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等离子体改性１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ不锈钢钝化膜的耐蚀性雷明凯，袁力江，孔常静，张仲麟（大连理工大学大连１１６０２４）...

关键词: null , Surface modification , Passive film

等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究

采用等离子体源离子渗氮，即低能（1-3keV）、超大剂量（10¹⁹～10²⁰ions．cm^-2）氮离子注入-同步热扩散技术，在300～500℃处理碳化硼薄膜，合成了硼碳氮三元薄膜．俄歇电子能谱和漫反射富氏变换红外光谱分析表明，合成的硼...

关键词: 等离子体源离子渗氮 , null

钢的等离子体基低能离子注入的传质机制

雷明凯 , 朱雪梅 , 袁力江 , 张仲麟

金属学报

等离子体基低能离子注入是一种钢的低温, 低压表面改性方法, 它包括等离子体源离子渗氮和等离子体源离子渗碳两种工艺. 等离子体基低能离子注入的主要传质机制是低能离子注入－同步热扩散, 即在脉冲负偏压作用下的离子首先完成不依赖于工艺温度的低能离子注入, 然后已注入的原子在较低的工艺温度上发生足够的热扩散...

关键词: 离子注入 , null , null , null , null

合成硼碳氮体系薄膜的XPS研究

雷明凯 , 袁力江 , 张仲麟 , 马腾才

无机材料学报

采用Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析３００～５００℃ 等离子体源离子渗氮硼和碳化硼薄膜合成的氮化硼和硼碳氮薄膜利用合成薄膜成分可控的特点，研究Ｂ、Ｃ、Ｎ对薄膜的ＸＰＳ影响结果表明，ＸＰＳ分析合成氮化硼薄膜能够确定其化学组成，但不能确定ｓｐ

关键词: 硼碳氮薄膜 , null , null

等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究

雷明凯 , 袁力江 , 张仲麟 , 马腾才

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.033

采用等离子体源离子渗氮,即低能(1～3 keV)、超大剂量(1019～1020ions.cm-2)氮离子注入--同步热扩散技术,在300～500℃处理碳化硼薄膜,合成了硼碳氮三元薄膜. 俄歇电子能谱和漫反射富氏变换红外光谱分析表明,合成的硼碳氮薄膜是碳硼比固定,氮含量可控的非晶态薄膜. 300℃渗氮...

关键词: 等离子体源离子渗氮 , 硼碳氮薄膜