山口佳一
,
征矢野晃雅
,
島基之
影像科学与光化学
光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.
关键词:
光刻技术
,
纳米器件
,
分辨力增强
,
光刻胶材料
许雪芬
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.06.011
找到了双模场中Susskind-Glogower相算符eiφ态矢|(S),q〉的对偶本征矢|(S),q〉*,运用围道积分证明了|(S),q〉*是e-iφ和光子数差算符的共同本征矢.研究了|(S),q〉*的性质,结果是|(S),q〉*及其对偶〈(S),q |构成围道积分形式的完备性,给出了双模场的相态表象.
关键词:
量子光学
,
对偶本征矢
,
相算符
,
围道积分
裴曦
,
曹瑞芬
,
景佳
,
程梦云
,
郑华庆
,
李佳
,
黄善清
,
李贵
,
宋钢
,
汪卫华
,
吴宜灿
,
FDS团队
原子核物理评论
由于子野分割带来的误差,使得调强放疗(Intensity-Modulated Radiation Therapy,简称IMRT)计划系统所制作的计划往往不能满足临床要求.本研究将采用基于共轭梯度法的子野权重优化方法来减小此误差,提高制作计划的效率和效果.采用共轭梯度法优化子野权重和微调子野形状,最终使得子野分割前后强度误差最小.在精确放疗系统中对常见的临床病例(鼻咽癌和周围性肺癌)进行测试,通过对比靶区和危及器官的剂量体积直方图以及CT片上的等剂量线,发现子野权重优化后靶区的平均剂量分别从87.0%提高到100.2%和从90.0%提高到98.4%,更好地满足临床要求.
关键词:
调强放疗
,
共轭梯度法
,
精确放疗系统
,
子野权重优化
李国辉
,
雷云逸
,
徐得名
,
周世平
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.01.010
解析设计控制器,通过配置相应的李雅谱诺夫指数,使统一混沌系统趋于预期点.由于受控后系统李雅谱诺夫指数具有先知性,因此,我们可以根据需要改变李雅谱诺夫指数的大小来控制系统收敛速度.设计还表明,受控的统一混沌系统的收敛情况与参数无关.
关键词:
量子光学
,
统一混沌系统
,
李雅谱诺夫指数
,
控制混沌
,
Jacobi矩阵
杨鑫
,
胡菊菊
,
嵇英华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.04.014
应用李雅普诺夫控制理论,对含约瑟夫森结电荷量子比特系统的状态实施了有效调控.数值仿真表明:对超导电荷量子比特系统,采用基于偏差的李雅普诺夫控制方法,不管是间接还是直接调控形式,选取适当的控制幅度可以达到对量子系统的调控目的;并且增大控制幅度,得到的控制函数曲线更平滑,完成控制任务需要的时间越短.这种控制方法避免了传统控制方法所需要的复杂的迭代计算,可以确保量子系统的稳定.因此,李雅普诺夫方法是一种具有一定实用意义的调控方法.
关键词:
量子控制
,
超导量子比特
,
李雅普诺夫方法
,
约瑟夫森结
崔宏青
,
宋玉龙
,
刘绍锦
,
张俊瑞
,
冯亚云
,
凌志华
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.02.003
从Oseen-Frank弹性连续体理论出发,用有限差分和张弛法详细地介绍了求解三维液晶指向矢的方法,并给出程序流程图,程序运行过程中发现具有速度快、稳定性好、精确度高的特点,适合于求解复杂的液晶结构.文章最后基于此方法针对LCoS中指向矢的分布进行了简单的模拟, 给出了两相邻显示像素的指向矢分布图形,网格划分为50×50×20个节点,在Pentium 4, 2.8 GHz的计算机上求解需564.36 s.
关键词:
液晶
,
指向矢
,
欧拉-拉格朗日方程
,
LCoS
赵祥杰
,
骆永全
,
罗飞
,
张大勇
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.03.010
激光诱导液晶指向矢转动的物理过程由欧拉-拉格朗日方程描述,激光在液晶中的传输则由麦克斯韦方程描述,在几何光学近似条件下可以利用几何光学光线传输方程来描述.通过对这对耦合的微分方程组进行数值求解,研究了激光诱导液晶指向矢转动的物理机制,讨论了激光诱导液晶指向矢转动的阈值问题,比较了不同液晶盒几何参数与不同入射激光初始偏振状态对液晶指向矢转动的影响.此外,还研究了强激光在液晶中传输时指向矢转动对激光偏振态的影响.
关键词:
指向矢转动
,
阈值光强
,
液晶非线性
,
位相延迟
