杨帆
,
费维栋
,
李伟力
,
高忠民
,
蒋建清
功能材料
使用溶胶凝胶法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力.研究表明溶胶凝胶薄膜在600℃退火30min后完全晶化,组织结构均匀.不同工艺下制备的薄膜均受残余拉应力,随着退火温度及退火时间的延长,薄膜中的残余应力逐渐增大,而随着薄膜厚度的增加,残余应力先增大然后减小.
关键词:
溶胶凝胶法
,
X射线衍射
,
残余应力
,
退火
李伟力
,
孙跃
,
郑馥
,
费维栋
金属学报
利用原子力显微镜和掠入射X射线散射技术研究了6061Al合金等离子体离子注氮表面的粗糙度和标度行为.研究结果指出,注氮初期,表面粗糙度逐渐下降;当离子注入时间较长时,表面粗糙度随注入时间的延长而逐渐增加;在远离平衡的条件下,材料的形成机制可通过分形理论进行研究.长时间离子注氮表面具有明显的分形特征,利用所得到的静态标度指数、生长指数和动态标度指数讨论了6061 Al合金离子注氮表面的标度行为.
关键词:
6061Al合金
,
null
杨帆
,
孙跃
,
李伟力
,
费维栋
功能材料
利用RF磁控溅射法制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜,利用X射线衍射(XRD)法研究了薄膜的相组成及溅射工艺参数对薄膜织构的影响.结果表明,在小靶基距时,过高溅射功率不利于获得纯钙钛矿相的PZT铁电薄膜.溅射功率及溅射气压影响PZT薄膜的织构及其织构散漫度,提高溅射气压及溅射功率,(111)织构漫散度随之提高.在靶基距为80mm时,选择150w、0.7Pa的溅射工艺可获得具有最佳(100)织构的PZT薄膜.
关键词:
磁控溅射
,
Pb(Zr,Ti)O3薄膜
,
织构
李伟力
,
郑晓航
,
周庚衡
,
薛宗伟
材料科学与工艺
为了揭示偏压对溅射态Fe-N薄膜磁学行为的影响规律及机理,采用直流磁控溅射工艺在不同偏压下制备了Fe-N薄膜.利用掠入射X射线衍射、小角X射线散射技术和振动样品磁强计研究了薄膜的相结构、厚度、表面粗糙度以及磁性能.结果表明,增加偏压有利于薄膜中非晶的形成,且随着偏压的增大,薄膜的厚度增加,表面粗糙度降低.Fe-N薄膜的磁性能表明,随着偏压的增加,薄膜的饱和磁化强度和矫顽力均有不同程度的减小.偏压的增加导致Fe-N薄膜由晶态向非晶态转变,从而引起磁性能的改变.
关键词:
Fe-N薄膜
,
偏压
,
膜厚
,
表面粗糙度
,
磁性能
李伟力
,
孙跃
,
郑馥
,
费维栋
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.07.015
利用原子力显微镜和掠入射X射线散射技术研究了6061Al合金等离子体离子注氮表面的粗糙度和标度行为.研究结果指出,注氮初期,表面粗糙度逐渐下降;当离子注入时间较长时,表面粗糙度随注入时间的延长而逐渐增加;在远离平衡的条件下,材料的形成机制可通过分形理论进行研究.长时间离子注氮表面具有明显的分形特征,利用所得到的静态标度指数、生长指数和动态标度指数讨论了6061 Al合金离子注氮表面的标度行为.
关键词:
6061Al合金
,
等离子体基离子注入
,
粗糙度
,
动态标度
