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新型光刻技术的现状与进展

杨向荣 , 张明 , 王晓临 ,

材料导报

大尺寸、细线宽、高精度、高效率、低成本成为IC产品发展的趋势,随着集成度的提高,芯片制造中最关键的制造工艺--光刻技术也面临着愈来愈多的难题.新兴的193 nm浸入式技术、157 nm极短紫外光刻(Euv)、电子束投影光刻(EPL)、纳米压印光刻等技术将是解决这些问题的关键.介绍了193nm浸入式技术、157nm光刻技术、电子束投影(EPL)光刻技术以及纳米压印光刻技术.指出纳米压印光刻技术具有生产效率高、成本低、工艺过程简单等优点,能实现分辨率达5 nm以下的水平,是最具发展前途的下一代光刻技术之一.

关键词: 光刻 , 光源 , 曝光

家埠金矿缓倾斜薄矿体回采实践

滕建军 , 何顺斌 , 李威 , 张益岭

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2008.02.007

针对家埠金矿缓倾斜薄矿体,概述分析了其采矿方法的演变过程和存在问题;介绍了适合该类型矿体回采的小进路全面采矿法和短壁式崩落采矿法的试验应用情况,试验取得了较好的技术经济效果,为推广应用奠定了基础.

关键词: 缓倾斜 , 薄矿体 , 采矿方法

岩温对家洼金矿深部开采热环境的影响

赵小稚 , 崔嵛 , 王敬志

黄金 doi:10.11792/hj20140608

家洼金矿小尹格庄矿段已进入深部开采,岩温是影响采场热环境的主要热源;根据热传导理论分析,采用浅孔测量岩温的方法合理可行,通过测量得出了家洼金矿岩温随深度变化的规律;在此基础上,计算分析了岩温对井下风流温度升高的作用,认为该矿深部开采存在一定程度的热害,热环境有进一步恶化的趋势,需加强通风降温措施,切实改善井下作业环境。

关键词: 深部开采 , 岩体温度 , 热环境 , 热害

远程控制自动风门在家洼金矿的应用

王敬志 , 李念占 , 张朋伟 , 王永志

黄金 doi:10.11792/hj20160911

家洼金矿井下的主要进风巷、主回风巷绝大部分都是井下运输的主要通道。因井下通风的需要,需在这些巷道设置风门,进行风量调节、阻断风流。以远程控制自动风门为研究载体,从安全、生产、设备方面进行探索,重点分析远程控制自动风门在家洼金矿开采中的应用。生产实践表明:该远程控制自动风门系统降低了作业强度,降低了生产成本,提高了安全性,可为同类型矿山提供借鉴经验。

关键词: 家洼金矿 , 通风系统 , 远程控制 , 自动风门 , 安全生产

家洼金矿小尹格庄矿区综合信息研究与成矿靶区预测

王慧 , 丛培章

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2004.11.005

通过运用矿体空间分布规律即主构造控矿律、对应产出律等,结合地球物理、地球化学探矿信息进行找矿靶区预测,在家洼金矿小尹格庄矿区找矿取得了显著效果.

关键词: 综合信息 , 成矿预测 , 家洼金矿

富锌涂料在娥江大闸钢结构上的防腐蚀试验研究

孙红尧 , 徐青松 , 林军 , 徐雪峰 , 黄国泓 , 马春波

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2007.11.007

根据娥江大闸的环境特点,对不同厂家的7种富锌涂料进行了近2年的浪溅区、潮差区和大气区的室外暴露试验和近10500 h的盐雾试验、盐水周期性浸泡试验和盐水浸泡试验的室内试验研究,得出几点结论:不同厂家的富锌涂料由于配方不同可能存在性能差异,有时差异程度可能很大;高锌粉含量的有机富锌涂料防腐蚀性能最优,低锌粉含量的环氧富锌涂料防腐蚀性能最差;设计部门或工程业主在设计富锌涂料做底涂时最好委托有关部门做前期防腐蚀试验论证.

关键词: 富锌涂料 , 水闸 , 户外暴露腐蚀试验 , 室内腐蚀试验

小分段水平分条胶结充填连续采矿法在家洼金矿的应用

赵小稚 , 景宏祥 , 徐振军

黄金

为了提高家洼金矿缓倾斜、中厚矿体的矿块生产能力和安全生产水平,研究提出了小分段水平分条胶结充填连续采矿法.该采矿法将中段再划分为小分段,分段中在矿体厚度上水平分条,不留矿柱,分条作为最小回采单元;分条采毕随即胶结充填.经采用灰色关联法进行综合评价和生产实践表明,小分段水平分条胶结充填连续采矿法具有高效、安全、低“贫损”的特点,收到了良好的应用效果.

关键词: 缓倾斜 , 中厚矿体 , 水平分条 , 胶结充填 , 连续采矿 , 灰色关联法

轧制60 kg/m高精度重轨半能和全能成品孔的研究

王艳敏 , 吴迪 , 赵宪明 , 周剑华

钢铁研究学报

对重轨能轧制法中,使用半能成品孔和全能成品孔轧制高精度重轨产品尺寸和形状精度进行了分析研究,对两者轧制高精度重轨进行了实验对比.并借助有限元分析软件ANSYS/LS-DYNA,对采用全能成品孔轧制60 kg/m高精度重轨的变形情况进行了模拟,验证了全能成品孔型的可行性.结果表明,轧制高精度重轨的最好方法是使用全能成品孔.

关键词: 高精度重轨 , 高精度轧制 , 能轧制 , 成品孔型

轧制60 kg/m高精度重轨半能和全能成品孔的研究

王艳敏 , 吴迪 , 赵宪明 , 周剑华

钢铁研究学报

对重轨能轧制法中,使用半能成品孔和全能成品孔轧制高精度重轨产品尺寸和形状精度进行了分析研究,对两者轧制高精度重轨进行了实验对比。并借助有限元分析软件ANSYS/LSDYNA,对采用全能成品孔轧制60 kg/m高精度重轨的变形情况进行了模拟,验证了全能成品孔型的可行性。结果表明,轧制高精度重轨的最好方法是使用全能成品孔。

关键词: 高精度重轨;高精度轧制;能轧制;成品孔型

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