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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

邱成 , 刘红梅 , 张辉 , 赵全亮 , 孟丽娜 , 曹茂盛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.08.006

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求.

关键词: PZT薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 各向异性刻蚀 , 微驱动器 , MEMS

磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究

邱成 , 曹茂盛 , 张辉 , 刘红梅 , 田风 , 刘鑫

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2005.10.009

利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用.

关键词: 薄膜 , 锐钛矿相 , 射频磁控溅射 , 光催化活性

镀锌层绿色钝化

奚兵

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.09.016

介绍由常规五酸草绿色钝化工艺改良的,以重铬酸钾为体系的镀锌绿色钝化工艺.

关键词: 镀锌层 , 绿色钝化 , 工艺配方

绿色隔热降温涂料的研究

杨万国 , 董秀彩 , 李少香 , 张波

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2010.04.008

研究了空心玻璃微珠和纳米陶瓷材料等材料用量对绿色隔热降温涂料热性能的影响,通过对多种着色颜料及其复配体系反射率的研究,优选出反射率较好的几种颜料,用它们调制出的绿色降温涂料作为深色降温涂料具有较高的反射率,并且其他各项物理机械性能良好.

关键词: 隔热 , 降温 , 绿色 , 反射率 , 发射率

军用汽车哑光绿色面漆的研制

周荣华

电镀与涂饰

介绍了军用汽车哑光绿色面漆及其稀释剂的配制,着重探讨了军用汽车哑光绿色面漆的施工工艺,分析了热固性丙烯酸树脂、环氧树脂、氨基树脂和聚酯树脂,氨基比、消光粉、分散剂、防沉剂和稀释剂对军用汽车哑光绿色面漆性能的影响.结果表明,选用丁醚化三聚氰胺甲醛树脂作交联剂,氨基比为28.24:10.44时,面漆的综合性能最佳,满足技术指标要求.

关键词: 军用汽车漆 , 哑光 , 绿色面漆 , 消光粉 , 氨基比

帐篷用绿色热反射涂料的研究

杨万国 , 李少香 , 王文芳 , 刘来运 , 刘光烨

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2008.09.006

以降低帐篷内的温度为研究目的,通过对乳液、颜料、反射填料等的研究制备了一种隔热性能和耐候性能良好的水性帐篷用绿色热反射涂料.该涂料涂装帐篷后可有效地降低帐篷表面温度10~12℃,降低帐篷内部温度6~8℃,同时兼具有防水、保温功能.

关键词: 帐篷 , 绿色 , 热反射涂料 , 乳液 , 反射填料 , 反射率

四酸型镀锌层绿色钝化工艺

张馥 , 曾琳 , 王光明 , 石磊 , 石璐丹

电镀与涂饰

提出了一种镀锌层四酸型绿色钝化工艺.研究了钝化液中4种酸的含量和钝化时间对钝化膜外观和耐蚀性的影响.确定最佳工艺条件为:CrO3 6 g/L,H3PO4 2 mL/L,H2SO4 2 mL/L,H3NO3 3 mL/L,温度25℃,pH 1.5,钝化时间100s.所得钝化膜为光亮的绿色,耐蚀性较镀锌层好.

关键词: 镀锌层 , 钝化 , 绿色 , 耐蚀性

铝合金镀锌绿色钝化工艺的改进

熊老伍

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2003.02.006

所介绍的工艺与常规五酸绿色钝化工艺比较,可明显提高镀锌绿色钝化膜的导电性能,并相应地获得良好的电磁屏蔽镀层,能满足较高级别的电磁屏蔽要求.介绍了改进后的工艺配方及铝合金生产工艺过程,讨论了钝化工艺各组份和操作条件对膜层质量的影响以及钝化膜的某些特性,特别是屏蔽性能,并指出了本工艺的不足之处.

关键词: 绿色 , 钝化 , 电磁屏蔽

镀锌层绿色无铬钝化剂的研究

王胜楠 , 石磊 , 叶婧雅 , 周超 , 王雪 , 王鑫鑫

电镀与涂饰

开发了一种无铬绿色钝化剂,通过单因素试验和正交试验研究了钝化剂的组成(包括硝酸镍、钼酸钠、丙二酸、亚硫酸钠和柠檬酸钠的用量)对钝化膜外观与腐蚀电流的影响,获得了较优的钝化剂配方为:硝酸镍15 g/L,钼酸钠20 g/L,丙二酸12 g/L,亚硫酸钠10 g/L,柠檬酸钠14 g/L。Q235钢碱性锌酸盐镀锌试样在pH为2.0~2.5、温度25~30°C的此钝化剂中钝化20~25 s,得到的钝化膜平整致密,呈绿色,该钝化膜在(50±5) g/L的NaCl溶液中浸泡,出现白锈和红锈的时间为16 h和72 h,具有较好的耐蚀性。

关键词: 镀锌层 , 无铬钝化剂 , 绿色 , 耐蚀性

离子交换法除去六价铬绿色钝化液中的金属杂质

张小勇 , 韩秀台 , 张雄 , 高长奇 , 刘新伟 , 李艳娜 , 李丰 , 崔仲良

电镀与涂饰

采用离子交换法除去六价铬绿色钝化液中积累的金离子杂质(如Cr3+、Zn2+、Fe3+),从而延长了钝化液的使用寿命,减少了六价铬和总铬的排放量,可节约大量成本.

关键词: 绿色钝化 , 六价铬 , 金属杂质 , 离子交换法 , 阳离子树脂

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