张玉虎
,
岳浩
,
王军帽
,
李亚文
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163110.0929
为了对 TFT((Thin Film Transistor)光刻 DICD(Develop Inspection Critical Dimension)均一性进行改善,分析了光刻 DICD 存在差异性的原因,并建立了改善循环流程。对循环流程改善原理及方法进行说明。首先,根据处于光刻系统最佳焦平面位置光刻胶吸收光强最大,DICD 最小(DICDmin )原则,提出了调整光刻平面,使其与系统最佳焦平面趋势一致,可减小 DICD 差异性。接着,计算出各光刻区域与最佳焦平面位置处的 DICD 差值(DICD-DICDmin ),并通过结合光刻区域台板平坦度,判断 DICD-DICDmin 各差值的正负性。然后,采用最小二乘法对光刻区域 DICD-DICDmin 进行平面方程拟合,该平面即为光刻趋势平面,并反映了光刻平面与光刻系统最佳焦平面的差异。最后,以此平面方程作为光刻机台板高度调整平面方程,并对光刻区域台板高度进行调整,从而使得实际光刻平面趋于系统最佳焦平面。结果表明：该方法连续实验3次,DICD 均一性可改善30％以上。
关键词:
DICD
,
最佳焦平面
,
平坦度
,
均一性
,
最小二乘法
王延东
,
杨笑宇
,
洪伟
,
贾平
,
晁宇
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.029
通过对涂层的形成原理及失效方式、耐腐蚀寿命、结合力、涂装施工工艺和防腐涂层维护5个方面进行对比,分析了油漆和电弧喷铝涂装方案的特点.针对荆岳大桥所处的腐蚀环境,指出在钢箱梁防腐蚀施工中,电弧喷铝比油漆重防腐方案具有更优秀的防腐蚀效果,进而说明电弧喷铝防腐涂装能够更广泛地应用到钢结构防腐施工中.
关键词:
大桥
,
钢箱梁
,
油漆重防腐
,
电弧喷铝
高永军
,
行天伟
,
杨志刚
黄金
doi:10.11792/hj20130404
内蒙古太平矿业有限公司浩尧尔忽洞金矿是中国北方最大的露天开采黄金堆浸矿山.论述了浩尧尔忽洞金矿床的地质特征,总结了找矿标志,并重点阐述了地质找矿成果及开发规划,形成了科学论证、探矿会战、整体开发、科技领先、绿色和谐的矿业开发模式,对中国“十二五”期间利用找矿新机制实现找矿大突破有一定的借鉴.
关键词:
中国冶金
于浩，生于1970年10月，山东省即墨市人，北京科技大学材料科学与工程学院教授。
近年来，于浩教授主要从事轧制技术与组织性能的智能控制、钢的组织性能综合控制理论与应用研究及新产品开发、金属塑性加工与成形过程模拟仿真工作。先后负责和作为主要完成人参与完成国家973项目、国家自然基金重点项目、面上项目和霍英东基金项目等国家级项目。
关键词:
北京科技大学
,
材料科学与工程学院
,
冶金
,
金属塑性加工
,
组织性能
,
基金项目
,
新产品开发
,
智能控制
火时中
,
翁端
,
唐纯义
腐蚀学报（英文）
<正> 孔蚀形态主要包括孔蚀产物在孔口与孔内的聚集状况,孔口及孔内側壁的形状与尺寸芯靠资葱翁哂欣砺垡庖搴褪涤眉壑怠T诳资葱翁矫娴难芯肯喽岳此狄傩R丫?孔蚀生长初期的形态主要与金属晶体结构和蚀孔所处的位置有关。Vetter和strehblow发现,当蚀孔位于不同的晶粒上时。其边缘具有不同的晶向,处
关键词:
中国材料进展
2011年8日下午，何梁何利基金2011年度颁奖大会在京举行。我国高性能计算机领域杰出科学家、国防科技大学杨学军教授荣获“科学与技术成就奖”，丁伟岳等35人获“科学与技术进步奖”，吴朝晖等15人获“科学与技术创新奖”。中共中央政治局委员、国务委员刘延东向大会发来贺信，全国人大常委会副委员长桑国卫、全国政协副主席万钢出席会议并为获奖代表颁奖。何梁何利基金评选委员会主任朱丽兰向大会作工作报告。
关键词:
科学家
,
基金
,
中共中央政治局
,
全国人大常委会
,
突出
,
国防科技大学
,
计算机领域
,
科学与技术
李亚江
,
王娟
,
尹衍升
,
马海军
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.02.008
对Fe3Al/18-8钢扩散焊界面附近元素的分布进行计算并通过电子探针(EPMA)进行实验测定,结果表明,界面附近靠近18-8钢一侧,其Al,Ni元素的计算值和实测值有所差别,Fe,Cr元素分布的计算值和实测值较为接近.加热温度1333 K时,Cr元素在Fe3Al/18-8钢界面附近扩散距离增加至80μm,Ni元素扩散距离增加至140μm.Fe3Al/18-8钢扩散焊界面过渡区宽度为x2=7.5×102exp(-75.2/RT)(t-t0).在一定加热温度下,保温时间超过60 min以岳界面过渡区宽度不再明显增加.
