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离子束溅射沉积Fe/Si多层膜法合成β-FeSi2薄膜的研究

张娟 , 沈鸿烈 , 鲁林峰 , 唐正霞 , 江丰 , 李斌 , 刘恋慈 , 沈洲

功能材料

采用离子束溅射沉积Fe/Si多层膜的方法在石英衬底上制备了β-FeSi2薄膜,研究了不同厚度比的Fe/Si多层膜对β-FeSi2薄膜的结构性能、形貌及光学性能的影响.结果表明,厚度比为Fe(2nm)/Si(7.4nm)的多层膜在退火后完全生成了β-FeSi2相,表面致密均匀,其光学带隙为0.84eV,能量为1.0eV光子的吸收系数>105cm-1.

关键词: β-FeSi2 , 离子束溅射沉积 , Fe/Si多层膜 , 石英衬底

Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

鲁林峰 , 沈鸿烈 , 张娟 , 江丰 , 李斌 , 沈洲 , 刘恋慈

人工晶体学报

采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜.多层膜的总厚度为252 nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1 nm/3.2 nm、2 nm/6.4 nm和20 nm/64 nm.在850 ℃, Ar气气氛中退火2 h后,Si衬底上的多层膜完全生成了β-FeSi2相.但石英衬底上同样Fe/Si亚层厚度比的多层膜除了生成β-FeSi2相,还生成了少量的ε-FeSi相.通过增加Si亚层的厚度至Fe/Si亚层厚度比为2 nm/7.0 nm,在石英衬底上也获得了单相的β-FeSi2薄膜, 其光学带隙为0.87 eV,表面均方根粗糙度为2.34 nm.

关键词: β-FeSi2薄膜 , 石英衬底 , 亚层厚度比 , 多层膜

溶胶-凝胶法生长(002)高度择优取向的ZnO:Al薄膜

尹玉刚 , 沈鸿烈 , 楼晓波 , 李斌 , 高超

功能材料

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了高度择优取向的ZnO:Al薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别对薄膜结构和形貌进行了表征,用紫外-可见透射光谱和四探针研究了薄膜的光电性能.结果表明:制备的ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的c轴择优取向;Al离子的掺杂浓度和退火温度对薄膜的结构、光电性能有一定的影响,薄膜在可见光区的光透过率为80%~95%;Al的掺杂浓度为1%样品在600℃下空气中退火1h后,薄膜最低的电阻率为7.5×10-2Ω·cm.

关键词: ZnO薄膜 , c轴择优取向 , 溶胶-凝胶法 , 光透过率

污泥重金属在熟料中的固化及对易烧性和矿物组成的影响

朱玮杰 , 范海宏 , 李斌 , 李雯 , 杨康

硅酸盐通报

本文通过采用原子吸收法检测分析污泥中的重金属在污泥干化和水泥熟料形成过程中的挥发与固化特性,通过测定各组熟料的f-CaO含量、XRD,研究了污泥掺入对生料易烧性和水泥熟料矿物组成的影响.结果表明:污泥在300℃的低温下干化,Hg的挥发率达到67%,而其它重金属基本不挥发;煅烧过程可以将原料中62.38%的Pb,59.53%的Cr,61.3%的Cd和64.24%的As固化在水泥熟料中;污泥的加入,能够改变水泥熟料的晶格结构,改善水泥生料的易烧性;污泥对水泥熟料的矿物组成影响不大.

关键词: 污泥 , 重金属 , 固化率 , 易烧性 , 矿物组成

污泥干燥及气体释放特性研究

李斌 , 范海宏 , 杨爱武 , 朱玮杰 , 杨康

硅酸盐通报

采用污泥薄片模拟分散态污泥干化过程,研究了干化风速、温度对污泥干燥速率的影响,并分析了污泥干燥过程中的形貌变化,采用热红联用分析污泥在(35~700℃)干化过程中气体的释放情况.结果表明:污泥干燥过程中的自由水、空隙水和吸附水干燥速率不同,提高干燥温度和热风风速,污泥干燥速率增大;污泥体积的收缩主要由于自由水的蒸发,粘滞区的存在是由于自由水蒸发完毕而引起干燥速率发生突变;污泥升温过程中释放的气体主要有C02、H2O、NH3、VFA及庚烷,273.75~333.76℃的温度区间为失重速率最大区域;VFA在273.75℃释放量最大,庚烷在333.76℃释放量最大.

