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铝诱导非晶硅薄膜晶化动力学研究

张力 , 段良飞 , 杨雯 , 杨培志 , 邓双 , 涂晔 , 陈小波

人工晶体学报

为探讨其晶化过程及动力学机理,本文采用磁控溅射技术制备Al/Si薄膜,并利用快速光热退火制备微晶硅.通过采用不同的衬底温度及对铝膜进行退火处理,探究其晶化动力学过程.利用拉曼散射光谱(Raman)仪和X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行性能表征.结果表明:退火及衬底加热均能在界面形成非共融的硅铝化合物;延长退火时间能使Al/Si界面充分扩散,达到成核条件.较大的铝晶粒及其择优取向,能有效改善铝诱导晶化效果.

关键词: 非晶硅薄膜 , 磁控溅射 , 铝诱导 , 动力学

磁控溅射制备非晶硅薄膜的均匀性及光学吸收特性研究

段良飞 , 杨雯 , 杨培志 , 张力 , 涂晔 , 李学铭

人工晶体学报

利用射频磁控溅射镀膜技术,采用不同的衬底温度及射频功率在玻璃衬底上制备了非晶硅薄膜;利用X射线衍射仪、拉曼(Raman)散射仪、台阶仪、紫外-可见光-近红外分光光度计及SPSS统计分析方法研究了衬底温度及射频功率对薄膜均匀性及其光学吸收特性的影响.结果表明:衬底温度从150℃增加到200℃,薄膜的生长速率加快、均匀性降低、光学吸收强度增加,从200℃再增加到250℃,薄膜的生长速率降低、均匀性下降、光学吸收强度减弱;射频功率从90W增加到100 W,薄膜的生长速率加快、均匀性增加、光学吸收强度增加,从100 W再增加到110 W,则薄膜的生长速率降低,均匀性降低、光学吸收强度降低;获得了优化的非晶硅薄膜的制备工艺:射频功率100W,衬底温度200℃.

关键词: 射频磁控溅射 , 非晶硅薄膜 , 均匀性 , 光学吸收

氧氩比及基底温度对脉冲磁控溅射Cu2O薄膜结构和光学性能的影响

自兴发 , 杨雯 , 杨培志 , 段良飞 , 张力

人工晶体学报

利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下在石英玻璃基底上制备Cu2O薄膜,研究了O2和Ar流量比(O2/Ar)及基底湿度对沉积的Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响.结果表明:在O2/Ar为30∶80的气氛条件下,基底温度在室温(RT)和100℃时均可获得单相的Cu2O< 111>薄膜;薄膜表面致密、颗粒呈球状,粗糙度的均方根(RMS)值随基底温度增加而增大;薄膜的光谱吸收范围为300~ 650 nm,紫外区吸收较强,可见光区吸收强度较弱,吸收强度随基底温度的增加而增强,光学带隙(Eg)随基底温度的增加而减小.

关键词: 脉冲磁控溅射 , Cu2O薄膜 , 氧氩比 , 基底温度 , 光学特性

周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性

陈小波 , 杨雯 , 段良飞 , 张力 , 杨培志

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140123

采用磁控共溅射结合快速光热退火技术在单晶硅和石英衬底上制备了含硅量子点的周期性梯度富硅SiNx薄膜(梯度薄膜)和单层富硅SiNx薄膜(单层薄膜).采用Raman光谱、掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和光致发光(PL)光谱分析了薄膜的结构特性、键合特性和发光特性.Raman光谱、GIXRD和TEM结果表明,梯度薄膜和单层薄膜中的硅量子点晶化率分别为41.7%和39.2%;梯度薄膜的硅量子点密度是单层薄膜的5.4倍.FTIR光谱结果显示两种薄膜均为富硅氮化硅薄膜,梯度薄膜的硅含量小于单层薄膜.PL光谱结果表明梯度薄膜中的辐射复合缺陷少于单层薄膜.

关键词: Si量子点 , 氮化硅薄膜 , 快速光热退火 , 光致发光

HCs/HCs和HCs/CO_2二体系表面张力的预测

朱君悦 , 段远源 , 闵琪 , 林鸿

工程热物理学报

表面张力是非常重要的物性之一,本文将比容平移后的PR状态方程和密度梯度理论结合,建立了不依赖于混合物表面张力和气液相平衡实验数据的二混合物表面张力的纯预测模型。对碳氢/碳氢和碳氢/二氧化碳二体系的表面张力进行了预测,结果表明,本文模型对两组碳原子数相差不大或者两组分子结构满足链状和环状或环状和环状组合的碳氢/碳氢二体系有较高的预测精度,同时模型对碳氢/二氧化碳二体系表面张力也有较好的预测能力。

关键词: 表面张力 , 密度梯度理论 , 混合物 , 碳氢化合物 , 二氧化碳

端部缠绕纤维张力状态分析的有限方法

丁保庚 , 杨福江 , 王艳

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2001.03.001

用Galerkin有限方法,以三阶样条函数作为插值函数和加权函数,分析了金属薄壳筒体缠绕中端部缠绕纤维的张力状态,指出了端部纤维张力状态的复杂性。

关键词: 端部缠绕的纤维张力 , Galerkin方法 , 三阶样条函数

钢管张力减径过程的有限模拟

臧新良 , 于辉 , 杜凤山 , 刘玉文

上海金属 doi:10.3969/j.issn.1001-7208.2005.02.010

根据钢管张力减径过程的变形特点,对五机架张力减径过程进行系统建模,利用MARC软件进行三维弹塑性有限分析,得出了钢管在各机架的变形情况,为预报产品质量、分析产品缺陷提供了依据.

关键词: 钢管 , 张力减径 , 弹塑性有限 , 数值模拟

张力减径过程管形预测的分组有限模型

臧新良于辉杜凤山

钢铁

针对无缝钢管多机架张力减径机组的产品管形问题,将张力减径过程分为机架内的轧制变形和机架之间的网格再生过程,在有限软件Marc平台上,建立了管形预测的分组有限模型,进行三维热力耦合有限模拟研究。结合某厂产品的轧制工艺,进行了管形模拟分析,并与实测数据进行对比,验证模型的可靠性。该模型为提高产品质量、指导工艺设计提供了研究手段。

关键词: 无缝钢管;张力减径;管形预测;有限模型

张力减径过程管形预测的分组有限模型

臧新良 , 于辉 , 杜凤山

钢铁

针对无缝钢管张力减径产品的管形问题,将张力减径过程分为机架内的轧制变形和机架间的网格再生过程,在有限软件Marc平台上,建立了管形预测的分组有限模型,进行三维热力耦合有限模拟研究.结合某厂产品的轧制工艺,进行了管形模拟分析,并与实测数据进行对比,验证模型的可靠性.该模型为提高产品质量、指导工艺设计提供了研究手段.

关键词: 无缝钢管 , 张力减径 , 管形预测 , 有限模型

含醇二体系表面张力预测模型

闵琪 , 段远源 , 林鸿 , 宋艺新

工程热物理学报

表面张力是重要的物性参数之一,与人们的生产生活密切相关.醇类及其混合物具有重要的工业应用价值.含醇混合物作为特殊的缔合体系,由于氢键的存在,性质复杂.本文应用密度梯度理论结合比容平移后的Peng-Robinson状态方程,回归了醇、水纯净物的作用因子关联式系数,建立了混合物的表面张力预测模型,计算了含醇二缔合体系的表面张力,该模型不含有任何需要混合物表面张力实验数据回归确定的经验可调参数,对绝大多数含醇混合物具有很好的通用性和计算精度.

关键词: 表面张力 , 密度梯度理论 , 混合物 , ,

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