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钛膜表面氧气氧化层研究

刘文科 , 曹小华 , 彭述明 , 龙兴贵 , 李宏发 , 茂年 , 张晓红 , 颜登云 , 王维笃 ,

材料导报

研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.

关键词: 钛膜 , 表面 , 氧化层 , 连续

钛膜表面阳极氧化层制备及表征

刘文科 , 曹小华 , 彭述明 , 龙兴贵 , , 罗顺忠 , 王维笃

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.01.018

为了研究钛膜表面阳极氧化层对吸附和解吸氢同位素特性的影响,需制备和表征钛膜表面阳极氧化层.设计了钛膜表面阳极氧化装置,确定了制备厚度不同的氧化层的阳极氧化工艺参数,其工艺简单、易操作;并对阳极氧化层进行了AES深度剖析和XPS化合价分析.其结果如下:在确定的工艺参数下,设计加工的阳极氧化装置能够制备出表面呈彩色的阳极氧化层,而且表面平整、光滑、均匀,与基体金属结合牢固;采用AES深度剖析确定了阳极氧化层的厚度,而且在其它条件相同时,获得阳极氧化层的厚度随着电压、H2SO4浓度和时间的增加而明显变厚的规律;采用XPS研究了阳极氧化层钛的主要价态为+4、+3和+2价,氧化层主要组成为TiO2、Ti2O3和TiO.

关键词: 钛膜 , 阳极氧化 , 制备 , 表征

衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响

付文博 , 刘锦华 , 梁建华 , , 周晓松 , 程贵钧 , 王维笃

稀有金属材料与工程

使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析.结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大.抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上生长;抛光石英衬底上的Ti膜表面平整,颗粒与界面清晰可见,在界面处有一层等轴晶;粗糙度最低的单晶硅基片上沉积的Ti膜表面反而最粗糙,通过XRD分析发现有TiSi2的峰存在.

关键词: 衬底 , 储氢薄膜 , 电子束热蒸发 , 形核 , 薄膜生长

ZrV2的贮氢及超导性能研究进展

王海峰 , 彭述明 , 郝万立 , 龙兴贵 ,

金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2004.04.009

对贮氢合金Zrv2的制备工艺,贮氢性能,氢在合金中的位置和分布以及ZrV2的超导行为研究进行了综合评述.Zrv2是一种金属间化合物,它制备工艺一般采用先熔炼然后进行各种热处理的方法.ZrV2具有许多独特的贮氢性能如吸氢量大,平衡压低,不需要活化以及吸氢后无相变等.氢在不同密度、不同温度下可分布于晶格的三种间隙中,低温下氢还将重新分配其在间隙中的位置形成不同的相和特殊的结构.ZrV2还是一种超导材料,C15型ZrV2的超导转变温度为Tc~9K.

关键词: 制备工艺 , 氢的位置 , 相转变 , 超导

表面有阳极氧化层的氘化钛热解吸动力学研究

刘文科 , 曹小华 , 彭述明 , 龙兴贵 , , 李宏发

功能材料

应用反应速率分析方法,测定了氘化钛和表面有阳极氧化层的氘化钛在恒容体系和600~800℃范围内的热解吸反应速率常数,得到氘化钛和阳极氧化的氘化钛热解吸氘的活化能分别为(24.9±1.0)kJ/mol和(38.5±1.2)kJ/mol;氘化钛表面氧化层越厚,表观活化能越大;实验表明氘化钛表面阳极氧化层具有阻氘性能.

关键词: 氘化钛 , 阳极氧化层 , 热解吸 , 动力学 , 表观活化能

Ti-V合金及其氢化物结构的研究

万竟平 , 彭述明 , 龙兴贵 ,

材料导报

介绍了3种组成的Ti-V合金(Ti0.76V0.24、Ti0.51V0.49和Ti0.25V0.75)及其氢化物的晶体结构确定方法.通过XRD分析和理论计算,确定这3种合金为bcc结构,它们的纯β相氢化物是fcc结构,并测得了这两类结构的晶胞参数.研究发现,Ti-V合金吸氢性能比金属V有所改善,H原子数与合金原子数之和的比大于1.0才能发生α相氢化物向β相氢化物的转变.

关键词: Ti-V合金 , 晶体结构 , XRD分析 , 氢化物

钛吸氢、氘和氚的动力学同位素效应研究

黄刚 , 曹小华 , 龙兴贵 , , 刘文科

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.06.018

应用反应速率分析方法,在高真空金属系统上测定了钛在恒容体系和550℃~750℃范围内吸收氢、氘和氚的P-t曲线,并由此计算了各自在不同温度的速率常数,得到钛吸氢、氘和氚的表观活化能分别为(55.6±2.4)kJ/mol、(110.2±3.0)kJ/mol和(155.5±3.2)kJ/mol.钛吸氚的表观活化能最高,钛吸氢的表观活化能最低,表现出显著的动力学同位素效应,表明钛吸氚进行氚化反应较氘化和氢化更难于进行.

关键词: , , 表观活化能 , 同位素效应

薄膜理想台阶的制备方法研究

付文博 , 梁建华 , 王维笃 , 周晓松 , , 程贵均

表面技术

目的 研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度.方法 分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定.结果 在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰.Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好;单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大;石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑.结论 使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶,可较为准确地测试薄膜的厚度.

关键词: 薄膜 , 膜厚 , 边缘效应 , 理想台阶 , 粗糙度

He原子在金属Ti中的第一性原理计算

孙铁英 , 龙兴贵 , 吴仲成 , , 彭述明

材料科学与工程学报

本文用基于量子化学基本原理的密度泛函理论,研究He原子在金属Ti中的几何结构和能量变化.计算得到单个He原子在完美Ti晶体中最可几占位为八面体间隙,两个He原子互相靠近时会形成稳定的原子对.进一步分析了体系优化后的能带结构和电子态密度分布.分析得出在没有缺陷存在的完美晶体中,He原子会聚集形成团簇.

关键词: He原子 , 量子化学 , 金属Ti , 模拟

铀吸氘和氚的动力学同位素效应

黄刚 , 龙兴贵 , 梁建华 , 刘文科 ,

稀有金属材料与工程

应用反应速率分析方法,在高真空金属系统中测定了金属铀在恒容体系和150~300℃范围内吸收氘和氚的p-t曲线.由p-t曲线可知,在同一温度下,铀吸氚的速率与铀吸氘的速率基本相同;而随着温度的升高,由于解吸逆反应的影响,铀吸氚(氘)的反应速率降低.根据p-t曲线计算了吸气反应在不同温度的速率常数,得到铀吸氘和氚的表观活化能分别为(-42.8±0.3)和(-43.2±1.2) kJ·mol-1.从活化能数据可以看出,铀吸氘和氚的反应动力学同位素效应不明显.

关键词: , , 表观活化能 , 同位素效应

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