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光刻技术:发展路径及未来趋势

山口佳一 , 征矢野晃雅 , 島基之

影像科学与光化学

光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.

关键词: 光刻技术 , 纳米器件 , 分辨力增强 , 光刻胶材料

氧化鋯基陶瓷承受循環負荷之奇特式能量吸收機制

材料导报

以往成信氧化鋯基陶瓷材料之韌化機制主要爲正方相轉變爲單斜相之相變化及正方晶之鐵彈性域轉移,惟其主要應用在發生塑性變形範圍,而在承受循環負荷之彈性變形範圍則鮮少論及.本研究發現該材料系統在承受彈性之循環負荷作用下,表現出奇特之能量吸收特性,亦即,因應力誘發而使立方相轉换爲具有類橡膠特性之斜方相,或是立方相轉换爲不會發生相變之正方相,此應爲氧化鋯基材料系統在彈性變形範圍之韌化機制,爲一國際上創新之發現.

关键词: 氧化鋯 , 相變化 , 同步輻射 , X-光繞射 , 拉曼光譜 , 應力-應變曲綫

氧化鋯基陶瓷承受循環負荷之奇特式能量吸收機制

喻盛地

材料导报

以往咸信氧化鋯基陶瓷材料之韌化機制主要爲正方相轉變爲單斜相之相變化及正方晶之鐵彈性域轉移,惟其主要應用在發生塑性變形範圍,而在承受循環負荷之彈性變形範圍則鮮少論及.本研究發現該材料系統在承受彈性之循環負荷作用下,表現出奇特之能量吸收特性,亦即,因應力诱發而使立方相轉换爲具有類橡膠特性之斜方相,或是立方相轉换爲不會發生相變之正方相,此應爲氧化锆基材料系統在彈性變形範圍之韌化機制,爲一國際上創新之發現.

关键词: 氧化鋯 , 相變化 , 同步輻射 , X-光繞射 , 拉曼光譜 , 應力-應變曲綫

金屬薄膜之退火非晶質化現象

材料导报

本文系探討一種具高玻璃形成能力之鋯基(Zr-Cu-Al-Ni)的非晶合金薄膜,以减鍍沉積成達10μm以上厚度之薄膜,再經由退火過程而誘發廣泛遍布整個薄膜的部份或全部非晶相.此種可控制之整佃薄膜的內泛非晶相反應能明顯影響薄膜性質(如硬度與電阻值等),方便建立組成結構和薄膜性質之間的關系,退而設計出具有特定性質的薄膜,文章將進一步探討固態非晶化的機制.

关键词: 固熊非晶質化 , 濺鍍薄膜 , 大塊非晶

稳定多晶氧化铝纤维质量之研究

王孝瑞 , 付顺德 , 夏超 , 申超伟 , 梁献雷 , 阴怀亮

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2000.04.006

通过改变胶体添加剂和热处理参数,提高纤维化器的转速,达到了稳定胶体粘度、改善成纤性能、降低纤维直径、稳定并提高氧化铝纤维质量、降低生产成本之目的.

关键词: 多晶纤维 , 氧化铝纤维

熔融還原煉鐵渣黏度之計算模式

連雙喜 , 陳柏楊 , 劉世賢 , 蔡辛慈

材料导报

熔融還原煉鐵法爲直接以煤及鐵礦粉取代焦碳和燒結礦爲原料的一替代性有發展潜力的制程.而熔融還原爐法中鐵礦還原速率之好壞與泡沫渣之控制,亦即溶渣的黏度、表面張力及密度和温度等有極重要的關系.本文主要希望介绍熔融還原煉鐵法爐渣黏度與爐渣成份及温度等變數之關系.研究的爐渣成份主要分成兩大類,分别是①四元系列的SiO2-CaO-MgO-Al2O3,鹽基度變化爲0.9～1.3;②氧化鐵範圍爲FeO 1%～7%,氧化镁MgO,鹽基度固定爲1.08的五元渣系SiO2-CaO-MgOsat-Al2O3-FeO爐渣.實難以高温轉鉅黏度計,量測不同成份及温度的黏度值.實難結果發現黏度與温度基本上呈反比的趨勢,可以Arrhenius equation或Eyring′s expression式子說明黏度與温度的關系.有關黏度與成份的關系,分别以熱力學綱状結構黏度模式、氧橋鍵結矽離子黏度模式與光學鹽基度黏度模式計算其黏度值,其結果爲利用氧橋鍵矽離子黏度模式與本實難的黏度量測值及文獻黏度量測值最接近.基本上黏度值随基鹽度的上升及随FeO量增加而下降,但黏度随著SiO2量增加而增加.至於黏度與温度則呈現反比的趨勢.

