包广洁
,
钟妮
,
张文霞
,
李燕梅
,
吕玮
,
张树江
,
康宏
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.14.015
基于聚癸二酸丙三醇酯(PGS)优异的亲水性能,左旋聚乳酸(PLLA)良好的力学性能,以六氟异丙醇(HFIP)为溶剂,将PGS与PLLA按质量比1∶3、1∶1、3∶1配制成25%的纺丝液,采用静电纺丝技术制备了不同比例的新型三维纳米支架.通过扫描电镜、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、X射线衍射仪、热重分析仪、Instron微力试验机、接触角测量仪对共纺膜片进行表征.结果表明共纺膜片分布均匀,交织成网状;共纺膜片中加入PLLA对PGS聚合物结构几乎没有影响;随着PGS含量增加,结晶度呈增强趋势;伴随PLLA质量增加,热稳定性也趋于稳定;加入PGS,PGS/PLLA共纺膜片获得较好的亲水性,支架力学性能也得到改善;PGS/PLLA三维支架和山羊颞下颌关节盘细胞共培养,结果表明关节盘细胞在不同比例支架上粘附、铺展均良好,且在PGS/PLLA(1/3)膜片上生长较好.
关键词:
PGS
,
PLLA
,
静电纺丝
,
三维纳米支架
闫辰奇
,
刘玉岭
,
张金
,
张文霞
,
王辰伟
,
何平
,
潘国峰
电镀与涂饰
研究了一种多元胺醇型非离子表面活性剂对铜化学机械抛光(CMP)液粒径及分散度、抛光速率、抛光后铜膜的碟形坑高度、表面非均匀性和表面粗糙度的影响.抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2(粒径60 ~ 70 nm) 5%(体积分数,下同),多羟多胺螯合剂3%,30%(质量分数)过氧化氢3%,工作压力1 psi,背压1 psi,抛头转速87 r/min,抛盘转速93 r/min,抛光液流量300 mL/min,抛光时间60 s,抛光温度23℃.结果表明,表面活性剂的引入可提高抛光液的稳定性.当表面活性剂含量为3%时,抛光速率、抛光后碟形坑高度、表面非均匀性和表面粗糙度分别为614.86 nm/min、76.5 nm、3.26%和0.483 nm,对铜晶圆的平坦化效果最好.
关键词:
铜
,
晶圆
,
化学机械抛光
,
平坦化
,
非离子型表面活性剂
,
机理
张金
,
刘玉岭
,
闫辰奇
,
张文霞
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2017.01.007
在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度.采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析.结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面粗糙度与单个磨料颗粒机械作用和抛光后磨料颗粒表面吸附有关,并对抛光液稳定性进行了研究.最终选用粒径70 nm,质量分数为5%的磨料,去除速率可达到181 nm/min,表面粗糙度为9.1nm,对今后铝栅CMP的研究提供了参考.
关键词:
化学机械平坦化
,
去除速率
,
粒径
,
粗糙度
,
高k金属栅极
张金
,
刘玉岭
,
闫辰奇
,
张文霞
电镀与涂饰
在低工作压力(1 psi)和低磨料用量(纳米硅溶胶体积分数2.5%,后同)下,通过单因素实验探讨了碱性抛光液组分(包括氧化剂H2O2、FA/O型螯合剂和非离子型表面活性剂)含量对铝栅化学机械抛光过程中铝去除速率的影响,确定抛光液的组成为:氧化剂1.5%,螯合剂0.5%,表面活性剂1.0%.铝的去除速率为1 00 nm/min,抛光后的表面粗糙座为8.85 nm.
关键词:
铝栅
,
化学机械抛光
,
氧化剂
,
螯合剂
,
表面活性剂
,
去除速率
张金
,
刘玉岭
,
闫辰奇
,
张文霞
,
牛新环
,
孙鸣
电镀与涂饰
采用由2.5%(体积分数,下同)硅溶胶磨料、1.5% H2O2、0.5% FA/O型螯合剂和1.0%表面活性剂组成的抛光液对铝栅表面进行化学机械平坦化处理.研究了抛光垫、抛光压力、流量、抛光头转速、抛光垫转速以及抛光后清洗对铝栅表面粗糙度的影响.采用POLITEXTM REG抛光垫,在抛光压力1.5 psi,抛头转速60 r/min,抛光盘转速65 r/min,抛光液流量150 mL/min的条件下,对铝栅抛光后用自主研发的清洗剂清洗,铝栅表面粗糙度最低(2.8 nm),并且无划痕、腐蚀、颗粒残留等表面缺陷.
关键词:
铝栅
,
化学机械平坦化
,
抛光
,
缺陷
,
表面粗糙度
中国腐蚀与防护学报
<正> 由国家科委组团,以张文奇为团长,石声泰为副团长,并有刘翔声、曹楚南、韦镇球等同志参加的中国腐蚀与防护学会代表团自1980年7月26日至8月16日访问了美国,8月17日至8月23日访问了日本,分别受到了美国腐蚀工程师协会和日本腐蚀防蚀协会以及两国的腐
关键词:
孙丰月
,
丁正江
,
刘殿浩
,
张丕建
,
于晓飞
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.01.004
福山北部地区位于胶东栖(霞)-蓬(莱)-福(山)成矿带北段.该区粉子山群大面积出露,褶皱断裂构造发育,中生代燕山晚期伟德山超单元幸福山单元和雨山超单元王家庄单元、水夼单元斑岩出露广泛,形成一套完整的斑岩多金属成矿系统.与该成矿系统有关的矿床成矿系列包括邢家山(钼钨)、王家庄(铜锌)、杜家崖(金银)和隆口(金铜)等矿床式.从现有研究成果看,该区具有较大找矿潜力,中-低温热液脉型、斑岩-矽卡岩型多金属矿应作为找矿主攻方向.
关键词:
斑岩
,
成矿系统
,
成矿系列
,
胶东
,
福山北部
陈铁军
,
刘树红
,
吴玉林
,
占丽萍
工程热物理学报
本文利用图像法对水泵吸水池内非均匀流的空气吸入最进行了试验研究,试验结果表明:子通道流量比率对吸水池内的窄气吸入量影响较大,而截面平均流速对空气吸入量的影响要相对较小.当子通道流量比率较大时,会在吸水池下游的低流速区形成涡旋,严霞时会形成空气吸入涡,而空气吸入量也会随着子通道流量比率的增大而急剧增加.
关键词:
水泵吸水池
,
非对称流动
,
图像法
,
卒气吸入量
周剑华
,
吴迪
,
赵宪明
,
林刚
,
王永明
钢铁
采用ANSYS/LS-DYNA软件模拟了八辊复合矫直机水平矫直60 kg/m重轨过程,计算了矫直前后轨头宽度,轨底宽度和轨高的变化,并对60 kg/m霞轨实际矫直前后的断面尺寸进行了测量.矫直后轨头宽度增加量在0.1~0.5 mm范围内所占比例约为82.9%,轨底宽度增加晕在0.1~0.4 mm范围内所占比例约为68.6%,轨高减小量在0.2~0.6 mm范围内所占比例约为71.4%.模拟结果和实测断面尺寸的变化量基本吻合.矫直辊压下最和重轨弯曲度的减少,可以降低矫直对重轨断面尺寸的影响.
关键词:
重轨
,
辊式矫直
,
断面尺寸
,
轨高波动
,
重轨弯曲度