袁长路
,
李杰
,
于旭东
,
束天和
,
汤平
,
程绪高
,
周伟
,
李留臣
人工晶体学报
本文主要介绍采用冷心放肩微量提拉法技术生长高质量大尺寸蓝宝石晶体的新型设备,由于晶体生长是在高温、高真空、籽晶升降与旋转平稳、晶体测重精准、功率稳定的状态下进行生长.所以我们配备了具有高冷却性能的腔体部件；大抽速,低反油率的高真空系统；无抖动、无爬行籽晶轴(俗称:籽晶热交换器)升降及旋转系统；高精度...
关键词:
蓝宝石
,
称重系统
,
KY泡生法
,
晶体生长炉
蒲红斌
,
陈治明
,
李留臣
,
封先锋
,
张群社
,
沃立民
,
黄媛媛
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.05.004
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究.分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则.模拟结果表明选取16匝...
关键词:
SiCGe
,
热壁CVD
,
感应加热
,
温度场
,
有限元
雷天民
,
胡永红
,
李红生
,
李留臣
,
封先锋
,
刘守智
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.022
以硫代乙酰胺、三乙醇胺、氯化亚锡和氨水作反应物,氯化铵作缓冲剂,采用化学浴法在玻璃衬底上沉积SnS薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等分析手段对样品进行了表征.XRD分析结果表明样品为斜方晶体结构的多晶SnS薄膜.SEM观察结果显示薄膜表面呈竹叶状多孔形貌,此结构有利于增加太阳...
关键词:
多孔
,
SnS
,
薄膜
,
化学浴
,
太阳电池
张群社
,
陈治明
,
李留臣
,
蒲红斌
,
封先锋
,
陈曦
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.04.025
本文采用有限元分析方法系统地研究了大尺寸SiC晶体PVT法生长装置中的加热组件不同的耦合间隙对生长系统中的感应磁场、感生电流和焦耳热的影响;分析比较了取不同的耦合间隙时系统达到热平衡状态所需时间的不同.得出了在中频电源的输出功率和频率都不变的前提下,在线圈匝数已固定的条件下,通过缩小耦合间隙可以提高...
关键词:
SiC
,
PVT法
,
磁矢势
,
焦耳热
张杰
,
倪屹
,
刘棋奇
,
马文成
,
李留臣
人工晶体学报
通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果.结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长...
关键词:
3DGF法
,
蓝宝石
,
数值模拟
,
有限元
张群社
,
陈治明
,
蒲红斌
,
李留臣
,
封先锋
,
巩泽龙
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.013
本文根据SiC晶体PVT生长炉的实际提出了生长系统温度场计算的流体力学模型,采用有限元法分析了生长腔内的热传导、辐射和对流对生长腔内和生长晶体中温度空间分布的影响.通过对生长腔内及生长晶体中温度瞬态和稳态分布的分析,得出在加热的初始阶段腔内气体对流对坩埚内的温度分布有较大影响,在系统热平衡后辐射对腔...
关键词:
SiC晶体
,
PVT法
,
流体力学模型
,
温度场
