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ZnS晶体的化学气相沉积生长

杨曜源 , 李卫 , 张力强 , 蔡以超 , 王向阳 , 肖红涛 , 田鸿昌 , 东艳萍 , , 郝永亮

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.020

本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素.结果表明:选用固体硫作原料,用化学气相沉积方法,可以沉积出透明ZnS多晶体;它的透过性能极其优异,在6.2μm处无吸收峰,在中、长波红外透过率可达70%以上.

关键词: 化学气相沉积法 , 硫化锌 , 红外材料

工艺参数对CVD ZnS沉积速率的影响

杨曜源 , 蔡以超 , 东艳苹 , 张力强 , 王向阳 , 肖红涛 , 田鸿昌 , 李卫 , 郝永亮 ,

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.026

本文报道了CVD法制备ZnS晶体的制备工艺,系统地研究了气体流量、工作气压、基板温度等主要工艺参数对沉积速率的影响规律.实验表明,随着H2S(s)/Zn摩尔流量比的增加,沉积速率逐渐增大;基板温度升高,沉积速率加快;工作气压增大,沉积速率变化不大.在本实验研究的条件下认为,采用合适的H2S(s)/Zn摩尔流量比和沉积温度,在较低的工作气压下生长晶体,能保证较稳定的沉积速率,生长出高质量的晶体.

关键词: 红外材料 , ZnS , CVD , 沉积速率

用化学气相沉积法制备红外体块晶体ZnS

闫泽武 , 王和明 , 蔡以超 , 杨耀源 , 东艳苹 , , 李楠 , 孙振宇 , 李洪生

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.01.006

本文报道了采用化学气相沉积法制备红外ZnS体块晶体的工艺及其性能.并用傅立叶红外光谱仪测试了材料的红外性能,研究了晶体缺陷对材料红外透过率的影响.结果表明:通过优化生长工艺,使反应室的压力在500~1000Pa之间变化,沉积温度控制在550~650℃之间,可以制备出厚度均匀,红外透过率(3-5μm和8~12μm)在70%以上,尺寸达250mm×250mm×15mm高质量的ZnS体块晶体.

关键词: 硫化锌 , 化学气相沉积法 , 红外性能 , 红外晶体

Cr:LiSAF可调谐激光晶体的生长及应用

, 黄朝恩 , 师瑞泽 , 宋英兰 , 阎泽武 , 刘有臣 , 胡永岚

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2000.01.001

本文报道了高质量Cr:LiSrAlF6(简称Cr:LiSAF)晶体的软坩埚下降法生长及其激光特性.采用"固相反应"氟化法处理原料,能有效的去除原料中的氧化物成分和水,得到可用于晶体生长的纯净原料;用厚度仅为0.06~0.09mm的铂金软坩埚,温度梯度控制在20℃/cm以下,用低速率的坩埚下降法生长出尺寸达φ20×130mm的优质单晶,能实现1mol%~15mol%各种浓度的均匀掺杂.在闪光灯泵浦的条件下,该晶体脉冲激光输出能量为3.45J,晶体的储能密度达到2.46J/cm3,激光斜效率高达5.85%,点效率为3.32%.用488nm的单线氩离子泵浦Cr:LiSAF晶体,获得了脉冲宽度40fs、平均输出功率45mW的稳定自锁模脉冲序列.

关键词: 掺铬氟铝酸锶锂晶体 , 软坩埚 , 布里奇曼法 , 斜效率 , 自锁模

低压化学气相沉积法制备ZnSe多晶及其性能研究

周育先 , , 潘伟 , 杨曜源 , 张力强 , 王向阳 , 肖红涛

稀有金属材料与工程

以单质Zn,Se和H2为原料,采用低压化学气相沉积方法在温度为630℃~750℃,压力为300Pa~1000 Pa条件下制备出了性能优异的ZnSe多晶材料.性能测试表明,制备出的CVD ZnSe多晶材料在0.55 μm~22 μm,及8μm~14μm波段的平均透过率超过70%(1 mm厚),在3.39μm处的应力双折射为54 nm/cm.其光学透过性能与美国采用Zn和H2Se气体为原料制备出的CVD ZnSe多晶非常接近.

