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栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT电学特性的改善

田宗民 , 陈旭 , 谢振宇 , , 张文余 , 崔子巍 , 郭建 , 闵泰烨

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132806.0849

对低速沉积的栅极绝缘层和低速沉积的有源层的薄膜沉积条件进行了优化,设定4个实验条件,考察了不同条件下膜层的均匀性,TFT产品的开路电流(I.n)的整体分布规律以及均匀性,Ion的提升比例以及产品的阈值电压,确定条件二为最优条件.对比优化前后产品的栅极偏应力下TFT的转移曲线和高频信号下电容-电压曲线...

关键词: 栅极绝缘层 , 有源层 , 沉积条件优化 , 电学特性 , 改善

SiNx∶H薄膜沉积条件变更对TFT特性的影响

李婧 , , 谢振宇 , 阎长江 , 陈旭 , 闵泰烨

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132804.0547

利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx∶H和a-Si∶H薄膜.通过电学、光学、力学测试研究了SiNx∶H薄膜沉积条件对其界面性能的影响.研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界面态,严重影响器件的TFT特性.当SiH4和NH3气体流量比值为7∶15时,开关比(Ion/Ioff)可达3.24×1...

关键词: SiNx∶H界面态 , Si/N , 开关比 , TFT特性

火试法测定树脂

李小玲

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2010.04.015

采用样品与试剂混合, 直接在灰皿中进行熔融、灰吹,合粒用硝酸分解,火试法测定树脂.实验结果表明,该方法对测...

关键词: 火试 , 树脂 ,

氯化量测定方法的研究

宋裕华

黄金 doi:10.11792/hj20130520

氯化量的测定通常采用还原沉淀法,一般使用草酸作为还原剂,但在草酸还原

关键词: 氯化 , 测定方法 , 还原剂

火试法测定金锡合金含量

甘建壮 , 管有祥 , 李楷 , 李玲

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2008.04.008

研究了采用火试法直接测定金锡合金的含量.研究结果表明:方法对...

关键词: 分析化学 , 火试 , 锡合金 , 含量

火试重量法测定载

马丽军 , 陈永红 , 腾飞 , 芦新根

黄金 doi:10.11792/hj20131118

建立了样品焙烧处理—火试重量法测定载量;...

关键词: , , 火试 , 重量法

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