关键词:
Fe3Al金属间化合物
,
扩散焊
,
界面
,
元素扩散
赵胜男
,
史小红
,
崔英
,
吴用
,
甄志磊
,
赵水霞
,
乌云
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.09.2016012001
为摸清内蒙古达里诺尔湖湖泊水体与入湖河水的水化学主要离子组成特征及其控制因素，于2013年6—9月对湖水、河水进行采样．采用水化学类型三角图分析不同湖水与河水的主要离子组成，利用Gibbs图分析水体化学成分主要驱动因素，在此基础上，运用河水主要离子比例关系图进一步分析入湖河水离子主要来源．结果显示，达里诺尔湖湖水总溶解固体（TDS）含量范围为5800—6170 mg·L－1，平均值为5990 mg·L－1，入湖河水TDS含量范围为140—310 mg·L－1，平均值为200 mg·L－1，远低于湖水的TDS值．入湖的河水属于淡水，而湖水则已演变为中度咸水．湖水、河水主离子组成以及水化学类型具有一定的差异，其中，湖水离子含量特征为HCO－3（2564．60 mg·L－1）＞Cl－（2025．29 mg·L－1）＞SO2－4（424．02 mg·L－1），Na＋（2070．68 mg·L－1）＞K＋（159．24 mg·L－1）＞Mg2＋（20．04 mg·L－1）＞Ca2＋（5．09 mg·L－1）；河水离子含量特征为HCO－3（118．93 mg·L－1）＞Cl－（24．99 mg·L－1）＞SO2－4（11．77 mg·L－1），Na＋（49．84 mg·L－1）＞Ca2＋（27．83 mg·L－1）＞Mg2＋（14．55 mg·L－1）＞K＋（6．56 mg·L－1）；依据阴、阳离子所占比例进行分类，湖水的水化学类型为 Cl－HCO3－Na 型，贡格尔河为Cl?HCO3?SO4?Na?Ca型，浩来河为Cl?HCO3?Na?Ca?Mg型，沙里河为HCO3?Na?Mg型，亮子河为HCO3?Ca?Na型．从水化学驱动因素上看，其水化学组成自然起源主要受自身蒸发?结晶作用的影响，部分区域受到农业活动、放牧及旅游业等人类活动影响，而贡格尔河、浩来河、亮子河及沙里河4条入湖河水的水化学组成落在Gibbs模型的中部，则主要受岩石风化作用控制，4条河流主要受碳酸岩风化影响，钠硅酸岩风化对河水中阳离子的贡献也较大．结合入湖河水水质、水化学驱动因素分析，近年来湖水水体盐化主要是受湖区蒸发量增大、入湖流量减少、湖区面积萎缩的影响，入湖盐分的贡献及人类活动的影响则相对较小．
关键词:
主离子组成
,
岩石风化
,
Gibbs
,
驱动因素