关键词: 熔融還原 , 鐵渣 , 黏度 , 計算模式

熔融還原煉鐵渣黏度之計算模式

材料导报

熔融還原煉鐵法爲直接以煤及鐵礦粉取代焦碳和燒結礦爲原料的一替代性有發展潜力的制程.而熔融還原爐法中鐵礦還原速率之好壞與泡沫渣之控制,亦即溶渣的黏度、表面張力及密度和温度等有極重要的關系.本文主要希望介紹熔融還原煉鐵法爐渣黏度與爐渣成份及温度等變數之關系.研究的爐渣成份主要分成雨大類,分别是①四元系列的SiO2-CaO-MgO-Al2O3,鹽基度變化爲0.9～1.3;②氧化鐵範圍爲FeO 1%～7%,氧化鎂MgO,鹽基度固定爲1.08的五元渣系SiO2-CaO-MgOsat-Al2O3-FeO爐渣.實驗以高温轉鉅黏度計,量測不同成份及温度的黏度值.實驗結果發現黏度與温度基本上呈反比的趨势,可以Arrhenius equation或Eyring's expression式子說明黏度與温度的關系.有關黏度與成份的關系,分别以熱力學網状結構黏度模式、氧橋鍵結矽離子黏度模式與光學鹽基度黏度模式計算其黏度值,其結果爲利用氧橋鍵矽離子黏度模式與本實驗的黏度量測值及文獻黏度量測值最接近.基本上黏度值随基鹽度的上升及随FeO量增加而下降,但黏度随著SiO2量增加而增加.至於黏度與温度則呈現反比的趋势.

关键词: 熔融還原 , 鐵渣 , 黏度 , 計算模式

铝阳极氧化膜封孔技术之进展

朱祖芳

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2000.03.011

本文总结了铝阳极氧化膜封孔技术的发展和工业应用现况.介绍沸纯水封孔、高温水蒸气封孔、冷封孔(含镍和无镍)、中温封孔和有机聚合物膜等工艺.突出介绍了在工业上广泛应用的沸水封孔、氟化镍为基的冷封孔和电泳沉积丙烯酸树脂技术,还介绍了欧洲对于封孔质量评价方法的最新改进措施.

关键词: 铝阳极氧化膜 , 封孔技术 , 检测方法

开浇成功率百分之百的生产实践

赵登报 , 贾延利 , 赵丽 , 叶勇 , 李士波

连铸 doi:10.3969/j.issn.1005-4006.2006.02.004

济钢三炼钢厂1号板坯连铸机,从投产到目前已经开浇1200多次,通过某些具体措施的实施,开浇成功率达到了百分之百,创造了较好的经济效益.

关键词:

不定形耐火材料之浇注料的研究进展

张巍

材料导报

介绍了不定形耐火材料中的一种以浇注方式施工的材料——浇注料,并根据笔者的研究成果及近年来有关浇注料新产品的制备、应用等方面的最新研究,系统地论述了焦宝石基浇注料、矾土基浇注料、莫来石基浇注料、刚玉基浇注料、镁质浇注料、轻质隔热浇注料和耐酸耐碱浇注料的性能和研究进展.在此基础上,展望了浇注料的发展趋势.

关键词: 浇注料 , 焦宝石基浇注料 , 矾土基浇注料 , 莫来石基浇注料 , 刚玉基浇注料 , 镁质浇注料 , 轻质浇注料 , 耐酸耐碱浇注料