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腐蚀液配方对刻蚀高阻硅多孔阵列结构形貌影响的研究

蒋稳 , 邹宇 , 伍建春 , , 朱敬军 , 安竹 , 杨斌 , 黄宁康

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.15.020

采用电化学刻蚀方法,在n型高阻单晶硅片上进行有序多孔阵列的制备.就腐蚀液配方的改变对制备的多孔阵列结构的形貌进行观察研究.研究表明,在其它相同的实验条件下,改变组元乙醇的比例,制备的多孔阵列结构形貌会有显著的差别.随着腐蚀液中组元乙醇含量的减小,制备的多孔阵列结构中的孔的表面及断面形貌逐渐显得光滑、平整.当改变腐蚀液配方中的HF浓度时,制备的多孔阵列结构中的孔的大小及深度也随之改变,对此的机制进行了探讨.

关键词: 中子探测器 , 电化学刻蚀 , 多孔硅阵列 , 形貌

HCl浓度对多孔硅微结构及Si-H键合的影响

安红章 , 吴开均 , 肖婷 , , 任丁

材料研究学报 doi:10.11901/1005.3093.2015.461

采用电化学湿法刻蚀制备了P型多孔硅,通过改变HCl溶液浓度来调整刻蚀液中的氢离子浓度.制备出的多孔硅孔径相同,孔深随着氢离子浓度的提高呈线性增大直至恒定.基于电流突发模型阐述了结构参数的变化:孔径的形成开始于刻蚀的初始阶段,空穴主导了初始阶段的腐蚀,空穴的迁移与消耗过程就是孔径扩张和孔壁形成的过程,该过程与硅片本身的性能密切相关,与氢离子浓度无关,故孔径基本恒定;氢离子浓度的提高加快氢的置换反应直至平衡,从而使反应总速率提高直至恒定,因此孔深先线性增大然后保持恒定;Si-H含量在一定范围内与孔深的变化吻合呈现上升趋势,且键合形式以Si-H2为主.

关键词: 无机非金属材料 , HCl , 多孔硅 , 微结构 , Si-H , 电流突发模型

动态离子束混合沉积氧化钽薄膜的微观分析

杜纪富 , , 黄宁康

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.002

用动态离子束混合技术在铁基材料表面上制备氧化钽薄膜.用Ar+束溅射沉积薄膜的同时,分别用100 keV,2×1017/cm2的O+离子或100 keV,8×1016/cm2的Ar+进行辐照.对两种工艺下生成的氧化钽薄膜进行了XPS、AES及RBS分析研究,结果发现,Ar+辐照下制备的氧化物薄膜主要由符合化学剂量比的Ta2O5化合物组成,引入的碳污染少.O+辐照下制备的薄膜生成了低价的氧化钽,引入了大量的碳污染.

关键词: 氧化钽薄膜 , 动态离子束混合 , XPS , AES

油水两相在不同角裂缝中的水平流动特性

刘磊 , 李操 , 周思怡 , 周芳德

工程热物理学报

在缝宽7 mm、缝198 mm、缝3000 mm的裂缝中,选择缝方向与水平方向成0°、45°和90°角布置,研究了裂缝角对油水两相流水平流动特性的影响,并与圆管中的油水两相流进行了比较.研究表明,角对油水两相流的流型有一定影响,对混合度系数与有效黏度则影响不大,对"水包油"和"油包水"相态逆转的发生影响不大.对应于相同的流速和含油率,不同角裂缝以及圆管中的油水两相流,其有效黏度几乎相同.

关键词: 油水两相流 , 裂缝 , , 有效黏度 , 流型

纱织物细观几何模型

李蓓蓓 , 李炜

玻璃钢/复合材料

在合理的假设基础上,通过建立的纱织物增强结构二维几何结构模型,预测纱织物内纤维束屈曲状态,建立纱织物复合材料的纤维体积分数的理论公式,分析纤维束屈曲率与纤维体积含量之间的关系.理论计算结果与实测值的比较,表明所提出的细观几何模型是合理的.

关键词: , 几何结构 , 单元体 , 屈曲 , 纤维体积分数

π盒的曲到弯曲形变

姜丽 , 孙玉宝 , 马红梅 , 张志东

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.016

根据液晶动力学理论研究了π型液晶盒中从曲到弯曲的转变过程和转变所需的最小电压.在低电压驱动情况下,具有非对称预倾角度的曲结构转变为非对称状态;在高于转变电压的脉冲作用下,再转变成为弯曲结构.结果表明,转变电压随着锚定强度的增加而增加,随着表面黏滞系数的增加而增加,随着预倾角度的增加而减小.使用本文提出的方法得到的转变时间比其他方法要快得多,可以小于50 ms.

关键词: 液晶 , π型盒 , 转变电压 , 锚定强度 , 表面黏滞系数 , 预倾角度

面的实现方法与应用

杨继新 , 肖正扬 , 王筱华 , 丁天英

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2002.02.007

为解决工程实际中按照已知条件构造可面的问题,以微分几何学中单参数平面族包络理论为基础,提出了实现可面的包络方法,即利用单参数平面族的包络来获得可面,据此发展出按照已知可面上一条曲线及可面在该曲线上的法线构造可面的方法.研究表明,该方法在按照已知条件设计可的工程曲面方面具有创新性,操作简便,易于被工程所接受,将该方法应用于工程实际,解决了螺旋输送器的核心部件--铰龙的设计问题,使其在平面上的展开成为可能.

关键词: , 设计 , 包络面

高性能纤维束纤技术的发展现状

钟文鑫 , 马丕波

玻璃钢/复合材料

介绍了纤的定义以及纤对高性能纤维纱线形态、纤维渗透特性、复合材料性能的影响;对纤维束展开宽度进行了理论计算,对比介绍了目前常用的热碾法、机械纤法、超声波纤、声波纤法和气流喷射纤法等5种纤方法,并对5种纤方法的设备与原理进行了详细的阐述,最后对高性能纤维纤未来的发展进行了展望.

关键词: 纤定义 , 纤维束 , 纤方法 , 纤原理

直接预浸法制备预浸纱的纱宽度研究

谢飞 , 文立伟 , 肖军 , 李志慧

玻璃钢/复合材料

在直接预浸法制备自动铺丝预浸纱过程中,纱宽度是影响预浸纱质量的一个关键因素.借助高速数字图像传感器,研究了纱机构中,纤维束在错位排列的纱辊/纱杆上的展开规律和机理.研究结果表明,纱杆对纤维束的展开作用明显优于纱辊,纤维张力的增大、纤维束在纱杆上包角的增大均有利于纤维束的展开;当纤维牵引速率较低时,纤维束的展开宽度随速率的增大而增大;纤维张力利于纤维束的展开,但是过大的张力会使纤维束展开不稳定,宽度波动较大,且易出现劈裂和纤维损伤的缺陷.该研究结果为自动铺丝预浸纱制备工艺提供了指导.

关键词: 自动铺丝 , 预浸纱 , 纱宽度 , 纤维张力 , 纱辊/纱杆

国内外纱技术及设备研究进展

李蓓蓓 , 朱家强 , 李炜

玻璃钢/复合材料

与传统碳纤维织物相比,纱织物可以将纤维在织造前展开,使得纤维在织物中取向直、屈曲少.纱技术可以制得更为轻薄的织物,并且织物表面平整度进一步提高,最终改善了复合材料的机械性能.本文介绍了纱技术及目前常用的机械式多组辊筒、声波、超声波以及气流喷射扩纤法原理及相关设备.

关键词: , 机械多辊筒 , 气流喷射 , 超声波 , 声波

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