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外吸除用硅片背面加工技术的研究

闵靖 , 邹子英 , 李积和 , 周子美 , 陈青松 , 陈一

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.05.006

用 SEM、TEM 和光学显微镜研究了硅片背面的机械损伤(包括软损伤)和多晶硅的晶格结构,以及热处理过程中晶格结构和缺陷的演化,探索了吸杂的机理.实验结果表明,用本技术能减少S坑密度,提高硅片产生寿命,对金、铜等金属杂质有吸杂的效果.

关键词: 机械损伤 , 软损伤 , 氧化诱生层错 , S坑缺陷 , 外吸除 , 内吸除

淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究

闵靖 , 邹子英 , 李积和 , 陈青松 , 周子美 , 陈一

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.016

在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用.本文提出了多晶硅持续吸杂的机理.

关键词: 多晶硅吸杂 , 内吸杂 , 增强吸杂 , 氧沉淀 , 氧化层错 , 洁净层

《金属学报》纪念李薰奖金基金简章

金属学报

<正> 一、为纪念李薰创办和主编《金属学报》,继承并发扬他毕生致力于科技进步的业绩,特设立《金属学报》纪念李薰奖金基金.二、基金来源是乐于赞助的科研单位、高等院校、企业、团体的捐赠.基金属于专款,全部存入银行,每年支取利息,直接用于奖励.

关键词:

载体对Ni基催化剂活性和抗积炭性能的影响

黎先财 , 胡全红 , 王燕 , 吴敏 , 何琲

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2009.05.009

考察了载体对催化剂的活性和抗积炭性能的影响;并测定了催化剂上的积炭量;运用CO2-TPD、TPR、XPS和XRD等测试技术对催化剂进行表征,并与催化剂的抗积炭性能相关联.研究发现以钛酸钡为载体的镍基催化剂,其活性与抗积炭能力均优于Ni/γ-Al2O3,且加入助剂La后,其活性与抗积炭能力显著提高.这与催化剂的表面酸碱性、载体与活性组分间的相互作用、氧空位以及载体的结构有关.

关键词: 重整 , 载体 , 催化剂 , 积炭

不同风积沙掺量对水泥砂浆流动度和强度的研究

董伟 , 申向东

硅酸盐通报

本文通过内掺法分别掺入0％、10％、20％、30％和40％质量的风积沙代替相同质量的河砂,配制风积沙砂浆.研究风积沙砂浆的流动度及7d、28 d、60 d的抗压强度,得出风积沙掺量为河砂的20％为最优掺量.在此掺量下,不仅能改善砂浆的流动度,而且可以提高基本力学性能.

关键词: 风积沙 , 内掺法 , 流动度 , 抗压强度

深切悼念本刊创刊人、主编李薰同志

金属学报

<正> 1983年3月20日凌晨,《金属学报》的创刊人、主编李薰同志和我们永别了。 李薰同志1913年11月20日出生于湖南省邵阳县。1937年以优异成绩通过湖南省试,留学英国Sheffield大学,先后获得哲学博士和冶金学的科学博士学位。1950年受中国科学院郭沫若院长聘,翌年毅然回归祖国。历任中国科学院金属研究所所长,中国科学院

关键词:

相同强塑积薄钢板抗弹性能和破坏形式的研究

肖红亮 , 时捷 , 雍岐龙

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2010.05.009

对抗拉强度在1000-2300 MPa范围内的3种相同强塑积薄钢板进行抗弹性能试验,观察弹击后弹坑的宏观形貌和金属流线变化,测量弹坑周边硬度,结合钢板的强度和塑性讨论钢板破坏形式对抗弹性能的影响.试验结果表明:由于塑性变形可以有效吸收弹丸的动能,钢板以塑性变形较大的盘形穿孔破坏时,相同强塑积钢板抗弹性能差异较小,强度和塑性共同影响钢板的抗弹性能;而钢板以塑性变形较小的冲塞破坏时,塑性的影响弱化,相同强塑积钢板中较高强度钢板的抗弹性能明显高于较低强度钢板.2300MPa钢板在弹丸未穿透时发生破碎,这与其塑性较低有直接的关系.

关键词: 抗弹性能 , 破坏形式 , 薄钢板 , 强塑积

蒸发淀积Al和Teflon AF薄膜间的相互作用

丁士进 , 王鹏飞 , 张卫 , 王季陶 , 张台文 , 夏钟福

金属学报

通过X-射线光电子光谱(XPS),研究了蒸发淀积Al与Teflon AF薄膜间的相互作用.高分辨率Al2p,Ols,Cls和Fls XPS光谱分析表明在Al和Teflon AF界面处有AI的氟化物(AlxFy)以及C-O-Al有机化合物的形成.考虑到蒸发淀积Al前后,CF3基团降低和CF2基团增加,可以认为AlxFy中氟的来源主要是由于CF3基团中一个C-F键断裂而失去的氟原子,同时产生的CF2游离基和其它游离基间结合,导致界面处CF2基团增加.

关键词: Al , null , null , null , null

蒸发淀积Al和Teflon AF薄膜间的相互作用

丁士进 , 王鹏飞 , 张卫 , 王季陶 , 张台文 , 夏钟福

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.03.005

通过X-射线光电子光谱(XPS),研究了蒸发淀积Al与Teflon AF薄膜间的相互作用.高分辨率Al2p,Ols,Cls和Fls XPS光谱分析表明在Al和Teflon AF界面处有AI的氟化物(AlxFy)以及C-O-Al有机化合物的形成.考虑到蒸发淀积Al前后,CF3基团降低和CF2基团增加,可以认为AlxFy中氟的来源主要是由于CF3基团中一个C-F键断裂而失去的氟原子,同时产生的CF2游离基和其它游离基间结合,导致界面处CF2基团增加.

关键词: Al,Teflon AF,相互作用,X-射线光电子光谱

生物表面活性剂鼠李糖脂的纯化与表征

刘洋 , 钟华 , 刘智峰 , 蒋勇兵 , 谈菲 , 曾光明 , 赖明勇 , 何益斌

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2013.10026

生物表面活性剂鼠李糖脂是微生物在一定条件下产生的次级代谢产物，其分子具有极性亲水基团和非极性亲油基团结构，通常表现出很高的表面活性和界面优先分配能力。可靠的分离提纯方法和成分鉴定手段是鼠李糖脂生产工艺成功的重要保证。实验通过好氧发酵培养铜绿假单胞菌CCTCCAB93066、酸沉降分离得到鼠李糖脂后，利用柱色谱提纯技术得到纯化的鼠李糖脂的单糖脂和二糖脂，最后采用高效液相色谱-质谱联用法进行成分鉴定。结果显示这两种鼠李糖脂均含有3种主要成分，其中单糖脂的主要成分为RhaC10C10、RhaC10C12-H2、RhaC10C12，二糖脂的主要成分为Rha2C10C10、Rha2C10C12-H2、Rha2C10C12。该研究结果表明，铜绿假单胞菌CCTCCAB93066是一种良好的鼠李糖脂产生菌；酸沉降-柱色谱技术可以用于鼠李糖脂的深度提纯，且有较好的效果；而高效液相色谱-质谱联用技术对鼠李糖脂成分鉴定具有灵敏度高和准确性好等优点，是一种较为可靠的检测方法。

关键词: 酸沉降 , 柱色谱 , 高效液相色谱-质谱联用 , 鼠李糖脂 , 铜绿假单胞菌 , 生物表面活性剂