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低压下碱性铜抛光液对300mm多层铜布线平坦化的研究

随着微电子技术进一步发展,低k介质的引入使得铜的化学机械平坦化（CMP）须在低压下进行。提出了一种新型碱性铜抛光液,其不含常用的腐蚀抑制剂,并研究了其在低压下抛光及平坦化性能。静态条件下,铜的腐蚀速率较低仅为2nm/min。在低压10.34kPa时,铜的平均去除速率可达633.3nm/min,片内非均匀性（WIWNU）为2.44%。平坦化效率较高,8层铜布线平坦化结果表明,60s即可消去约794.6nm的高低差,且抛光后表面粗糙度低（0.178nm）,表面状态好,结果表明此抛光液可用于多层铜布线的平坦化。

关键词: 低压 , 碱性 , 铜布线化学机械平坦化 , 高低差 , 速率

CeO2掺杂ZnO厚膜的制备及气敏性能的研究

曹冠龙 , 潘国峰 , 何平 , 齐景爱 , 刘伟 , 郑伟艳

功能材料

采用sol-gel法制备ZnO及CeO2掺杂量分别为6％、7％和8％(质量分数)的ZnO粉体.通过XRD、SEM对材料的表面形貌和结构进行表征.研究了掺杂量对粉体制备的影响.采用静态配气法对该粉体制成的气敏元件进行测试,结果表明,在工作温度仅为85℃的条件下,7％(质量分数)CeO2-ZnO气敏传感器对饱和丙酮蒸汽的灵敏度最高达9634,响应时间为3s,恢复时间为2s;在较低浓度2.0×10-4时灵敏度也可达30左右.并对丙酮气敏传感器的气敏机理进行了进一步探讨.

关键词: CeO2 , ZnO , 紫外线 , 丙酮 , 气敏

曹家埠金矿缓倾斜薄矿体回采实践

滕建军 , 何顺斌 , 李威 , 张益岭

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2008.02.007

针对曹家埠金矿缓倾斜薄矿体,概述分析了其采矿方法的演变过程和存在问题;介绍了适合该类型矿体回采的小进路全面采矿法和短壁式崩落采矿法的试验应用情况,试验取得了较好的技术经济效果,为推广应用奠定了基础.

关键词: 缓倾斜 , 薄矿体 , 采矿方法

带冠涡轮不同维耦合数值模拟研究

王鹏 , 邹正平 , 邵飞 , 刘火星

工程热物理学报

不同维耦合数值模拟对带冠涡轮的设计评估具有重要意义,能够兼顾计算效率和计算精度进而缩短工程设计周期.本文建立了考虑质量、动量、能量等关键特征且能够预测泄漏流的二维分布特征的叶冠流动低维模型,并对进口腔流动进行了针对模化.基于该模型开展了带冠涡轮多维耦合计算研究,对提出的模型和方法进行了校验.结果表明发展的叶冠模型及在其基础上的多维耦合计算方法能够对带冠涡轮流场和性能进行合理的预测.

关键词: 复杂流动系统 , 多维耦合 , 维数缩放 , 带冠涡轮 , 低维模型

龙脖河铜矿龙达矿段地质特征及资源／储量估算

江训普 , 黄德镛 , 陈雷 , 钟彩彩

黄金 doi:10.11792/hj20160306

龙脖河铜矿龙达矿段Ⅲ1－4号矿群共有5个矿体。通过研究龙达矿段的地质特征，基本查明了Ⅲ1－4号矿群5个矿体的形态、产状、空间位置及厚度、品位的变化情况；基于地质块段法在探矿区范围内对Ⅲ1－4号矿群进行了资源／储量的估算，获得了5个铜矿体332＋333总金属量18559．57 t，为龙脖河铜矿今后的进一步资源开发规划提供了依据。

关键词: 地质特征 , Ⅲ1-4号矿群 , 资源/储量 , 估算 , 龙脖河铜矿龙达矿段

龙塘金矿堆浸工艺特点

巫汉泉 , 林源

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2002.10.010

介绍了龙塘金矿多层堆浸的大规模、永久性堆浸场、采用一堆多区、交叉喷淋、逆流浸出、二次吸附和无氰解吸工艺的特点,及生产中取得的技术经济指标.

关键词: 堆浸 , 喷淋 , 工艺特点 , 指标

岩温对曹家洼金矿深部开采热环境的影响

赵小稚 , 崔嵛 , 王敬志

黄金 doi:10.11792/hj20140608

曹家洼金矿小尹格庄矿段已进入深部开采，岩温是影响采场热环境的主要热源；根据热传导理论分析，采用浅孔测量岩温的方法合理可行，通过测量得出了曹家洼金矿岩温随深度变化的规律；在此基础上，计算分析了岩温对井下风流温度升高的作用，认为该矿深部开采存在一定程度的热害，热环境有进一步恶化的趋势，需加强通风降温措施，切实改善井下作业环境。

关键词: 深部开采 , 岩体温度 , 热环境 , 热害

远程控制自动风门在曹家洼金矿的应用

王敬志 , 李念占 , 张朋伟 , 王永志

黄金 doi:10.11792/hj20160911

曹家洼金矿井下的主要进风巷、主回风巷绝大部分都是井下运输的主要通道。因井下通风的需要，需在这些巷道设置风门，进行风量调节、阻断风流。以远程控制自动风门为研究载体，从安全、生产、设备方面进行探索，重点分析远程控制自动风门在曹家洼金矿开采中的应用。生产实践表明：该远程控制自动风门系统降低了作业强度，降低了生产成本，提高了安全性，可为同类型矿山提供借鉴经验。

关键词: 曹家洼金矿 , 通风系统 , 远程控制 , 自动风门 , 安全生产

镍铬合金烤瓷冠拆除件的腐蚀研究

李志革 , 樊灿灿 , 冯志远 , 刘斌

腐蚀学报（英文）

收集了临床中拆除的镍铬合金烤瓷冠,按佩戴年限分为1年组、2年组、34年组、5～9年组、10年以上组,并设立对照组.采用接触角仪测定各组试样的接触角,利用电化学工作站测试电化学腐蚀曲线,应用扫描电镜观察试样表面腐蚀形貌,并进行统计学分析.结果表明,1年组试样腐蚀电位及腐蚀电流密度相对较小,2年组试样腐蚀电位和腐蚀电流密度增加并显著高于其它组,3～5年组、5～10年组、10年以上组试样腐蚀电位及腐蚀电流密度相对2年组逐渐减小,这种变化趋势与接触角测试结果一致.随佩戴年限的增加,镍铬烤瓷内冠的腐蚀程度越来越严重,即镍铬合金烤瓷冠在口腔内存在腐蚀,且佩戴2年左右时腐蚀速度最快,腐蚀程度随年限增加累积.因此,口腔临床中应采取积极的措施预防镍铬合金烤瓷冠的早期腐蚀.

关键词: 镍铬合金 , 烤瓷冠 , 电化学腐蚀 , 扫描电镜