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氮化硅陶瓷刀具表面涂覆高硬耐磨氮化钛涂层研究

彭志坚 , 苗赫濯 , 齐龙浩 , 龚江宏 , , 刘赤子

稀有金属材料与工程

用高能量密度脉冲等离子体于室温下在氮化硅陶瓷刀具上成功沉积了高硬耐磨的氮化钛涂层.薄膜厚度用光学显微镜和俄歇电子能谱仪测定,薄膜元素和相组成与分布分别用俄歇电子能谱仪、X光电子能谱以及X光衍射仪测定,薄膜微观结构用扫描电镜观察,薄膜表面粗糙度用光学显微镜测定,薄膜力学性能由纳米压痕实验和纳米划痕实验确定,薄膜的磨损性能用工业条件下的切削实验评价.实验结果表明,在最优化条件下,涂层与基体的结合力很好,纳米划痕实验临界载荷达80 mN以上;氮化钛涂层具有很高的硬度和杨氏模量,分别达28 GPa和350 GPa以上.涂层刀具用于HB达2 200MPa~2 300 MPa的HT250钢切削实验表明,刀具耐磨损能力增强,寿命明显提高.

关键词: 高能量密度脉冲等离子 , TiN涂层 , 氮化硅陶瓷 , 刀具

脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构

吴杏芳 , 韦鲲 , 单小鸥 ,

金属学报

利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.

关键词: 脉冲高能量密度等离子体 , null , null

高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究

彭志坚 , 苗赫濯 , , 刘赤子 , 齐龙浩 , 潘伟

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2004.01.007

用高能量密度脉冲等离子体同轴枪分别在硬质合金和氮化硅陶瓷刀具基体上沉积了Ti(C,N)薄膜,研究了各种因素对薄膜相转化的影响,通过XRD分析,最后得到合适的Ti(C,N)薄膜沉积工艺条件是:枪压3.5kV,同轴枪与试样间距30~40mm,氮气进气压力0.2MPa,电磁阀电压1.5kV,脉冲等离子轰击次数5次以上.

关键词: 高能量密度脉冲等离子体 , 碳氮化钛薄膜 , 刀具 , 相转化

高能量密度脉冲等离子体制备高硬耐磨TiN涂层

彭志坚 , 苗赫濯 , 齐龙浩 , 龚江宏 , , 刘赤子

金属学报

用高能量密度脉冲等离子体于室温下在硬质合金刀具上成功淀积了高硬耐磨TiN涂层. 实验结果表明, 涂层与基体有强的结合力, 纳米划痕实验临界载荷达90 mN以上; TiN涂层具有很高的硬度和Young’s模量, 分别达27和450 GPa以上. 涂层刀具切削实验表明, 刀具可用于硬度高达HRC58—62的CrWMn钢切削, 且磨损量较低, 寿命长.

关键词: 高能量密度脉冲等离子 , null , null

等离子熔敷TiC/γ-(Fe,Ni)复合涂层组织与耐磨性

刘元富 , 刘秀波 , 张伟 ,

材料热处理学报

为了提高奥氏体不锈钢的耐磨性能,扩大其应用范围,以Ti-C-Fe-Ni混合合金粉末为原料,利用等离子熔敷技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面原位合成了TiC增强耐磨复合涂层。分析了涂层的显微组织结构,测试了涂层沿层深方向的硬度分布,评价了涂层在室温干滑动磨损试验条件下的摩擦磨损性能,结果表明:等离子熔敷TiC金属陶瓷增强复合涂层显微组织细小均匀,由花瓣状和少量颗粒状TiC初生相均匀分布在TiC/γ-(Fe,Ni)共晶基体上组成,涂层与不锈钢基材之间形成了完全冶金结合,涂层平均显微硬度约790 HV,涂层在室温干滑动磨损试验条件下表现出良好的耐磨性及较低的摩擦系数。

关键词: 等离子熔敷 , TiC , 涂层 , 显微组织 , 耐磨性

脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构

吴杏芳 , 韦鲲 , 单小鸥 ,

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.06.019

利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.

关键词: 脉冲高能量密度等离子体 , 立方AlN , 六方AlN , 显微组织

高能量密度脉冲等离子体制备高硬耐磨TiN涂层

彭志坚 , 苗赫濯 , 齐龙浩 , 龚江宏 , , 刘赤子

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.06.001

用高能量密度脉冲等离子体于室温下在硬质合金刀具上成功淀积了高硬耐磨TiN涂层.实验结果表明,涂层与基体有强的结合力,纳米划痕实验临界载荷达90 mN以上;TiN涂层具有很高的硬度和Young's模量,分别达27和450 GPa以上.涂层刀具切削实验表明,刀具可用于硬度高达HRC58-62的CrWMn钢切削,且磨损量较低,寿命长.

关键词: 高能量密度脉冲等离子 , TiN涂层 , 硬质合金 , 刀具

射频输入功率对类金刚石薄膜性能的影响

齐海成 , 冯克成 ,

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.03.015

为了得到类金刚石薄膜的性质和制备参数之间的对应关系,利用射频等离子体增强化学气相淀积在单晶硅的(100)面上制备了类金刚石薄膜,反应气体是甲烷和氢气的混合气.研究了射频源的输入功率对类金刚石薄膜性能的影响.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、原子力显微镜和纳米压痕仪对薄膜的微观结构、表面形貌、硬度和弹性模量进行了研究,结果表明:制备的薄膜具有典型的不定型碳的结构特征、薄膜致密均匀,随着入射功率的提高,薄膜的sp3含量、硬度以及弹性模量先增加后减小,并且在100W时达到最大值,在400W时薄膜出现碳化.

关键词: 类金刚石 , 射频等离子体 , 化学气相淀积 , X射线光电子能谱

电源占空比对镁合金等离子体电解氧化陶瓷层腐蚀性能的影响

李立 , 吕国华 ,

功能材料

Na2SiO3-NaF-NaOH混合电解液中,利用等离子体电解氧化技术在AZ91D镁合金表面制备了氧化陶瓷层.重点研究了电源占空比对氧化陶瓷层腐蚀性能的影响.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对氧化陶瓷层表面形貌、微观结构和相组成进行了分析,并采用model 1025电化学系统在3.5%(质量分数)的NaCl溶液中对氧化陶瓷层的耐腐蚀性进行了测试.实验结果表明,占空比为50%的样品较占空比为28%的样品更为致密,具有更好的耐腐蚀性能.

关键词: 占空比 , 等离子体电解氧化 , 镁合金 , 腐蚀 , 结构

脉冲高能量密度等离子体沉积氮化钛膜的结合强度

阎鹏勋 , , 陈熙琛

金属学报

本文用脉冲高能量密度等离子体技术,在室温条件下,成功地在GCr15钢表面沉积了性能良好的氮化钛薄膜。用自动划痕试验仪测量了氮化钛薄膜的结合强度。研究结果表明:表征薄膜结合强度的临界载荷有相当高的值;氮化钛薄膜的临界载荷随脉冲轰击次数、内外电极的电压变化而变化。对沉积膜结合强度的这些变化给予了理论上的解释与讨论。

关键词: 脉冲等离子体 , TiN coating , adhesive strength

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