关键词: 污泥 , 干燥速率 , 表观变化 , 污染气体

利用TG-FTIR系统研究氧气浓度对污泥干化焚烧的影响

范海宏 , 王为民 , 李斌 , 杨爱武

硅酸盐通报

利用TG-FTIR系统,分析了污泥在升温过程中的质量变化,以及氧气浓度对失重过程和气体释放的影响.研究结果表明:污泥的失重过程可分为四个阶段,即水分蒸发-有机质挥发和分解-有机质分解和燃烧-碳燃烧;氧气浓度越大,有机质挥发和分解速率越大;本次实验中氧气浓度为17.65%的气氛下,污泥中有机质能够完全分解或燃烧,释放的气体量最大;在氧气浓度为6.67%和12.65%的气氛下,污泥中的部分有机物并不能完全分解和燃烧.

关键词: TG-FTIR , 干化焚烧 , 失重

利用水泥窑尾系统处理污泥的热工分析

范海宏 , 马增 , 李斌 , 武亚磊

硅酸盐通报

为分析污泥对水泥窑尾热工系统的影响,本文将水泥窑尾预热预分解系统划分为5个热工系统,建立了热量衡算方程.利用所建立方程,分析了污泥含水率、热值和掺量对窑尾系统热工参数的影响.提出了临界含水率和临界热值的概念,并得到不同污泥所对应的临界含水率和临界热值;含水率低于临界含水率的污泥,热值和掺量越大,系统各级温度变化率越大,能够节约的煤量也越大.热值大于临界热值的污泥,含水率越小,系统各级温度变化率越大,能够节约的煤耗也越大.

关键词: 污泥 , 水泥 , 热量衡算 , 煤耗

Al-TiO2-B系热扩散反应法合成铝基复合材料基体组织的细化机理

朱和国 , 王恒志 , 吴申庆 , 沈光骏 , 李斌

金属学报

研究了Al-TiO2-B反应系热扩散反应(XD)法合成铝基复合材料基体组织的细化机理.实验结果表明,在Al-TiO2系中未加硼粉时,反应产物Al3Ti呈细长棒状,并可贯穿基体晶粒,Al2O3为细小颗粒偏聚于基体的晶界,铝基体晶粒粗大.当Al-TiO2系中加入硼粉后,棒状物Al3Ti减少,当B/TiO2摩尔比rB/TiO2为2时,Al3Ti基本消失,B与Al3Ti反应产生的TiB2成为铝基体结晶时的核心,基体晶粒细化,Al2O3呈均匀分布.

关键词: 热扩散反应 , null , null , null

热丝CVD法低温制备的多晶硅薄膜质量对衬底依赖性的研究

张磊 , 沈鸿烈 , 黄海宾 , 岳之浩 , 李斌

功能材料

以SiH4和H2作为反应气体,采用HWCVD的方法分别在石英玻璃、AZO、Si(100)和Si(111)衬底上制备了多晶硅薄膜。利用X射线衍射(XRD),拉曼(Raman)光谱和傅里叶红外(FT-IR)吸收光谱研究了不同衬底对多晶硅薄膜的择优取向、晶化率和应力的影响,用SEM观察了多晶硅薄膜的表面形貌。研究发现在4种衬底上生长的多晶硅薄膜均为(111)择优取向。单晶硅片对多晶硅薄膜有很强的诱导作用,并且Si(111)的诱导作用优于Si(100)的诱导作用。AZO对多晶硅薄膜生长也有一定的诱导作用。通过计算薄膜晶态比,得到除以石英为衬底的样品外,其它3种样品的晶态比均在90%以上,尤其以单晶硅片为衬底的样品更高。石英玻璃、AZO和Si(100)上生长的多晶硅薄膜中均存在压应力。

关键词: 热丝化学气相沉积 , 衬底诱导 , 多晶硅薄膜 , 结晶性

高能超声作用下金属基复合材料的制备

潘蕾 , 陈锋 , 吴申庆 , 朱和国 , 李斌 , 沈细荣

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2003.07.001

综述了高能超声复合法制备金属基复合材料的研究现状,包括高能超声复合法的原理、工艺、制备材料的种类及存在的问题,并展望其发展前景.

关键词: MMC , 高能超声 , 声空化 , 声流

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