黄军辉
,
周旗钢
,
万关良
,
肖清华
,
库黎明
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.06.003
通过建立300 mm硅片双面化学机械抛光中硅片上定点相对于上下抛光垫的运动轨迹方程, 分析了内外齿轮转速、抛光布转速对运动轨迹分布的影响, 调整三者大小使得运动轨迹分布较均匀. 实验证明运动轨迹路径长度与抛光去除厚度成正比关系, 计算运动轨迹路径长度确定抛光垫的转速以达到上下表面具有相同的抛光速率. 研究结果为300 mm硅片双面化学机械抛光找出优化工艺参数、提高硅片抛光后表面质量提供了理论依据.
关键词:
双面化学机械抛光
,
轨迹模拟
,
非均匀性
,
DSP
库黎明
,
李耀东
,
周旗钢
,
王敬
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.02.002
利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化,并通过Stribeck曲线进行了探讨.结果表明,双面抛光过程中机械作用的强度随着压力的变化而不同,从而影响抛光后的硅片表面形貌.当硅片表面与抛光垫之间的接触处于固-液混合接触区时,协调机械去除作用与化学腐蚀作用之间的关系,使之达到平衡,可以显著地降低硅片表面的微粗糙度和峰谷值.
关键词:
硅片
,
双面抛光
,
非接触式光学轮廓仪
,
表面形貌
杨飞
,
陈小宁
腐蚀与防护
在Windows XP环境下,采用C++builder作为界面开发工具,以SQL Server 2000作为后台数据库服务器开发了一个综合性的舰艇腐蚀防护设计数据库.该数据库由腐蚀环境数据库、腐蚀防护档案数据库、材料腐蚀数据库、腐蚀防护措施数据库、腐蚀防护监测数据库和腐蚀防护评估数据库组成.它可提供舰艇防腐蚀设计需要的资料档案,实现系统设计中的定性分析、定量计算和方案决策以及数据系统库维护等功能.
关键词:
舰艇
,
腐蚀防护设计
,
数据库
李长荣
,
DavidB.Anderson
中国腐蚀与防护学报
数据库的设计不仅要考虑全面反映具体情况的数据内容,而且要考虑存储、查阅和使用上的方便,以利于建立咨询、应用软件。本文介绍一个以工业环境为背景的腐蚀材料数据库结构及其应用程序原型的设计方法。数据结构采用腐蚀数据中心[由美国腐蚀工程师协会(NACE)和美国国家标准和技术研究院(NIST)共同创立]的标准格式,程序提供方便的数据输入、输出、修改、增删以及检索等功能。另外,用户还可以根据不同目的,对数据库进行访问和查询。
关键词:
谈君
,
鄢晓
,
张跃
,
徐惠彬
功能材料
设计并建立了热障涂层知识库系统,采用多用户的管理模式由知识库管理系统统管整个知识库系统.系统采用问答方式进行询问回答,并给出相应建议和具体的实例说明.建立了临时库,方便用户自行添加规则进行推理.
关键词:
热障涂层
,
知识库系统
,
规则库
,
管理系统
苏宗涤
,
黄忠甫
,
刘建峰
,
左义欣
,
余自强
,
陈振鹏
,
马功桂
,
朱耀银
,
李支文
,
张其欣
,
龚惠莉
,
周建明
,
曹小平
,
卢兆启
,
史淑梅
,
戴能雄
,
王豫生
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2002.01.017
概述了为核反应模型计算用的"中国评价核参数库"的发展和结构, 指出了该数据库在国际核反应数据模型计算的"推荐输入参数库"中的作用和地位. 目前正研制更新的CENPL, 一方面将检验、更新和扩充数据, 特别注重研究适用于更高能区和非稳定核区的模型参数; 另一方面发展其检索软件和网络软件, 实现网络在线服务.
关键词:
核反应数据
,
模型参数
,
核参数库