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非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性

王朝勇 , 姚宁 , , 鲁占灵 , 方莉俐 , 邓记才 , 张新月 , 赵永梅 , 袁泽明

功能材料

以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度>103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.

关键词: 场发射 , 微波等离子体化学气相沉积 , 非晶碳 , Mo2C

LiF对柔性有机电致发光器件性能的影响

姚宁 , 李全友 , 王英俭 , , 史新伟 , 王执乾 , 韩昌报

人工晶体学报

利用真空蒸镀方法,在PET柔性衬底上制备了有机电致发光器件.分析了玻璃和柔性衬底器件的电压、电流和亮度特性,重点讨论LiF层对器件性能的影响、柔性衬底上器件的失效机理,以及器件性能随时间衰减现象.实验结果表明,相同条件下,LiF层的加入能降低器件的开启电压,从7 V降至5.5 V;柔性衬底与界面容易形成缺陷,影响器件的寿命.

关键词: 真空蒸镀 , PET柔性衬底 , 有机电致发光(OLED) , 失效机理

湿化学法合成Co掺杂ZnO薄膜的微结构及发光特性

王爱华 , 姬晓旭 , 吕林霞 , 卢成 , 包特木尔巴根 , 宋金瑶 ,

低温物理学报

采用湿化学法在ITO玻璃衬底上制备了纳米棒结构的Co掺杂ZnO薄膜.XRD结果表明Co掺杂的ZnO没有出现杂相.SEM结果表明掺杂样品是由ZnO纳米棒团簇结构组成,且团簇的密度随着co掺杂浓度的增大而增大.光致发光光谱表明CO掺杂导致薄膜的带隙发生红移.

关键词: Co掺杂ZnO薄膜 , 湿化学法 , 光致发光光谱

微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究

柴士磊 , 史新伟 , 周秋霞 , 靳慧智 , 姚宁 , 王新昌 ,

材料保护

在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜.利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态.结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2 h时,薄膜与衬底的结合力最好.

关键词: MPCVD , 微-纳米复合金刚石薄膜 , 附着力 , 界面

碳纳米管膜场发射三极管的制备及特性研究

樊志琴 , 蔡根旺 , 王世建 , 李瑞 , 张君德 , 程仁志 ,

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.007

对多壁碳纳米管薄膜作为阴极的真空三极结构发光管器件进行了初步研制.研究了器件结构及场发射特性.研究证明碳纳米管薄膜是一种性能优良的冷阴极材料.采用CNTs薄膜为阴极的真空发光管器件可以在10-6~10-7 Pa的真空度下稳定工作,并在较低的阳极工作电压下获得较大的电流.在阳极电压为5.8 kV,栅压为750 V时,在3 cm2发射面积上,可获得1.1 mA的电流值.器件的发射电流较稳定,且亮度达到1.8X103 cd/m2,十分适用于户外大屏幕显示.

关键词: 碳纳米管 , 场发射 , 三极管

金刚石基压电薄膜研究进展

杨晓朋 , 宋平新 , 王新昌 , 姚宁 ,

材料导报

移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势.

关键词: 压电薄膜 , 金刚石 , 声表面波

纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性

袁泽明 , 永强 , 姚宁 ,

人工晶体学报

采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜.通 过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构.并研究了薄膜材料的场发射特性.结果表明:薄膜的开启电场仅为0.39 V/μm;当电场强度为1.85 V/μm时,电流密度高达3.06 mA/cm2;且场发射点均匀、密集、稳定.迭代法计算表明薄膜材料的功函数为3.1 eV,发射点密度约为1.7×105个/cm2.这些均表明该薄膜是一种性能优良的场发射阴极材料.

关键词: 纳米非晶碳 , 场致电子发射 , FeCl3 , 微波等离子增强化学气相沉积

过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响

姚宁 ,

人工晶体学报

采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层.本文分别选择三种常见金属:钛(Ti)、鉬(Mo)、镍(Ni)来作对比试验.结果发现用钛作为过渡层时薄膜场发射效果最好,主要表现为开启电场低,同一电场下发射电流大,发射点密度较大且分布均匀等.利用迭代法计算了钛作为过渡层时制备的纳米非晶碳薄膜的有效发射面积和功函数.

关键词: 非晶碳薄膜 , 过渡层 , 场发射 , 功函数

不锈钢衬底的抛光处理对碳纳米管薄膜场发射性能的影响

樊志琴 , 朱庆芳 , 杨仕娥 , 姚宁 , 鲁占灵 ,

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.040

在抛光的和未抛光的不锈钢衬底上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜,并对其场发射性能进行了研究.实验发现,不锈钢衬底的机械抛光能降低碳纳米管膜的开启场强,增大它的发射电流密度.在同一场强7.5 V/μm下,衬底未抛光样品的电流密度为2.9 mA/cm2,而衬底抛光样品的电流密度达到5.5 mA/cm2.低开启场强和大发射电流密度意味着β增大,说明机械抛光能使碳纳米管膜的β增大.

关键词: 碳纳米管膜 , 场发射 , MPCVD , 拉曼光谱

用于紫外光电导探测器的TiO2薄膜研究

利伟 , 杨仕娥 , 姚宁 , 鲁占灵 , 樊志琴 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.024

采用直流反应磁控溅射的方法,制备了TiO2薄膜.用X射线衍射,原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光分光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱,采用C/TiO2/ITO三层结构制备了TiO2光电导型紫外探测器,研究了它的光响应.初步实验结果表明:TiO2薄膜在4W的紫光灯辐射下,光电流可达2.1mA,10min的辐射时间内,光电流基本保持稳定,可见TiO2薄膜对紫外光有较高的灵敏度和稳定性,可作为一种良好的紫外光探测材料.

关键词: 直流反应磁控溅射 , TiO2薄膜 , 光导型紫外探测器 , 光响应

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