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蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究

宋文燕 , 刘正堂 , 崔虎 , 李强 , 赵铁成

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2005.05.004

采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,讨论了工艺参数对沉积速率的影响.结果表明,Si3N4薄膜的沉积速率随溅射气压的增大出现先增后减的趋势,衬底温度对沉积速率没有明显的影响.溅射气压的降低、衬底温度的提高将有利于获得高质量的Si3N4薄膜.

关键词: 磁控反应溅射 , 蓝宝石 , 氮化硅薄膜 , 沉积速率

蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究

宋文燕 , 崔虎 , 苏勋家 , 刘正堂

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.02.010

采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯N2气为反应气体,在蓝宝石和硅衬底上制备了氮化硅薄膜.并对Si3N4薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能等进行了研究.实验结果表明,沉积薄膜中Si和N的比接近3∶4,形成了Si3N4化合物,呈非晶态结构.制备的Si3N4薄膜的硬度明显高于蓝宝石衬底的硬度,且与蓝宝石衬底结合牢固,可提供良好的保护性能.

关键词: 磁控反应溅射 , 蓝宝石 , 氮化硅薄膜 , 性能

Cu/Ag导电薄膜与高阻CdZnTe的接触性能研究

孙金池 , 刘正堂 , 张兴刚 , 崔虎 , 李阳平

功能材料

采用射频磁控溅射法在高阻Cd0.9Zn0.1Te上制备了Cu/Ag导电薄膜,通过测量I-V曲线来评价接触性能.讨论了溅射功率和衬底温度对接触性能的影响,结果表明在两种不同功率下制备的薄膜不经过热处理已具有良好的欧姆接触性能,随着衬底温度的升高欧姆接触性能有所下降.通过对衬底的表面处理降低了表面漏电流.对试样进行退火处理使接触性能有所改善,退火温度在300℃时的接触性能要好于420℃.利用红外透过率来验证了退火温度范围及所选择加热衬底温度对高阻Cd0.9Zn0.1Te衬底没有影响.

关键词: Cu/Ag导电薄膜 , Cd0.9Zn0.1Te晶体 , 接触 , 磁控溅射

提高蓝宝石高温强度和红外透过率的镀膜法研究

宋文燕 , 崔虎 , 刘正堂 , 冯丽萍

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2006.05.003

采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2和N2气为反应气体,在蓝宝石衬底上制备了氧化硅和氮化硅薄膜.讨论了N2气流量、射频功率、溅射气压和靶基距等工艺参数对Si3N4薄膜沉积速率的影响规律.结果表明:随N2气流量的增加,沉积速率先降低,最后趋于稳定;随射频功率增加,沉积速率增加;随溅射气压和靶基距增加,沉积速率先增后减.同时,高温强度试验和FTIR测试结果表明:在800℃时,镀膜后蓝宝石的弯曲强度比镀膜前提高了50.2%;平均透过率净增加8%以上,达到了很好的增透保护效果.

关键词: 蓝宝石 , 氮化硅 , 高温强度 , 透过率 , 镀膜

卷取温度对IF钢热轧板第二相粒子析出的影响

崔虎 , 罗晓阳

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000–6826.2015.04.06

关键词:

DWDM系统中偏振模色散的影响

崔虎 , 徐文成 , 陈泳竹 , 陈伟成 , 刘颂豪

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.06.010

本文导出了四波长光波在双折射光纤中传输所满足的一般非线性耦合方程.研究了色散平坦光纤中4×10Gb/sDWDM系统的偏振模色散特性;在此基础上,进一步研究了偏振模色散对不同信道间隔的4×10Gb/sDWDM系统的影响,结果表明偏振模色散限制了DWDM系统有效带宽内的信道数量及其传输码率.

关键词: DWDM , 光纤双折射 , 色散平坦光纤 , 偏振模色散

CSP生产SPHC板材的冷轧退火工艺优化

崔虎 , 关建东 , 康永林

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2009.01.013

对酒钢CSP生产的SPHC热轧钢进行了冷轧退火及相关试验.研究表明,当冷轧压下量为70%,退火温度为700℃时,可以得到良好的织构和优异的冲压性能.

关键词: 冷轧 , 退火 , 织构 , 冲压性能

影响蓝宝石高温强度的因素探讨

宋文燕 , 崔虎 , 刘正堂

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.z1.125

蓝宝石优秀的光学和力学性能使得它在红外光学领域获得广泛应用,但是,其高温强度的急剧降低,限制了它的热震抗力的发挥.所以改善蓝宝石的高温强度已经成为目前该领域的研究热点之一.本文介绍蓝宝石高温强度降低的机制以及影响因素,并对未来的工作提出展望.

关键词: 蓝宝石 , 高温强度 , 影响因素

虎路线矿区地表塌陷的综合治理实践

杜日胜 , 王大林 , 罗丹青 , 范允鑫

黄金 doi:10.11792/hj20170418

矿床地下开采形成的空区,易引发地表开裂、下沉、塌陷、水土流失等地质灾害.以蓬莱矿业公司虎路线矿区地表塌陷治理为实例,分析了地表塌陷造成的危害,详述了塌陷区治理过程及成效,对深入推进绿色生态矿山建设具有现实意义.

关键词: 黄金矿山 , 地下开采 , 塌陷区 , 危害 , 综合治理

内蒙古虎拉林金矿矿床地质特征及成因探讨

丁清峰 , 孙丰月 , 梁海军

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2006.10.002

通过对虎拉林金矿详尽地野外调研和室内综合分析,系统地剖析了其矿床地质特征,首次提出了虎拉林矿区存在3期角砾岩,其构成的角砾岩筒是矿区(HY-4异常)内主要的控矿构造.随后结合流体包裹体测试分析等提出了虎拉林金矿新的矿床成因模式,即经历了早期似斑岩型和晚期高硫化型浅成低温热液两期金矿成矿作用.最后简要地判断了虎拉林矿区的剥蚀程度,并评价了其找矿潜力.

关键词: 矿床地质特征 , 矿床成因 , 虎拉林金矿床 , 内蒙古