关键词: ZnSe , 红外 , 化学气相沉积 , CVD , 透过

Cr:iSrAlF6晶体生长及其性能表征

, 黄朝恩 , 师瑞泽 , 潘伟

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.028

本文报道了布里奇曼法生长的高品质Cr:iSrAlF6 晶体及其激光特性.采用固相氟化反应除去原料中的氧化物和水.在较小的温度梯度和较慢的生长速率下生长出的Cr:iSrAlF6晶体尺寸达到φ20mm×130mm.均匀的Cr3+掺杂浓度为1~15mol%.从XRD谱图计算出的Cr:iSAF晶体点阵参数为a=0.502nm,c=0.967nm.测试了晶体的吸收曲线,并分析了其吸收与能带结构的关系.实现了闪光灯泵浦的Cr:iSAF激光器运转,激光转换斜效率达到5.85%.

关键词: Cr:iSrAlF6晶体 , Bridgman法 , 闪光灯泵浦 , 斜效率

CVD法生长ZnSe的工艺分析

王向阳 , , 蔡以超 , 张力强 , 肖红涛

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.025

采用单质Se为原料(Zn-Se-H2-Ar体系)来生长CVD ZnSe,初步分析了这种工艺的机理,并详细分析了各种工艺参数对生长ZnSe的影响.这些工艺参数包括沉积腔的温度和压力,Zn坩埚和Se坩埚的温度,各路载流气体的流量.对这些工艺参数进行调整和精确控制,并控制好Zn蒸气和Se蒸气气嘴处的ZnSe生长形态,生长出了质量良好的ZnSe多晶体,透过率超过70%.

关键词: 化学气相沉积 , 硒化锌 , 工艺分析

Ti3SiC2/HAp陶瓷复合材料力学性能研究

石随林 , 潘伟 , , 房明浩

稀有金属材料与工程

以Ti3SiC2(10%~50%,体积分数)和HAp粉为原料,采用等离子体放电烧结(SPS)方法,在外加应力60 MPa,烧结温度1200℃条件下,制备了Ti3SiC2/HAp陶瓷复合材料.研究了Ti3SiC2含量对复合材料的硬度、抗弯强度、断裂韧性等力学性能的影响.实验结果表明,随Ti3SiC2含量的变化,复合材料的强度和韧性均得到了提高和改善.分析认为,Ti3SiC2材料的微观结构特征和增韧机制起到了重要作用.

关键词: Ti3SiC2/HAp , 复合材料 , 力学性能

不同制备工艺对ZnS光学性能的影响

, 潘伟 , 祝海峰 , 张力强 , 肖红涛 , 李子涛

稀有金属材料与工程

分别用真空热压、H2S模式的化学气相沉积以及S模式的化学气相沉积3种工艺方法制备了红外透过性能良好的ZnS材料.比较了不同的工艺过程对ZnS显微结构的影响,并且分析了不同制备方法形成的缺陷对光学性能的影响.探讨了热等静压工艺改善光学性能的原因和机理.透过谱图的测试表明,S模式的化学气相沉积法制备的ZnS具有最高的可见光至远红外的透过率.对3种方法制备的ZnS分别进行了热等静压后处理,发现对材料的光学透过性能都有不同程度的提高.

关键词: ZnS , 真空热压 , 化学气相沉积 , H2S模式 , S模式

Bridgman法生长Cr∶LiCAF晶体及其闪光灯泵浦性能

, 黄朝恩 , 徐川 , 宋英兰 , 胡永岚 , 师瑞泽

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.002

本文报道了用Bridgman法生长的优质大尺寸Cr∶LiCAF晶体及其闪光灯泵浦性能研究.晶体尺寸达φ10×120mm和φ20×100mm,光学质量优良.用氙灯泵浦φ4×70mm的Cr∶LiCAF激光棒,在注入能量为137J时,获得了1.84J的能量输出,测得晶体的斜效率为2.38%,无损耗效率为4.31%.

关键词: 掺铬氟铝酸钙锂晶体 , 激光晶体 , 布里奇曼法 , 闪光灯泵浦 , 激光性能

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