闻明
,
王一晴
,
管伟明
,
谭志龙
,
王传军
,
易伟
,
张俊敏
,
沈月
贵金属
采用表面机械研磨处理技术对Ag-Cu共晶合金进行了表面严重塑性变形处理。采用硬度、透射电镜(TEM)等手段对Ag-Cu共晶合合金结构演变进行了研究。研究表明,采用表面严重塑性变形方法获得了具有纳米表层的Ag-Cu共晶梯度结构,合金变形层厚度为~100μm,最表层纳米晶尺寸~10 nm。同时对其晶粒细化机制进行了讨论。
关键词:
材料表面与界面
,
Ag-Cu共晶合金
,
表面严重塑性变形
,
结构演变
程英亮
,
郑昌琼
,
尹光福
,
陈诗海
,
易伟
,
李伟
,
范鹏
,
胡文福
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2001.01.007
本研究着眼于用稀土对价格低廉的铁基自熔合金粉末进行改性,以提高其抗高温氧化性能。结果表明,稀土的添加大大提高了合金涂层的高温抗氧化性能,具有较大的应用前景。同时分析了稀土提高抗氧化性的机理,认为稀土的添加改变了合金氧化过程的扩散动力学,从而改变氧化膜的形貌与粘附性,提高抗氧化能力。单纯增加铁基合金中铬的含量对合金的抗氧化性影响不明显。
关键词:
稀土
,
铁基自熔合金
,
高温氧化
,
铬
张俊敏
,
闻明
,
谭志龙
,
王传军
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
李艳琼
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025
WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层.迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口.因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的 WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景.本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的 WTi10合金.利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量.结果表明,在温度1200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体.且混粉球磨时间对 WTi固溶体的峰位及峰强没有影响.但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富 Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99.48%,纯度>99.97%.采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备 WTi扩散阻挡层.以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据.
关键词:
扩散阻挡层
,
WTi
,
真空热压
,
相组成
,
微观结构
谭志龙
,
张俊敏
,
闻明
,
管伟明
,
沈月
,
易伟
,
王传军
贵金属
通过光学显微金相分析、XRD分析以及显微硬度测试等实验手段,研究Pt添加量为5%~60%的铸态Ni-Pt二元合金的显微组织与力学性能。实验结果表明,Pt质量分数在5%~60%的Ni-Pt二元合金铸态组织为NiPt单相固溶体,且Ni-Pt固溶体为置换型固溶体,其固溶强化主要由Pt原子固溶到Ni基体中产生晶格畸变所导致,各晶面间距d随铂质量分数呈线性增大的趋势,显微硬度随Pt质量分数的增加而增大,且满足:Hv=2.10×Pt%+85.04的线性数学表达式;铸态组织的柱状晶区的柱状晶随铂质量分数的增加向等轴晶和树枝晶发展,晶粒尺寸得到细化。当Pt质量分数达到6%时,铸态组织表现为发达的树枝晶,存在铸造裂纹。
关键词:
Ni-Pt二元合金
,
铸态显微组织结构
,
力学性能
胡文富
,
易伟
,
尹光福
,
郑昌琼
,
范鹏
,
陈诗海
,
李伟
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2003.05.016
通过熔炼-雾化工艺制备了稀土铁基自熔合金粉末,并考察了稀土对铁基自熔合金喷焊层的显微组织及其在弱酸、中性盐溶液中耐蚀性能的影响.采用金相显微镜、SEM、EDAX对合金喷焊层的物相结构、显微组织进行了观察和分析.在实验结果的基础上,对稀土的有关作用机制进行了分析和讨论.
关键词:
稀土
,
铁基自熔合金
,
显微组织
,
耐蚀性
王传军
,
闻明
,
张俊敏
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
谭志龙
贵金属
镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料。悁究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义。采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材。使用金相显微镜(OM),扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)观察并分析了磁控溅射前后靶材表面的形貌及结构。结果表明,采用热轧-热处理制备的靶材晶粒粗大但均匀,平均晶粒尺寸约为100μm;采用温轧-热处理制备的靶材细小但不均匀,平均晶粒尺寸约为50μm。溅射后的靶材形貌与晶粒尺寸和分布息息相关。
关键词:
金属材料
,
NiPt合金
,
形貌
,
结构
,
靶材
,
晶粒尺寸
张俊敏
,
谭志龙
,
王传军
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
闻明
贵金属
垂直磁化用钴系合金已成为磁记录靶材开发的主流方向之一。用行星球磨的方式对Co、Cr、Pt、SiO2粉末进行预处理及混合,用真空热恪法对粉末进行成型,制备得到Co68Cr10Pt14-SiO2合金。利用X射线衍射仪、金相、扫描电子显微镜和磁透率测试仪对混合粉末进行分析表征。结果表明,制备得到的CoCrPt-SiO2合金由高温相面心立方固溶体(α-Co)、低温相密排六方固溶体(ε-Co)及SiO2颗粒3相组成;Cr和Pt在钴合金中主要以固溶的形式存在;由于高恪条件的诱导,SiO2在真空热恪前后发生了从非晶态到晶态的相变。制备得到的 Co68Cr10Pt14-SiO2合金中,SiO2颗粒平均尺寸为2.3μm (0.5~9.29μm),密度达到理论密度的97.75%,PTF值为54.44%。所得合金可用于磁控溅射制备CoCrPt-SiO2磁记录层。
关键词:
磁性材料
,
CoCrPt-SiO2
,
真空热恪
,
相组成
,
微观结构