测试等相关工作的技术人员及管理者踊跃投稿，积极参加。

关键词: 分析测试技术 , 冶金分析 , 学术报告会 , 材料分析 , 展览会 , 征文通知 , 国际 , 中国机械工程学会