杜家熙
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苏建修
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王占合
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马利杰
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康仁科
人工晶体学报
本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究；首先分析了化学机械抛光(CMP)时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律,然后进行了基片内材料去除非均匀性实验,通过实验得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响；通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果的曲线性质不匹配,而只有抛光液中的磨粒在基片表面的运动轨迹分布密度非均匀性与基片表面材料去除非均匀性的实验结果曲线趋势相同；研究结果表明,基片表面材料去除非均匀性是由磨粒在基片表面上的运动轨迹分布密度非均匀性造成的,充分说明了基片表面材料去除的机械作用主要是磨粒的机械作用.
关键词:
硬脆晶体基片
,
化学机械抛光
,
非均匀性
孙丰月
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丁正江
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刘殿浩
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张丕建
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于晓飞
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.01.004
福山北部地区位于胶东栖(霞)-蓬(莱)-福(山)成矿带北段.该区粉子山群大面积出露,褶皱断裂构造发育,中生代燕山晚期伟德山超单元幸福山单元和雨山超单元王家庄单元、水夼单元斑岩出露广泛,形成一套完整的斑岩多金属成矿系统.与该成矿系统有关的矿床成矿系列包括邢家山(钼钨)、王家庄(铜锌)、杜家崖(金银)和隆口(金铜)等矿床式.从现有研究成果看,该区具有较大找矿潜力,中-低温热液脉型、斑岩-矽卡岩型多金属矿应作为找矿主攻方向.
关键词:
斑岩
,
成矿系统
,
成矿系列
,
胶东
,
福山北部
蔡志江
,
贾建茹
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郭杰
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徐熠
,
王闯开
高分子材料科学与工程
采用化学氧化还原法合成了聚吲哚,利用静电纺丝技术制备了聚吲哚导电纳米纤维,并通过正交实验优化工艺参数为纺丝液浓度2％,挤出速率1 mL/h,纺丝电压20 kV,接收距离18 cm,最终制得直径为216 nm的聚吲哚导电纳米纤维.利用扫描电镜、红外光谱、X射线衍射、差示扫描量热恩熙及电导率测试对聚吲哚纳米纤维的结构和性能进行了表征,结果表明,静电纺丝过程中聚吲哚的分子链结构并没有发生明显变化;静电纺聚吲哚纳米纤维的结晶更完善、电导率提升了近120％.静电纺丝后聚吲哚的玻璃化转变温度和熔融温度变化不大,分别在130℃和240℃附近,但热降解温度从465℃下降至420℃.
关键词:
聚吲哚
,
导电纳米纤维
,
静电纺丝
